LCOS微显示技术
第24卷第4期
2009年8月
液晶与显示
ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplays
V01.24,No.4
Aug.,2009
文章编号:1007—2780(2009)04—0471—07
LCOS微显示技术
代永平
(南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室I
光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学),天津300071,E-mail:daiyp@nankai.edu.on)
摘要:硅上液晶(LCOS)显示技术是一种反射式液晶显...
第24卷第4期
2009年8月
液晶与显示
ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplays
V01.24,No.4
Aug.,2009
文章编号:1007—2780(2009)04—0471—07
LCOS微显示技术
代永平
(南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室I
光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学),天津300071,E-mail:daiyp@nankai.edu.on)
摘要:硅上液晶(LCOS)显示技术是一种反射式液晶显示技术,其周边驱动器和有源像素
矩阵使用CMOS技术制作在单晶硅上,并以该晶片为基底封装液晶盒,因而拥有了小尺寸和
高显示分辨率的双重特性。文章介绍了LCOS显示器的原理、制造技术和应用领域,对其发
展前景进行了展望。
关键词:LCOS屏;反射式;微投影;光机
中图分类号:0753.2;TN27文献标识码:A
1 引 言
20世纪90年代初,a-SiTFT-LCD产业开始
形成规模,并逐渐在平板显示市场占据了统治地
位。但a-SiTFT由于载流子迁移率低,不适合与
周边电路集成一体化,在小尺寸、低功耗、高分辨
率显示方面受到制约。当该项技术由a-Si玻璃
基板转移到单晶硅片上以后,发展成为硅上液晶
(LiquidCrystalonSilicon,LCOS)显示技术。
LCOS是LCD与CMOS集成电路有机结合
的反射型显示技术。利用LCOS技术开发的显
示屏,其显示芯片对角线尺寸通常不超过25,4
mm(1in),像素尺寸在10I£m量级,因此,LCOS
显示屏都需要配备放大图像的光学系统,用来制
造各种近眼显示器和投影系统。LCOS可利用常
规的CMOS技术批量生产,技术成熟,其优点是
功耗低、分辨率高、器件尺寸小,在个人便携显示
应用方面有很大优势,特别是其功耗远低于许多
有源矩阵液晶显示器,而生产成本可与阴极射线
管相比拟[1{],有望成为大屏幕高分辨率低成本投
影显示技术的新主流。
2 LCOS产品应用
2.I应用产品分类
从AuroraSystems公司于2000年开始推出
首批LCOS技术成型产品算起,经过近10年的
收稿日期:2009—04—12;修订日期:2009—05-30
发展,LCOS技术现在已经进入了一个相对成熟
时期,市场上可见的显示产品分为3类:
(1)高清大屏幕投影机
主要面向1.5m(60in)以上的投影产品市
场,现已开发出应用于大型数字高清影院的超高
分辨率(3840×2048)LCOS显示芯片,并成为高
端影院投影机产品采用的主要技术。LCOS核心
芯片及系统产品主要由佳能、索尼、JVC、先锋、
LG等数家企业制造,LCOS大屏幕投影机原理如
图1所示。
图l LCOS大屏幕投影机原理示意图
Fig.1SchematicdiagramofLCOSlargescreenproiector
(2)便携式微型投影机
从最初的超便携式投影机到最近的El袋式投
影机,便携式微型投影机的终极目标是使投影模
块可以集成到手持移动设备中,如手机、多媒体播
万方数据
472 液 晶 与 显 示 第24卷
放器、数码相机和数码摄像机等。相关微投影用
LCOS核心芯片及系统产品主要由台湾奇美电
子、Displaytech、3M、深圳力伟数码等数家企业制
造,图2展示了可以藏于指间的微型投影机。
图2微型投影机模块
Fig.2Moduleofmicro-proiector
(3)近眼显示器
近眼显示器亦称为头戴显示器(HMD),以眼
镜形式佩戴或安置在头盔和面罩上面,接近使用
者的眼睛,提供大于显示器物理尺寸的虚像。显
示器的物理尺寸一般只有25.4ram(1in),放置
在眼前,通过光学组件可以成像到3m(120in)以
上,且在放大图像的同时可以保证图像具有足够
的清晰度及不产生像差。近眼显示器不仅具有较
大的可视区域,而且成本低、功耗小,在利用相同
电池的条件下工作时间也较长。相关近眼显示用
显示控制器
(FPGA
&
RAg
LCOS核心芯片及系统产品主要由台湾奇美电
子、Displaytech、3M、Coppin等数家企业制造。
图3展示的是深圳力伟数码公司出品的LCOS眼
镜式显示器。
图3近眼微型显示器
Fig.3Near-to-eyemierodisplay
2.2 LCOS显示系统结构特征
以LCOS显示器为核心构成的显示系统,无论
是大屏幕投影显示系统,还是近眼虚拟微型显示
器,其系统结构都可划分为4个部分:麟屏(包
括I.COS显示芯片)、显示控制器、光学系统和光
源[I]。后3个部分为麟屏的伺服结构,其中显
示控制器把需要显示的数字式或模拟式信号转换
成与螂芯片显示模式相匹配的数字信号;光源
根据具体彩色方式,提供全色光或红绿蓝三基色时
序脉冲光;光学系统则产生相应的实像或虚像。
时序光源
憎羞,
图4 LCOS成像系统结构示意图
Fig.4SchematicofLCOSimagingsystem
3 LCOS屏的制造技术
LCOS屏是半导体大规模集成电路技术和液
晶显示技术相结合的高新技术产品,可采用成熟
的CMOS制造工艺和液晶屏制造工艺进行生产,
无需额外增加投资生产线。LCOS硅基晶圆的制
备与集成电路的制造工艺几乎完全相同,并可随
着现有集成电路工艺的精细化发展而同步提高其
分辨率;而液晶屏制造则仅需清洗、取向、成盒、灌
注及模块化等几个工序即可。
万方数据
第4期 代永平,等:LCOS微显示技术 4'/3
3.1 LCOS硅基晶圆制备
这个阶段属于CMOS集成电路制备过程,即
把各种视频信号处理电路,包括扫描驱动、时钟电
路、存储器等周边驱动电路和寻址开关矩阵制造
在同一块硅芯片上。但LCOS芯片仍有别于普
通集成电路芯片,实际上需要具备良好的光学特
性,故在工艺后期增加了特别的CMP整平工艺
和顶层金属镜面化等工艺,并且减少了传统IC制
备需要进行的钝化层生长与刻蚀等工艺Es-?]。
3.2ITO导电玻璃的制备
通常采用0.7mm或1.1mm厚度的浮法玻
璃基板,采用溅射工艺在玻璃基板上沉积一层
ITO透明导电薄膜,导电玻璃的方块电阻随ITO
薄膜厚度的增加而减小,但光透过率也随薄膜厚
度的增加而下降。
3.3 LCOS封盒工序
LCOS封盒工艺主要分为前后两部分:晶圆
级制盒工艺段和芯片级制屏工艺段,其主要工艺
如图5所示。
口匦四匡亘鄄
【清洗下董板LCOS蠡■j(清冼上盖板ITO礁璃j
[两取;层藉口Q覆取矗材t][两取盂层藉基][兰覆取裔层材t]
f宴奠取:话]口h:王口
凶i上知司[受茹腔_
i孟:藏面
S警[j洗蕞量[]
[至旬【 苎苎苎堕! J
童[i唾(],————一‘。———、
厅磊i赤磊习’--........................,...................√
图5 LCOS屏制盒工艺流程图示意
Fig.5Flowchart/orLCOS-cellprocess
在制盒工艺阶段,LCOS硅基晶圆和ITO玻
璃基板首先都要经过清洗、涂覆液晶取向剂及实
施取向等工艺;接下来密封胶圈既可以布局在
LCOS硅基晶圆上,也可以涂覆在ITO玻璃基板
上;然后使用专制的贴合压力机按照对准标志将
ITO玻璃基板与LCOS硅基晶圆粘合,接着利用
真空设备向液晶盒内灌注液晶材料,最后封堵灌
注口。
3.4显示屏集成技术
LCOS显示屏的封装主要有以下几步工艺流
程:首先固置LCOS液晶屏,然后完成与IT0公
共电极、LCOS芯片上焊盘电极的电学连接,最后
嵌套保护框架等机械组件。图6是所研制的
LCOS微型显示器的结构示意图,图7是相关的
实物照片H]。
图6 LC0s微型显示器结构示意图
Fig.6StructureofLCOSmicrodisplay
图7 LCOS微型显示器照片
Fig.7PhotographofLCOSmicrodisplay
4 LCOS显示芯片技术
4.1视频信号接收模式
通常LCOS显示芯片的类别按照输入的视
频信号模式不同区分为两类:模拟式芯片和数字
式芯片。图8示意了一款笔者研制的数字式
LCOS芯片的电路结构功能图[8],芯片电路可划
分为行扫描驱动器、列数据驱动器和显示像素矩
阵(有源NMOS矩阵)。为了降低芯片工作频率,
不仅把列数据驱动器分为电学结构完全一致的上
下两组,分别驱动奇偶数据线,而且采用多组数据
n¨二=I
II㈡叫—_二¨¨儿,¨“v~日U日门¨二===¨¨H¨¨¨¨¨¨¨¨=_,,¨UV,
晶圈级翻童工艺藏程r、、
一
芯片缀翻屏工艺藏程r、。
万方数据
474 液 晶 与 显 示 第24卷
输入方式。另外,这种电路结构可以使芯片面积
最小‘4‘。
4.2像素矩阵单元结构
组成LCOS显示像素矩阵的基本单元电路
主要有DRAM和SRAM两种结构。如图9所示
的DRAM像素单元电路中设置了存储电容,因
此可以直接接受列数据线送来的模拟视频信号,
使得每种基色能产生6~8位的灰度等级,这样便
显示出非常好的色饱和度。
在如图10所示的SRAM结构中每个像元有
由多个晶体管组成的静态锁存器,这样可以把数
据存储在像元的位置,通过用数字信号控制显示,
320x4位数据驱动器
时钟&Vh一[二夏塑耍耍互二]:4x4数字j=ll匡Z三三三三茎茎三三三三三圣三三茎:
视频输入 :厂丽iilF——]丽勇牙丌:
写出信号——÷I!Q!堡塑!堕 熊壹墨! l:
:[]夏堑匦亟亚[二]:
参考电压——÷I !垫里垒兰 I:
,一一.一一一一.一一.● 奇●数●线+●
稚
督
爵
擐
皿
一
时
4x4数字.:b墼型堂——堕醴叫:视频输入|}三三三三兰三兰茎茎茎三三三三:时钟&Vh—I 80节移位寄存器 l:
:.一一誓9x4_停整拳矍动誉一一一一一:
图8数字式LCOS芯片电路结构
Fig.8CircuitstructureofthedigitalLCOSchip
列数据线
心
裴
墓
墓
斑
出
脚
I皤
蛙
图9 LCOS芯片的DRAM像素及工作原理
Fig.9DRAMpixelforLCA)Schipandoperationprinciple
出
脚
_<
舞
出
脚
晕
脚
蜡
燃
图10LCoS芯片的SRAM像素及工作原理
Fig.10SRAMpixelforLCOSchipandoperationprinciple
每个像数或是反射光线或是不反射光线,也称双
态式,即像素仅工作在开态或关态,无灰度变化
(类似STN中的帧频控制法则),灰度显示通过时
分技术(TDM)获得。
4.3芯片设计技术
LCOS芯片是一块复杂的数模混合电路芯
片,这类电路的复杂性不仅要求同一条生产线能
同时兼容数字和模拟IC的生产工艺[8],更重要的
是针对市场需要如何准确、快速地设计出LCOS
显示芯片。对于前者有一定规模的现代半导体加
工工厂都能相对容易地实现,而后者很大程度上
决定于所采用的EDA设计平台。
笔者使用具备全定制设计功能的Cadence
EDA设计工具,按照“自顶向下”设计I。COS芯片
的版图。首先确定LCOS芯片的功能、性能、允
许的芯片面积和成本等,接着进行结构设计,分化
出尽可能简单的子系统,然后把各子系统间的逻
辑关系转换成电路图,进行电路逻辑设计和电路
仿真,采用全定制方法研制LCOS芯片的基本单
元库,最后按照半定制设计流程综合出整个
LCOS芯片版图。
5 光机技术
LCOS显示系统光机结构分为三片式和单片
式结构。如图11所示,LCOS投影显示系统的三
片式结构从整体上分为RGB三条光路口],光源所
发出的光束经过照明聚光系统的均匀化并起偏后
形成入射偏振光,每一偏振基色光照射到与自己
颜色相对应的LCoS显示芯片上,再通过LCOS
显示芯片的调制反射和合色棱镜的光束合成后,
通过投影镜头将图像投射到屏幕上。三片式通常
用于具备足够安装空间的大屏幕投影系统。
附时
万方数据
第4期 代永平,等:LCOS微显示技术 475
图11三片式LCOS光引擎
Fig.11 Opticenginefor3-LCOS-panel
图12是单片式LCOS投影显示系统结构示
意图[1⋯,其最大的优点在于仅需要一块LCOS显
示芯片。在图12(a)所示意的单片式大屏幕投影
光机中,通过色轮快速旋转切换方式将光源产生
的白光形成循序的红、蓝、绿三基色时序光,并将
三基色时序光与显示芯片产生的红、蓝、绿时序画
面同步形成分色影像,再借助人眼视觉特性,最后
在人脑产生彩色的投影画面。由于色轮为微型电
机作动力的机械装置,该方法通常用于具备足够
安装空间的大屏幕投影系统。
(a)单片式大屏幕投影光机 (b)微投影光机
图12 单片式LCOS光机
Fig.12 Opticengineforsingle-LCOS-panel
在微型投影机中由于整机空间有限,一般采
用单片式投影光机结构,光源也采用空间占用尺
寸较小的LED光源,即通过控制三基色LED产
生红、蓝、绿三基色时序光,其效果等同色轮的作
用;或者如图12(b)所示,采用LED白光光源与
由三基色滤光片覆盖的LCOS屏组合实现彩色
显示。
6 光源技术
目前在LCOS大屏幕投影显示产品中普遍
使用的UHP光源,不仅光效高(65~70lm/W),
在一定的功率下可产生很大的光通量,而且UHP
光源的发光弧很短,光学扩展量较小。但UHP
光源存在光源寿命短、发热高、发紫外光等问题。
近年发展起来的LED光源尽管单管功率小,但具
有体积小、寿命长、色彩饱和度高、响应时间极短
等优势,随着大功率LED的出现,现已在微型投
影系统中得到广泛应用。
7 显示控制接口电路技术
LCOS显示控制电路的主要作用是把视频/
图像数字信号转换成LCOS显示器能显示的数
据格式。因为LCOS显示器与其它平板显示器
一样,仅支持逐行扫描格式的数据输入,且分辨率
也是固定不变。因此,必须将不同扫描格式的图
像数据经过转换电路对画面像素数目进行变换,
使之与LCOS显示器显示规格相适合。笔者设
计的与数字式LCOS显示器相匹配的显示控制
器结构如图13所示。
图中视频解码器可采用PHILIPS的SAA.
7111A或SAMSUNG的KS0127。这两种解码
器都能自动识别输入视频信号的制式,然后解码
输出24bitRGB或16bitYUV数字信号,同时
输出Hsync、Vsync、Blank及采样时钟。对于
VGA信号,可以采用Motorola的MC44251等芯
片进行视频信号的A/D变换。然后由FPGA对
该8位数字信号进行采样,产生LCOS显示器需
要的时序彩色VGA信号。
CVBS
VCA—-
s-video
同步信号
时钟信号
显爪数据
扫描信号
图13FPGA作显示控制器的框图
Fig.13 Blockdrawingofthedisplaycontrollerwith
FPGA
本文采用现场可编程逻辑门阵列(FPGA)构
造逻辑作为LCOS显示控制器。由于能通过对
FPGA进行逻辑编程实现液晶显示控制器的功
能[1¨,可以根据不同的液晶材料提供相应的
gamma校正,根据不同的显示模式供给相应的多
相时钟信号,以及提供足够功率的驱动信号等,而
不需要额外硬件资源[10。。
万方数据
476 液 晶 与 显 示 第24卷
8 LCOS技术在中国的现状和未来
发展趋势
LCOS显示屏是硅平面技术与平板显示技术
发展到相对成熟阶段结合而诞生,因而具有了
VLSI技术的全部设计特征。LCOS的发展业者
集中在美英两地的Fabless公司,包括Three-
Five、Aurora(原S-Vision)、MicroPix、Microdis—
play、Kopin、Displaytech、SpatiaLight等。
近年来,我国在LCOS投影机光学引擎、光
源、整机设计及LCOS芯片设计、液晶板制造方
面均有研发,除了大学和研究所外,还吸引了很多
企业参与,一些技术已经达到或接近产业化水平。
实际上,我国在LCOS投影产业方面已拥有众多
有利因素。首先,实现LCOS投影所必需的大部
分关键技术已经本土化,这包括光学引擎、光源、
参 考 文 献:
投影屏幕等关键部件已能在上海、北京、深圳等公
司批量生产。其次,国内公开资料指出,我国家电
行业的龙头企业如长虹、康佳和创维等已将
LCOS投影电视作为重点产业化发展对象,而且
杭州、南昌等地与光电子相关的研究所和公司已
建立了LCOS显示器的后加工和光学零部件生
产线。这说明我国已形成LCOS发展的环境
需求。
我国在向LCOS技术领域进军中,并没有停
留在低技术含量的系统组装范畴,以南开大学等
一批高等院校、科研机构为先驱,在不同资金渠道
的支持下,率先对具有中国自主知识产权(IP)的
LCOS显示芯片[83展开了研发。可以预见,在中
国,以LCOS技术为核心的新型显示产业即将
兴起。
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万方数据
第4期 代永平,等:LCOS微显示技术477
TechnologyforLCOSMicrodisplay
DAIYong—ping
(InstituteofPhoto-ElectronicsThinFilmDevicesandTechniqueofNankaiUniversityI
KeyLaboratoryofPhoto-ElectronicsThinFilmDevicesandTechniqueofTianjiini
KeyLaboratoryofPhoto-ElectronicInformationScienceandTechnology(NankaiUniversity),MinistryofEducation’
Tianjin300071,China,E-mail:daiypl@nankai.edu.cn)
Abstract
Liquid—Crystal—on-Silicon(LCOS)microdisplayisa sortofdisplaythatoperatesinareflective
mode.Anditsperimeter—driverandactive-pixel—matrixisfabricatedona siliconchip,whichactsas
substrateoftheliquid—crystal—gap,usingCMOStechnology.Soithasbothsmallsizeinvolumeand
highresolutionfordisplay.Inthispaper,thefabricationandapplicationforLCOSdisplayarede—
scribedindetail,andrealstatusforLCOStechnologyareshown.
Keywords:liquid—crystal—displaypanel;reflective;micro~projector;optic—engine
作者简介:代永平(1968一),男,云南昆明人,博士,副教授,主要从事LCOS、SoC芯片技术研究与开发。
’,’,’''’I’,'’’,,’’',,’I’'’''’,-,’’’’''’'’,,●',,’’,●',’’’’,,’’’’’'’’’'',','●’’'●’’'''’’,●’’’’’’
2008年物理学类期刊影响因子排序(前10名)
序号 期刊名称 影响因子
1 CHINPHYS 1.960
物理学报
光谱学与光谱分析
液晶与显示
红外与毫米波学报
光子学报
光学学报
声学学报
应用光学
1.566
1.162
1.156
1.117
1.092
0.922
0.807
0.803
10 AdvancesinAtmosphericSciences0.674
在“中国科技期刊引证
”统计的1765种期刊中,《液晶与显示》期刊的影响因子在总排序中
为91。
摘自“中国科技期刊引证报告(核心版)”2008年版
2
3
4
5
6
7
8
9
万方数据
LCOS微显示技术
作者: 代永平, DAI Yong-ping
作者单位: 光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学,天津,300071;南开大学,光电子薄膜器件与
技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室
刊名: 液晶与显示
英文刊名: CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
年,卷(期): 2009,24(4)
被引用次数: 5次
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using a low-cost process 2006(03)
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multilevel metallization and chemical-mechanical polishing 1996(19)
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4.范伟.代永平.姜丽.张志东 反射型硅基液晶显示模式[期刊论文]-现代显示 2010(12)
5.范伟.姜丽.赵静.董续怀.张志东.代永平 硅基液晶(LCOS)与动力学响应特性[期刊论文]-现代显示 2010(11)
本文链接:http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_yjyxs200904001.aspx
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