ASML对准标记以及对准系统

ASML对准标记以及对准系统GlobalAlignment1.W1M12.W1M2CalculatereticlerotationCalculatereticletranslationCalculateLensMagnification3.W2M1CalculatewaferrotationCalculatewafertranslationCalculatewaferexpansion4.Rotatewafer:M1-M2//W1-W25.Adjustmagnification(reticleheight)ASML对准标记以及对准系统DetailedAlignmentconceptASML对准标记以及对准系统AlignmentLaserBeamSourceandControlASML对准标记以及对准系统ImageProjectionASML对准标记以及对准系统AlignmentblockandSignaldetectionVideocamera900prismFirstorderdiafragmQuadcellBeamsplitterAnalyserModulatorASML对准标记以及对准系统SeparatingbeamcomponentsASML对准标记以及对准系统AlignmentmodulationASML对准标记以及对准系统ReticleandWaferMarkASML对准标记以及对准系统Alignmentgrating18micron8.8micronASML对准标记以及对准系统Alignmentgrating28micron8.8micronASML对准标记以及对准系统DetectionofalignedpositionASML对准标记以及对准系统DemodulationCycleASML对准标记以及对准系统ASML对准标记以及对准系统ASML对准标记以及对准系统AL-17:FocusvsAlignmentASML对准标记以及对准系统FirstOrderDiaphragmASML对准标记以及对准系统M1AlignmentBlockASML对准标记以及对准系统M2AlignmentBlockASML对准标记以及对准系统AnalyserASML对准标记以及对准系统