扫描电镜操作规程

ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程 一、开机 1、烘烤:超过一个星期完全关机,再开机时要进行烘烤; 2、开总电源; 3、开UPS电源,按UPS机箱后开关至ON,等3秒后至绿灯亮; 4、开冷却水箱,按ON/OFF开关至ON; 5、开空压机,将空压机开关顺时针搬至“1”; 6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”,等2分钟后, 按绿灯“ON”; 7、输入开机密码; 8、启动软件“SmartSEM”; 9、输入用户名; 11、输入用户口令; 12、等系统真空优于5×10-5mbar,枪真空优于5×10-9mbar; 13、加电子枪高压; 14、加灯丝高压; 15、调节亮度、对比度、像散、合轴,使图像最佳。 二、关机 (一)日常关机 1、放气,取样品; 2、关灯丝高压; 3、退出软件“SmartSEM”; 4、退出软件“EMServer”; 5、关电脑; 6、按黄灯,使扫描电镜进入待机状态; (二)完全关机 1、按红灯; 2、关空压机,搬空压机开关至“0”; 3、关冷却水箱,按开关至OFF,红灯亮后等15分钟; 4、关UPS电源,按ON/OFF开关至OFF,等3秒,关机箱后开关至OFF; 5、关总电源。 2014-1-10