聚乙烯醇肉桂酸酯负型光刻胶

聚乙烯醇肉桂酸酯负型光刻胶简述 聚乙烯醇肉桂酸酯负型光刻胶简述 英文名：polyvinyl alcohol cinnamatenegative photoresist 别名： CAS号： 产品名称：聚乙烯醇肉桂酸酯负型光刻胶 WWW.dirchem.com 分子结构： 分子式： 聚乙烯醇肉桂酸酯负型光刻胶 详述 性质：　　外观为浅黄色透明液体，在光照下可发生交联反应，使线状结构的分子变成网状结构；能与酮、酯类有机溶剂混溶，遇水或醇类时析出固体胶；易燃，感光性好，分辨率高；抗蚀性强，与金属粘接力强。 制法： 　　聚乙烯醇肉桂酸酯的合成：苯基丙烯酸与氯化亚砜进行酰氯化，再与聚乙烯醇酯化得聚乙烯醇肉桂酸酯。将此酯溶于有机溶剂，再加增感剂等配制而成。 　　1，吡啶法配方： 聚乙烯醇 118 吡啶 200mL 肉桂酰氯 50g 　　将聚乙烯醇放到吡啶中使其悬浊，在水浴上加热一昼夜使其溶解，然后加入100mL吡啶，将液温降至50℃以下，加人熔融的肉桂酰氯50g，在50℃下继续搅拌反应4h左右，把所生成的黏稠块状物溶于4倍丙酮中，过滤后注人水中即得聚乙烯醇肉桂酸酯，将其过滤、水洗、在暗处晾干。 　　2．碱水溶液法配方： 聚乙烯醇（1mol／L） 100mL 氢氧化钾（4mol／L） 100mL 丁酮 100mL 甲苯 24mL 肉桂酰氯（1.2mol／L） 116mL 　　将聚乙烯醇溶为1moL／L的浓度（按OH基计），另将氢氧化钾配成4moL／L的浓度，各取100mL相混合后，加人lOOmL丁酮，在搅拌下加人24mL甲苯和116mL溶有1.2moL（对羟基）肉桂酰氯的丁酮溶液使其在0～5℃反应。所生成的聚乙烯醇肉桂酸酯会溶到有机溶剂层中，反应结束后，静置则分为两层，将有机溶剂滴人甲醇中，即可析出聚合物。 3，感光液的配制： 聚乙烯醇肉桂酸酯 2.5g 氯苯 25.0g 田苯 75.0g 5-硝基苊 0.25g www.DirCHEM.COM 　　4．柯达公司提出的典型光刻胶质量百分数聚乙烯醇肉桂酸酯 8.42 线性酚醛树脂 0.65 噻脞啉系光刻剂 0.08 对苯二酚 0.04 一氯苯 71.65 环己酮 19.16 　　在上述配方中，加人线性酚醛树脂在于增加光刻胶对基材的黏合力和抑制在显影过程中溶胀。以三氯乙烯作为显影剂时，线性酚醛的效果尤为显著。线性酚醛的分子量在350～600的范围内，加量是聚乙烯醇肉桂酸酯质量的2％～15％，一般取8％。 用途：　　在商标牌、感光研磨、印刷电路、刻度盘、比例尺、腐蚀凸版中的应用及大规模集成电路、大功率管、可控硅精密器件的光刻加工。 安全性：　　用棕色玻璃瓶、外用塑料盒包装。