Finder-1000X射线能谱仪在彩色显像管玻璃制造中的应用

Finder-1000X射线能谱仪在彩色显像管玻璃制造中的应用 Chin(Electr(Miclosc Sac 电子显微学报J 396 2001年20(4):396—397 Finder一1000 X射线能谱仪在彩色显像 玻璃制造中的应用 管 陈晨曦 (上海真空电子器件股份有限岱司理化分析中心，上海200237) 显像管玻璃是由各种粉末状原料经1000?以上高温熔制而成的，这是一个复杂的硅酸盐形 成过程。在整个熔制和成型过程中不可避免地会产生由于工艺变化等因素而造成的玻璃制品缺 陷，由于夹杂在玻璃中的杂质非常小，要确定微小杂质的成分，需要对杂质作微区的显微分析= 我们利用Finder-1000 X射线能谱仪对各种杂质进行成分分析，从中找出引起杂质的原因，解决生 产过程中的问题。Finder(1000 X射线能谱仪对指导生产，改进工艺起到重要作用。 Finder-1000 X射线能谱仪在玻璃制造中缺陷分析的应用 我们于1999年12月对原来的 TN5400能谱仪进行了改造，仅保留了原有的能谱探头，其余 的x射线能谱分析系统更新为中国科学院北京科学仪器研制中心新开发的Finder-1000 X射线 能谱分析系统，该分析软件是基于Windows 9x平台，采用直观的图形界面操作系统，智能化的控 制方式，在原来的基础上，能准确地鉴别重叠谱峰如:Zr-Au，Pb—S，Ca(Sb(Sn等，在定量方面，精 确 度也比原来提高，而且操作更方便。为我们分析玻璃中的微小杂质提供了更可靠的依据。 l玻 EDX分析 璃中央杂的耐火材料结石的 玻璃是在一个高温熔窑中提炼而成的，由耐火砖筑成的熔窑，经过长期高温火焰及玻璃液的 ’ 侵蚀，面会剥落，剥落后的耐火砖夹杂在玻璃中产生结石。 我们先对样品进行细磨、抛光和喷金处理，然后在扫描电镜下对整个结石作面扫描分析，结 果如下。 杂质的能谱曲线图 Chin Electr(Microse Soe 电子显微学报J 39720(4):396,397 2001年 恢 (卢忮 足只助 。二一 玻璃的能谱曲线图 从分析结果可以看出，应用了Finder-1000分析系统，能有效地剥离重叠谱峰zr与Au，与玻 璃基体比较，该杂质中富含zr和A1，而zr和Al是耐火材料的主要成分，由此可以推断该杂质是 耐火砖结石，通过进一步分析，可判断该结石是由何种耐火砖引起的，位于熔窑的何处，对分析熔 制工艺及判断熔窑寿命起了重要的作用。 2 EI)X对金属夹杂物的分析 玻璃原料(包括粉料和碎玻璃)中含有金属杂质，会形成微小颗粒 夹杂在玻璃中，我们同样对 样品进行细磨、抛光和喷金处理，然后对该夹杂物作微区面扫描分析，分析结果如下。 sb 。。 烈氏 (盟J 缮一 夹杂物的能诺曲线圈 从结果可以判断，Ni是碎玻璃原料中夹带的金属销钉引人的，sb是由于熔窑的熔制气氛变 化而使原料中的澄清剂不能完全反应，析出。通过分析，提醒我们要严格控制原材料的质量及熔 制工艺，保证产品质量。 X射线能谱仪在玻璃制造业中发挥着其特有的分析作用，对指导生产，改进工艺，控制产品 质量起着重要作用。新一代的Finder-1000系统更大程度地提高了分析的准确性，已成为分析领 域中的重要组成部分。 注:曲线中的Au是样品喷金处理时引人的。