NanoCalc 膜厚仪

光 源 165 光 纤 积 分 球 及 其 测 量 系 统 温 控 样 品 池 支 架 光 谱 仪 解 决 方 案 工 业 领 域 颜 色 测 量 系 统 薄 膜 测 量 系 统 防 晒 指 数 （ S P F ） 测 量 系 统 NanoCalc 膜厚测量仪 NanoCalc 膜厚测量仪可以用来进行 10nm~250um 的膜厚分析测量，对单层膜 的分辨率为 0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。 特性参数 规格 / 型号 NanoCalc - VIS NanoCalc - XR NanoCalc - DUV NanoCalc - NIR 膜厚范围 50nm ～ 20μm 10nm ～ 100μm 1nm ～ 100μm 100nm ～ 250μm 分辨度 0.1nm 精确度 1%(100nm ～ 100μm) 重复性 0.3nm 0.3nm 0.3nm 1nm 测量速度 100ms ～ <1 秒 膜层数 最多达 10 层 测量距离 1 ～ 5mm（直接用探针测量 );5mm ～ 150mm（通过光学透镜准直或聚焦） 测量角度 70°或 90° 光斑 光点直径 400μm（可选光点直径 100μm/200μm） 波长范围 400 ～ 850nm 250 ～ 1050nm 190 ～ 1100nm 900 ～ 1700nm 计算机接口 USB1.1( RS232 ) 主机尺寸 180×152×263mm3 主机重量 ～ 3.5 kg 电源 90 ～ 240 VAC 50/60Hz 在线测量 可以在线膜层厚度和沉积速率 显微镜匹配 与显微镜匹配，可在测量膜厚的同时，细致观察膜层的微观结构和疵病 扫描测量 搭配 XY 自动平移台，可进行全平面的膜厚扫描，并可绘制 3D 膜厚分布 真空应用 可以在真空环境中使用 基本原理 通过薄膜面与基底材料反射光干涉现 象，可快速可靠地测量半透明及透明膜的 厚度。非接触式测量，不会破坏测试片。 系统组成 宽带光源、高性能光谱仪、光纤传感器、 样品台、测量软件。 特点 ●快速测量膜层厚度及反射率 ●可分析单层或多层薄膜 ●系统升级后，可同时测量光学参数（膜 层折射率和吸光度值）；系统加电动扫描 平台后，可通过计算机控制，精确定位测 量，并可显示整个膜层厚度的三维立体图 ●非接触无损检测，不会损伤镀膜表面 ●测量速度快，精确度高，适合在线监测 ●系统体积小，使用简单，携带方便 应用 NanoCalc 膜厚测量仪适合于在线膜厚 和去除率测量，包括氧化层、氮化硅薄膜、 感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc 也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物 质上的抗反射涂层、抗磨涂层。 Tel:139-2744-3410 http://g1983111.cn.alibaba.com/ Administrator 文本框 如果有任何技术问可联系海洋光学刘生，139-274-434-10.