PCB多层板内层短路改善专案报告

KP1KP1内层内层P/GP/G短路专案改善报短路专案改善告2012/4/201目录�一、目的�二、现况把握�三、目标的订定�四、原因与真因证实�五、改善效果确认及追踪�六、化作业2012/4/202一、目的分析KPI内层P/G短路的主要成因，从制程上追根究源，然后针对问题点会同生产、品保、维修做专案改善。从而降低P/G短路报废，提升KPI内层整体一次良率，增强本厂市场竞争力。2012/4/203二、现况把握1、07年报废率推移07年INNER每周报废率推移图每周报废率目标值1099.049.0687.977.27.177.3476.846.846.3265.925.785.885.355.5555.054.894.974.594.664.654.544.123.67率废报321007210722072607270729073007310732073307340735073607370738073907410742074307440745074607470748周期对07年每周（WW21-WW48)的整体报废数据做统计分析：报废Rate：3.67~9.06%,AVG:5.54%2012/4/2042、对8-10月份报废缺陷进行pareto分析ParetoChartofDEFECT(8-10MONTH)7000010060000))))ttttffff80qq50000qqsssstttt((((nnnnaaaae40000eeeeeee60ccccrrrrrrrraaaaee30000eepPpPppPPaaaa40rrrrcccc20000ssss201000000DEFECTGTHTNL)SNLEr&RCNISREAUePOTEIOOSEPNDth-HADTFEHOGIOSRARNTISTCREHOSERMSTPG-ROHSPUTNHIOORSOGIGEC(ROERDHHRISLCSOOTFMFARCSCount17556121575399483444863645363932682727228918391802Percent27.619.18.57.67.05.75.75.14.33.62.92.8Cum%27.646.755.262.869.875.581.386.490.794.397.2100.0对8-10月份报废缺陷进行pareto分析,发现P/G短路累积报废面积17556FT2,对整体报废的贡献度为27.6%，是内层前工序贡献度排第一位的主要报废缺陷，由此可以确定此次专案的改善方向和改善项目，后续针对P/G短路展开专案改善.2012/4/2053、分析8-10月份P/G短路的现况8-10INNERP/G短路推移图P/G短路8.00%7.46%7.00%6.00%5.95%5.00%4.64%4.00%3.00%2.99%2.98%3.07%日期2.45%2.14%2.15%2.20%2.00%1.81%1.62%1.69%1.74%1.68%1.77%1.46%1.55%1.44%1.43%1.25%1.29%1.24%1.25%1.24%1.00%1.04%1.16%1.17%1.00%1.18%1.16%1.06%0.93%0.91%0.98%0.82%0.96%0.96%0.00%9-19-29-39-49-59-69-89-98/118-198-208-228-258-278-288-298-308-319-109-119-129-139-149-159-179-189-199-209-219-22报废率10-1610-1810-1910-2010-2210-2310-2510-27对8-10月份的P/G短路的数据做统计分析：P/G短路AVG:1.89%2012/4/2064、报废原因的分析：对54PCS的P/G内短报废板剥板，分析报废原因并统计各原因的贡献度。P/G60100508040ttttttttnnnnnnnnee60eeucucuuccrrrroooo30eeeeCCCCPPPP4020102000OtherCount435222Percent79.69.33.73.73.7Cum%79.688.992.696.3100.02012/4/2075、缺陷图片与贡献度孔内凸铜(79.6%)铜碎(9.26%)涨缩(3.7%)钻偏(3.7%)2012/4/2086、分析小结从P/G板剥板的比例可知，内层P/G短路主要是内层铜点（孔内铜点）造成，铜点对成品P/G短路的报废率贡献度为79.6%，根据80/20原则确定：改善内层铜点是改善内层PG-Short的主要方向。2012/4/209三、原因分析与真因证实1、P/G短路特性原因分析测量设备人曝光机真空底片生产25片沒有检查对密封墊老化X-RAY精度没有准度做定期校正掉屑自动曝光机或半自动曝AOI漏测光机人为改动PE参数蚀刻管位距AOI作业员没有将孔内板没有测量钻机的精准度超出铜点修理要求底片上机前曝光机的对位精度下上底片时对位不没有测量准降P/G短路烤箱清洁频率不合理貼膜板板边底片涨缩超出粘尘机粘尘胶轮膜屑没清理±1.0mil的要破损﹐清洁效果涂布轮的清洁干净求不好P/G板没有做频率不合理油墨品质不良检查前处理自來水含杂质孔内铜点没涨缩没有做系统静电除尘轆破有修理干净的管控化片有内杂损方法物料/工具2012/4/20102、P/G短路的三次因分析站实施实施一次因二次因三次因真因证实对策拟定实施责任人別日期状况涂布轮品质不Burkle和580RC涂布轮严重凹陷的佳或涂布轮磨更换凹陷的涂布轮，涂布后膜厚均匀涂布后油墨导致板面积油严重，涂布板面被杨根畅损后没有及时性必须≥85%，且膜厚控制在8±2um11/17已落实未完全干透的油墨污染厚度不均匀的更换宋建国涂布油墨是填充型，因此密度在20um滤芯不能过滤，现改为自制涂布轮要求每周用PMA清洗一次，并涂布后板面油墨内有杂120T的纲纱过滤，油墨内的杂质已落实质，烤箱太脏将滤纲清洁干净，烤箱内用吸尘器清有堆积的油不能有效去除。烤箱没有按WI要宋建国11/16墨残渣洁油墨残渣，确保滤纲、涂布轮、烤求频率清洁保养箱清洁A.严格按照WI的保养频率作业，修复蚀刻后显影液新液自动添加系统P/G面要求1周保养一次没有做到，IRC显影槽液内B.每天日保养时必须用高压水枪冲洗Cleara保养没有按要扬博DES线显影的新液自动添加系宋建国的SCAM太显影段和显影后水洗的行辘以及各槽nc孔求的频率进行统坏，显影槽喷嘴严重堵塞，槽杨根畅11/16已落实内多，返粘在内有铜且保养不彻底壁和喷盘上油墨残渣结垢槽壁上粘附的膜屑层板面上渣C.每周保养时将显影的喷盘拆下来，清理喷嘴、用无尘布清洁喷管上粘附的油墨残渣蚀刻液内的油性悬浮物蚀刻液每月大保养时由蚀刻液的用活返粘在板面蚀刻液内过滤蚀刻槽液面内发现大量的有机已落实性炭滤芯将蚀刻液过滤一次，去除药房国龙11/16上系统效果不佳粘性悬浮物水中的有机物清江水内有砂板面显影蚀在过滤纲中发现铁屑、砂粒，蚀粒、铁屑，蚀在清江水进水口加装过滤桶，显影后杨根畅已落实刻时异物返刻进料实心滚轮有蓝色的结晶存11/30刻进料实心滚刘伟正粘在水洗槽内铺设吸油棉2012/4/20轮结晶返粘11实施实施站別一次因二次因三次因真因证实对策拟定实施责任人日期状况P/G做10%抽检后方可续流孔内铜渣程，如一次合格低于P/G板没有做检现在的P/G没有全检童丽没有修理品质检查系95%，需做过机处理(P/G已落实查直入下工序也没有按比例的抽检宋文龙11/16干净或没统不完善板每天过机200pnls，了有修理解P/G板的良率现状）AOI修理工具不锋作业员修对员工做教育训练，修理利，员工责任心依进理铜渣时切片分析刀片及时的更换，用专用童丽11/16不够，品质意识行马虎没有淡漠于修板用折叠式10倍的目宋文龙修理干净镱代替现用圆筒式目镜。板面在做铜渣或要求用胶纸做清洁，A.板子修理后需用胶纸质修理后制短路修理时没有实际上并没有做（现做除残留铜碎的动作童丽板面上有11/16已落实对板面的铜碎做场反映没有清洁胶纸房国龙残留铜碎B.安装吸尘装置，修理完清理的动作物料）毕后将铜碎吸走2012/4/20123、DES线保养对内层铜点的改善验证IDF显影槽大保养时要求生产部将显影喷盘拆下全面检查，并用高压水枪冲洗槽壁和过滤纲，然后跟进铜点比率，与保养前铜点做对比以确认改善效果。以下是在保养过程发现问题：1)IDF显影喷嘴堵塞严重，20个喷嘴堵死，显影一段和二段的下喷嘴座内油墨残渣结垢占喷嘴内腔容积一半以上，在生产中喷嘴的流量受到阻碍。2)IDF和IRC显影槽壁和滤网上油墨残渣堆积，宇宙线显影段喷管严重破裂。3)IDF和IRC蚀刻槽内悬浮的有机粘性物粘结在蚀刻Pump吸入口的过滤纲上，蚀刻槽壁上也同样粘附此物质。显影槽壁油墨残渣显影喷嘴内腔油墨残渣2012/4/2013蚀刻PUMP吸入口滤网宇宙线显影槽喷管破裂上粘附的有机杂物蚀刻进料实涂布轮积油污染板边心滚轮结晶2012/4/2014保养后后良率跟进线路板数据制板编号实验别检板数量层别铜点比率P62996保养前212L34320.28%P46636保养后493L37916.02%P63122保养前200L53819%P63122保养后355L5277.61%从跟进对比的数据看出对DES彻底保养后铜点比率平均下降7.8%，因此每次保养时将显影的喷盘拆下来清洁干净可以有效的改善铜点。2012/4/20154、显影后水洗水质对内层铜点的改善验证内层显影后水洗采用本厂处理过的清江水，在水洗过滤网中发现铁屑、砂粒，这些杂质返沾在制板表面。蚀刻后形成铜点和短路。现改善水洗段的水质，跟进制板确认改善效果。1)清江水进水口加装过滤桶。2)水洗过滤网上铺设吸油棉，将水洗段的破损过滤网框全部修复。3)将喷管下面阻挡喷嘴水流的行辘取下。清江水中铁屑和砂粒水洗过滤纲框没有挡边2012/4/2016改善水质后良率跟进数据制板编号实验别检板数量层别铜点比率扬博线改P46636100L277.0%善前扬博线改P4663691L233.3%善后宇宙线未P46730100L255%铺吸油棉扬博线已P46730100L244%铺吸油棉从跟进对比的数据看出显影后水洗铺设吸油棉后，扬博线铜点比率降低3.7%；宇宙线与扬博线比较，铺设吸油棉扬博线铜点相对宇宙线要低1.0%，因此改善显影后水洗段水质可以降低铜点比率。2012/4/2017四、改善效果确认与追踪1、每周铜点比率推移图每周铜点比率推移图60.00%缺陷率53.10%目标值50.00%挑战目标值40.00%30.00%20.00%10.00%8.38%7.15%7.22%5.22%3.34%2.96%3.50%3.40%2.90%3.00%2.80%3.50%3.00%4.00%3.27%0.26%2.00%2.53%2.22%2.43%0.00%-10.00%WW44WW45WW46WW47WW48WW49WW50WW51WW52WW01WW02WW03WW04WW05WW06WW07WW08WW09WW10WW11WW12缺陷率53.10%8.38%7.15%7.22%5.22%0.26%3.34%2.96%3.50%3.40%2.90%3.00%2.80%2.00%3.50%2.53%3.00%4.00%3.27%2.22%2.43%目标值5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%挑战目标值3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%2012/4/20182、P/G短路报废的改善效果推移图P/G短路每周报废推移图报废率%1.601.54目标%1.171.17挑战目标%1.201.040.800.880.800.580.530.570.550.570.600.430.510.510.440.440.400.00WW49WW50WW51WW52WW01WW02WW03WW04WW05WW06WW07WW08WW09WW10WW11WW12WW13报废率%1.541.171.170.800.430.510.580.510.440.440.530.571.040.550.570.880.60目标%1.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.001.00挑战目标%0.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.4备注：从上图数据来看：P/G-Short报废已呈下降趋势，改善效果明显，08年WW09和WW12报废率突然上升，是由于对位不正异常导致P/G短路上升，现已经得到有效的改善和控制。2012/4/2019五、标准化作业1、DES周保养时将显影喷盘拆下来，清理喷嘴并将喷管上油墨残渣用无尘布沾酒精擦洗干净，显影段的行辘、滤网、槽壁用高压水枪冲洗，确保无油墨残渣粘附。2、显影后水洗进水口加装过滤桶，每周更换1次过滤芯。3、显影后水洗段过滤网框内铺设吸油棉。2012/4/2020六、后续持续改善行动1、对位不正专案改善，以改善因对位不正导致的PG-Short，此项已WW14已呈现明显下降趋势，已由WW12的1.03%下降WW13的0.40%，改善成效显著。2、内层底片对位工具孔加设方便曝光手检查的蝶形对位PAD.同时要求生产线曝光手在曝光过程中检查底片Unit内对准度（特别是BGA位）。3、AOI修理板后对修理产生的铜屑用吸尘的方法做清理，避免残留在板面，导致短路。2012/4/2021七、P/G短路报废目标订定下降幅21.89度为1.847.1%1.6下降幅1.4度为1.278.8%1.0010.80.60.400.40.20现状目标挑战目标备注：目前，P/G-Short报废率在0.55%的水平，接下来将依计划按照持续改善行动实施，完成拟定目标，此目标可在M04达成。2012/4/2022报告完毕TKS2012/4/2023