SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学侯彦青

SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学侯彦青 第21卷第12期 中国有色金属学报 Vol.21 No.12 The Chinese Journal of Nonferrous Metals :: 侯彦青，等:SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学 3 侯彦青，等:SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学 3 侯彦青，等:SiCl4氢化转化 为SiHCl3过程的热力学 3 侯彦青，等:SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学 3209 通过以上分析，首先确定在不同压强条件下的最佳操作温度:当压强为0.1 MPa时，最 佳温度为980 ?;当压强为0.3 MPa，最佳温度为1 000 ?;当压强为0.5 MPa时，最佳温 度为1 050 ?;然后通过分析确定了最佳操作压强为0.3 MPa;最后确定最佳进料配比 nH2/nSiCl4为4。从而可以确定SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的最佳操作条件如下:温度为 1 000 ?，压强为0.3 MPa，进料配比nH2/nSiCl4为4。在此条件下，SiCl4的氢化率为25.78%。 与实际生产过程中所选用的操作条件[30](温度为1 000~1 250 ?;压强为0.2~0.4 MPa;进 料配比nH2/nSiCl4为2~4)一致。而在实际生产中，SiCl4的氢化率不到20%，因此，通过改 善操作条件、操作以及控制设备等可以进一步提高SiCl4的氢化率，这需要进行进一步 的探讨和研究，同时也是一个机遇和挑战。 反应非常重要，随着进料配比nH2/nSiCl4的增大，SiCl4的氢化率增大。当nH2/nSiCl4 在2:1~4:1范围内时，SiCl4的氢化率增大较快;当nH2/nSiCl4大于4:1时，增加较慢。且 过分增大进料nH2/nSiCl4的配比，会造成尾气分离困难、生产成本升高等问，因此，在实 际生产中，进料配比nH2/nSiCl4应该控制在4:1。 6) 确定SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的最佳操作条件如下:温度为1 000 ?，压强为 0.3 MPa，进料配比nH2/nSiCl4为4。在此条件下，SiCl4的氢化率为25.78%，与实际生产 过程一致。 REFERENCES [1] NARAYANAN S, WOHLGEMUTH J. 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