提高石墨坩埚的使用寿命

nullnull“提高石墨坩埚使用寿命”活动三“埚”演义概 要概 要null公 司 概 况null 小组成员介绍：小 组 概 况null小 组 概 况 小组成员选 题 理 由提高石墨坩埚使用寿命降 低 成 本选题本部门症结公司要求选 题 理 由null现 状 调 查易断裂事故率高经济损失大成本高石墨坩埚寿命短?必须解决……!null现 状 调 查2009年5月-8月石墨坩埚使用情况的调查数据：null现 状 调 查null石墨坩埚寿命提高75％目 标 设 定单位：炉世上无难事只要肯登攀null石墨坩埚 使用寿命短易发生断裂结构设计不合理原 因 分 析石墨件材质不合要求防护不到位温度波动大易磨损操作不当工艺不完善操作工不熟悉工艺操作工培训不够null要 因 确 定石墨件原包装现在包装null要 因 确 定 由调查表看出，目前石墨坩埚都是使用细石墨材质，但使用寿命也是不同的，所以石墨件材质不合要求不是主要原因。null要 因 确 定 1.公司规定，新近员工要进行岗位技术的培训，并考核合格后方可上岗。我们查阅了操作工培训记录，培训情况如下表： 2.2009.9.05我们对操作工进行了技能测试考核，结果如下：null要 因 确 定 我们调查了《清装炉作业指导书》，发现对石墨坩埚的防护这方面并没有任何措施。但在高温中，石墨坩埚与石英坩埚会起碳还原反应，尤其是石墨坩埚结合处温度更高，反应更剧烈，导致内壁损耗严重。 下表是我们调查石墨坩埚在使用过程中内壁的损耗情况：null要 因 确 定 硅液对石墨坩埚的作用为对埚壁的作用力f1和对埚底的作用力f2，它们的合力为f。因此在整个拉晶过程中，石墨坩埚受力最大处为圆弧处。同时圆弧上部承受高温时间较长，f1对锅底产生较大的力矩f1×H，所以圆弧上部直壁处为易断裂处。null制 定 对 策null 实施对策(一) 将石墨坩埚底部外形改为夹角为134度的锥面，使坩埚托盘对石墨坩埚圆弧角有一个向心的支撑力N，其水平分力N1减小了f1对锅底产生的力矩，提升了埚壁的抗断裂能力。同时在底部外边缘处增加了挡硅环，避免了硅液顺着石墨坩埚外壁流至底部与坩埚托盘发生粘结的现象。改进后结构null 改进后改进后实施对策(一)null在石墨坩埚结合处铺垫碳纸，减缓其与石英坩埚反应速度，降低R角磨损。在放置石墨坩埚的台车上铺垫废旧石墨条，避免直接接触温度变化过快，内部产生应力。碳纸石墨条实施对策(二)null效 果 检 查2010年1月-4月石墨坩埚使用情况的调查数据：null达到目标！！效 果 检 查QC活动前后石墨坩埚平均寿命对比null 石墨坩埚寿命为20炉，年消耗在300只左右；寿命为40炉，年消耗在150只左右，一年可节约150只。一只石墨坩埚价格按21000元计算，一年可节约300万元左右。15021000300万效 果 检 查经济效益null巩 固 措 施将制定的措施编入技术文件中，执行长期纠正措施。修订前的作业指导书修订后的作业指导书null巩 固 措 施对人员进行培训，提高责任心。巩固措施…null巩 固 措 施实施对策，并监督检查。null总 结 及 展 望null