0105-2 洁净区悬浮粒子测试记录

洁净区悬浮粒子测试测试地点区域级别测试状态测试依据GB/T16292-2010测试日期报告日期尘埃粒子标准值（个/m³）100级10000级100000级≥0.5μm≥5μm≥0.5μm≥5μm≥0.5μm≥5μm350003500002000350000020000房间名称及编号环境温度（℃）相对湿度（%）采样点编号尘埃粒子（个/m³）UCL值（个/m³）≥0.5μm≥5μm结论测试人：                       复核人：