PECVD常见问题

PECVD常见问题1.一线工艺腔抽真空经常达不到工艺要求（一般到不了e-3）。并且在加载工艺后抽真空压强有时出现上升现象。2.二线进料腔传输马达震动较大，在传输过程中伴有较大声响，马达发热严重。3.一线工艺腔位置传感器密封玻璃破碎，导致真空抽不下去。4.一线微波头大部分已经到了使用寿命，剩下的待换。5.二线进料腔盖板曾经受力过大导致所有盖板打开后关不上。6.二线进料腔红外加热管损坏严重，已断了12根，盖板及陶瓷片较一线明显偏黑。并且已烧断3个保险丝。7.二线在加载工艺后连续出现进料腔工艺腔及加热器3交流接触器报警。8.二线门板开关接触不良。9.一线曾经出现微波天线无法进出现象。10.一二线微波电源接线时常接触不良。11.一线2号微波头换上曾经风扇不转。12.更换工艺腔机械臂具体操作过程。13.PNOZ错误是怎么回事。