静压工作原理：

静压工作原理： 将具有一定压力的液体介质，经节流器输入到导轨面上的气腔，即可形成承载气膜，使导轨面之间处于纯流体摩擦状态。 压缩空气经节流器进入导轨的各个气腔，使运动部件浮起，导轨面被气膜隔开，气腔中的压缩空气不断地通过封气边而流出。当动导轨受到外载荷作用向下产生一个位移时，导轨间隙变小，增加了气体阻力，使气腔中的油压升高，以平衡外载荷。 静压导轨分类 按结构形式分开式、闭式导轨。闭式导轨：在上、下导轨面上都开有气腔，可以承受双向外载荷，保证运动部件工作平稳。而开式导轨则只能承受单向载荷。 一种常见的闭式气体静导轨 气体润滑轴承的优点：极高的运动速度高、极高的精度、无摩擦损耗、免维护、适用温度范围宽、无污染、寿命长 气体润滑轴承的缺点：承载能力低、需要的制造精度高 气体静压导轨关键：参数及结构设计（影响到承载能力、刚度、导轨组件运态性能、导轨副组件制造工艺等）、导轨组件的超精密制造与装配、导轨副组件制造过程测量及性能检测 导轨副组件直线度测量 对于直线度在1um以下的导轨组件，可以采用精密平晶（长度不超过400mm，平晶精度不超过二分之一波长）+平晶调整座（须自己设计制作）+测量仪器（如电感，须注意测头只能用宝石测头，否则划伤平晶面）。这是最简单的方案，这种方案测量长度不超过400总长，但对于气浮导轨可以以错开方式多次测量来评价全长导轨精度。超过这个长度对于1um以下长度超过400以上的导轨组件，全世界几乎没有解决方案。 对于长导轨（不超过2m），如果要进行全长的测量，可以采用直线度检测仪进行检测。但价格较贵。