Nano_indenterXP_SOP_2

NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee11 奈米三維量測儀及奈米薄膜材料試驗機 (Nano indenterXP) 儀 器 操 作 手 冊 Nano Vision 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP MTS nano indenter XP 1 吳奕德、張家維 2005/5/10 NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee22 MTS Nano Vision XP 實作操作步驟 : 為使 MTS Nano Vision XP 操作過程更為順利，使用者在操作本模式之前，請確實完 成 MTS Nano Indenter XP 實作操作步驟中試片置放(P. )及基本軟體操作程序(P. )。 1. 模式設定： a. 在實驗設定前，吾人將針對於 Nano indenter 之 CCD 及壓探頭做位 置的初始化(Initialize)，待 CCD 及壓探頭回到其停泊位置(Parking)後，再重新設 定 CCD 及壓探頭位置。其方法為，在試片座簡圖上任一位置按下滑鼠右鍵即出 現下列圖示選項，按下 Initialize 後，CCD 及試片座之相對位置即回到其停泊位 置。 在儀器自動調整完畢後，我們可由圖示上 CCD 位置(1)及視窗右下角的三個綠燈亮起 (2)加以確認。 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP MTS nano indenter XP 1 吳奕德、張家維 2005/5/10 NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee33 1 2 b. 完成 Initialize 程序後，因為在操作 Nano vision 模式時，所使用的試片基座與一 般不同測試所適用之基座試片位置有所不同，因此在進行標定測試位置時要先 進行程式中試片基座模組圖示的更換。吾人將可在試片座簡圖上以滑鼠右鍵點 擊，在隨之出現之選單中再以選擇「Templates」選項，並在緊接出現之子選單 中選擇「Nano Positioning Sample Tray」。 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP MTS nano indenter XP 1 吳奕德、張家維 2005/5/10 NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee44 選擇完畢後即可切換至 Nano Vision 專用之試片基座簡圖。 c. 接著指標點擊所要測試之試片位置，然後按下滑鼠右鍵即出現下頁的圖示選 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP MTS nano indenter XP 1 吳奕德、張家維 2005/5/10 NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee55 項，此時我們將選擇「Move to Target」選項(3)，將 CCD 移至所選擇試片之位置。 待 CCD 自動移動完成後，吾人即可將此部分畫面由「Nano HandSet」切換至「Nano Video HandSet」(4)直接以 CCD 畫面來選擇所要檢測之面位置。完成切換後吾 人可由影像下方 等鍵，調整對焦。(中央兩個圖示是慢速移動對 焦，外圍兩個圖示是快速移動對焦) 3 4 d. 在選擇完所要測試之試片表面位置後，接下來要進行的即是測試參數的設定。吾 人可以在主程式畫面上方工具列找到 鍵，按下後，試片座圖示上方之 「Define」鍵即可作用，按下「Define」鍵後，即可進行實驗參數設定。 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP MTS nano indenter XP 1 吳奕德、張家維 2005/5/10 NNCCKKUU MMiiccrroo--NNaannoo TTeecchhnnoollooggyy CCeenntteerr//SSoouutthheerrnn RReeggiioonn MMEEMMSS CCeenntteerr PPaaggee66 e. 按下「Define」鍵後，出現下列設定畫面，按下畫面左上方「Next Step」鍵。 f. 執行完 e 程序後，此時出現的畫面如下圖。再按下畫面左上方「Next Step」鍵。 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! 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