硕士毕业论文查重样本

硕士毕业论文查重样本 文本复制检测单 检测日期 2010-03-24 检测文献 正文 字数 27146 作 者 槿澜 检测类型 文本复制 申请单位 检测范围 中国学术期刊网络出版总库中国博士学位论文全文数据库/中国优秀硕士学位论文全文数据库中国重要会议论文全文数据库中国重要报纸全文数据库中国专利全文数据库 总重合字数 6801 总文字复制比 25 总段落数 3 疑似段落数 3 前部重复字数 2456 后部重复字数 4345 疑似段落最大重复字数 3047 疑似段落最小重复字数 1315 段落标 正文-段落1 重合文字来源 磁悬浮平台承载特性研究 作者 郭磊 文献来源 中南大学硕士学位论文 发时间 2005 文字复制比 14 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 架空索道塔架现代方法应用研究 作者 金松安 文献来源 重庆大学硕士学位论文 发表时间 2006 文字复制比 8 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 基于ASP平台的远程CAE服务的应用模式研究及其实例实现 作者 罗珊 文献来源 广西大学硕士学位论文 发表时间 2006 文字复制比 7 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 焊接钢质药筒设计理论与研究 作者 何清 文献来源 中北大学博士学位论文 发表时间 2005 文字复制比 7 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 基于架空索道塔架工程设计中的现代设计方法应用研究 作者 王宇 文献来源 重庆大学硕士学位论文 发表时间 2008 文字复制比 7 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 某火箭武器特种集装箱式发射系统结构分析及动力学仿真 作者 李波 文献来源 南京理工大学硕士学位论文 发表时间 2008 文字复制比 7 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合 计算机辅助工程CAE技术及其应用 作者 王自勤 文献来源 贵州工业大学文字来源 学报自然科学版 发表时间 2001年第04期 文字复制比 6 引证关系 否 段落标题 正文-段落1 重合文字来源 大型转子式翻车机的三维建模及其数值模拟 作者 马艳丽 文献来源 昆明理工大学硕士学位论文 发表时间 2004 文字复制比 6 引证关系 否 第一章 绪论1.1 引言随着光刻机整体性能的日渐完善与提高作为光刻机重要部件的定位平台技术也得到了快速的发展。目前成熟的定位平台已由早期的丝杠驱动结构发展为直线电机驱动的气浮平台结构。随着磁悬浮技术的日趋成熟这项技术得到了广泛的应用。磁悬浮技术是集控制工程、机械学、电磁学、动力学等学科为一体的典型机电一体化技术。2000年8月我国研发的第一台磁悬浮列车已经进入了试运行阶段。其运动平台和驱动机构采用非接触式磁浮驱动机构消除了摩擦力和丝杠弹性变形的影响易于实现多自由度的精密运动的优势逐渐显现出来。近年来磁悬浮技术开始从宇航、军事等领域向一般工业推广应用1。1.2 精密定位平台发展与研究现状磁悬浮技术研究始于二十世纪二十年代发展和应用于六、七十年代并主要应用在铁路交通运输以及磁悬浮轴承系统等方面。例如磁悬浮列车磁轴承支承的透平机械、磁轴承支承的飞轮储能系统等。近些年来磁悬浮技术已经在很多高科技领域与相应的加工领域获得广泛的应用。例如磁悬浮技术应用于机床加工系统可减少机床的单位动力消耗提高了加工精度避免导轨摩擦延长使用寿命降低维修支出并可实现微米级定位精度应用于扫描隧道显微镜中最高可实现纳米级的定位精度。磁悬浮技术具有以下优点23无接触、无润滑、无磨损运行费用和维护费用低工作周期和使用寿命长适用于真空、超洁净、无菌车间等环境。正是由于磁悬浮技术的诸多优点国内外很多组织都出巨资联合进行磁悬浮技术在光学系统中的应用和研究研制开发磁悬浮定位平台。目前已经有很多种磁悬浮平台结构根据其运行原理可大致分为2类一类是悬浮力和推力由同一部件提供该结构未能完全实现悬浮力和推力间的解耦控制 较为复杂另一类‎‎是悬浮力和推力由不同的部件分别完成这种结构实现了悬浮力和推力间的解耦控制较为简单4。目前扫描微动工作台主要有五类1、柔性支承微动工作台2、滚动导轨式微动工作台3、滑动微动工作台4、气浮式微动工作台5、磁悬浮式微动工作台。 柔性支承微动机构是近年来发展起来的一种新型的微位移机构。它的特点是结构紧凑、体积较小无机械摩擦、无间隙具有较高的位移分辨率可达到1nm。使用压电或电致伸缩器件驱动可以达到亚微米甚至是纳米级的精度且不产生噪音和发热适用于各种介质环境工作是精密机械中理想的微位移机构。 滚动导轨微动工作台也是一种常见形式它具有行程大运动灵活、结构简单、工艺性好、容易实现较高的定位精度等优点。图1-1所示为一种典型的滚动导轨式微动工作台该微动工作台使用滚珠导轨作为微动工作台的支承和导向元件直流伺服电机传动实现了对自动分步重复光刻机的微定位控制5。该微动工作台运动范围为x 、y方向150mm最大工作速度为40mm/s定位精度为?0.1μm。 图1-1 滚动导轨式微动工作台图1-2所示为一种典型的采用两级丝杆驱动的滑动微动工作台实现微位移原理的示意图6。第一级用交流电机驱动的丝杆机构可实现?0.5μm的定位精度通过2级制动器对第一级位置误差修正补偿可获得?1nm的定位精度。图1-2 丝杆滑动机构驱动示意图图1-3是日本日立公司在1988年研制出的一种精密x-y定位平台。该平台具有粗动台和微动台双层台结构。粗动台采用PTFE滑动轴承导向的独特轻型机械结构平台仅在x-y方向作平面运动粗动台具有120mm×120mm行程最高速度达到100mm/s定位精度为5μm。微动台由三个压电陶瓷驱动器进行驱动沿x、y和绕z轴的θz旋转方向作精密运动以校正粗动台x、y轴的定位误差以及扭摆误差微动台的行程为?8μm可作160μrad的旋转。平台的定位是通过三维激光干涉测量系统进行闭环伺服控制。该定位平台通过微动台实现了?0.05μm的定位精度以及小于?1μrad的扭摆误差。图1-3 双层台机械结构定位平台荷兰ASML公司研制的气浮结构定位平台如图1-4所示7。气浮平台为粗动台压电陶瓷驱动平台为微动台。工作时气足悬浮于台面上托起平台在直线电机的驱动下做无摩擦的步进定位运动。由于采用了六轴激光干涉测量系统所以平台可以实现高速度的精确定位。但定位平台的灵敏性较差。图1-4 直线电机驱动的气浮结构定位平台图1-5为美国德克萨斯州立大学机械工程系的精密机械研究所研制的六轴的磁悬浮式微动工作平台8它可以实现x、y、z三个方向的平动和分别绕三个坐标轴的转动六个自由度的运动其x-y平面运动范围为100μmz方向有10μm的运动范畴运动精度可实现0.01μm。图1-5 六轴磁悬浮系统实物图1-6为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的磁悬浮式扫描工作台9该工作台在x、y方向达到0.02μm的定位精度达到0.1μm的调焦精度和3.0μrad调平精度。图1-6磁悬浮微动工作平台示意图综合分析以上各种微动工作台可见‎‎柔性支承机构达到的精度最高具有纳米级甚至亚纳米级的精度但其运动范围很小一般只能达到微米级以下的运动范围滑动导轨式微动工作台运动范围可以实现毫米级但精度只能达到10nm且可实现的自由度有限只能实现一维的运动气浮式微动工作台虽然可以实现大范围的运动但是由于气体的可压缩性使得工作平台存在着干扰运动重复性和定位精度都比较低难以实现50nm以下高精度的纳米级运动滚动导轨式微动平台的运动范围很大可以实现毫米级但是其精度却不到10nm。目前要实现大范围纳米级微运动时一般采用的方法是采用多种微运动方法相结合的方式。综合几种现有的微运动技术磁悬浮技术在运动范围、自由度以及精 度等各个方面的综合性能均优于其他几种技术。但是在实际应用中通过改变电流大小从而改变运动平台的受力这必然会导致运动平台高度的变化如何实现其电流改变时运动平台的恒高度是一个难点。我国的磁悬浮技术起步较晚清华大学、西安交通大学等高校在磁悬浮轴承领域都进行了多年的研究在该领域发表了许多相关论文并取得了丰硕的成果。我国在八五期间成功研制了0.8-1μm的分步投影光刻机和0.7-0.8μm i线投影光刻机.光刻机上的定位平台采用了气浮结构和双层台结构并利用了三维激光干涉测量技术达到了亚微米或深亚微米的定位精度。1.3磁悬浮技术在国内外的研究进展为了让铁磁体在受到磁力的作用下实现稳定的自由悬浮必须根据物体的悬浮状态不断的调节磁场。磁场的大小能够通过调节可控电磁铁来完成。20世纪60年代世界上出现了3个载人气垫车试验系统。它是最早对磁悬浮列车进行研究的系统。70年代后磁悬浮列车气隙和高速旋转磁悬浮转子的控制研究日益深入和广泛。随着纳‎‎米技术的兴起探索悬浮技术和纳米技术融合产生的新型前沿技术的可能性不断增长。80年代至90年代期间日本、美、英等国的科技工作者进行了磁悬浮列车的总体试验和研究主要包括磁悬浮系统结构及控制的研究、磁悬浮系统动力学模型的分析与建立、悬浮系统磁场的分析及磁力的计算、悬浮列车的阻尼及振动分析、导向磁浮系统的动力学分析以及涡流电流的影响等10。目前、在工业上得到广泛应用的都是传统的磁悬浮轴承这类轴承需要5个或10个非接触式位置传感器来检测转子的位移。由于传感器的尺寸使磁悬浮轴承的轴向尺寸增大系统的动态性能降低可靠度低。由于结构的限制传感器不能放在磁悬浮轴承的内部使系统的控制方程相互耦合控制器设计较为复杂。另外传感器的价格较高从而导致磁悬浮轴承的价格很高某种程度上限制了它在工业上的推广。最近几年结合磁悬浮轴承和无传感器检测两大研究领域的最新突破人们已经研制出了无传感器的磁悬浮轴承。这类轴承转子的轴向尺寸变小系统动态性能及工作可靠性都有所提高便于设计磁悬浮轴承的控制器价格明显下降。磁悬浮轴承在电力工程上的应用也具有广阔的前景。进行以磁悬浮轴承系统基础的振动控制理论的研究可将其应用到汽轮机转子的振动和故障分析中通过调整磁悬浮轴承的刚度来改变汽轮机转子的结构设计思想从而完善转子运行的动态特性提高机组运行的可靠性等这些都为解决电力工程的技术难题提供了全新的思路。 我国磁悬浮列车研究工作起步较晚1989年3月国防科技大学研制出我国第一台磁悬浮试验样车。国内对磁悬浮轴承的研究工作起步也较迟尚处于实验阶段落后国外约20年。虽然经过多年的研究国内外对于这项技术取得了很大的进步但是不论在理论还是产品化过程中磁悬浮技术都存在很多难题。例如磁悬浮列车存在悬浮与推进以及一套复杂的控制系统的问题。它的实现需要运用电磁元件、机械机构、直线电机、电子技术等各方面的高科技成果。而磁悬浮轴承所存在的难题主要体现在控制系统和满足转子轴系动力特性上。近几年我国也增加了磁悬浮方面研究的投入我国的科技人员通过深入研究在磁悬浮技术方面也取得了可喜的成果。国防科技大学、西南交通大学的学者们在电磁铁磁悬浮基础理论研究的基础上对磁悬浮列车的悬浮电磁铁设计、磁浮力的分析计算、悬浮系统的非线性控制、列车与轨道之间的共振、悬浮导向系统、悬浮转向系统等进行了理论与实验研究并在此基础上开展了动力磁轴承的研究11-16。1.4 有限元法在磁悬浮技术中的