超纯水行业相关水质标准

超纯水行业相关水质标准中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997级别EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ电阻率MΩ·cm（25℃）18(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于1312.00.5全硅最大值ug/L210501000>1um微粒数，最大值个/ml0.1510500细菌数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值ug/L0.212500锌，最大值ug/L0.212500镍，最大值ug/L0.112500钠，最大值ug/L0.5251000钾，最大值ug/L0.525500氯，最大值ug/L11101000硝酸根，最大值ug/L1110500磷酸根，最大值ug/L1110500硫酸根，最大值ug/L1110500总有机碳，最大值ug/L201002001000美国纯水水质标准（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）序号水质项目单位E-ⅠE-ⅡE-ⅢE-Ⅳ1电阻率，25℃MΩ.cm181520.52二氧化硅（全）µg/l51010010003微粒（粒径≥1μm）个/ml251005004微生物个/ml110501005有机物TOCµg/l50200100050006铜Cuµg/l21010010007氯Clµg/l2101005008钾Kµg/l11020010009钠Naµg/l110200100010锌Znµg/l52020050011总固体µg/l1050美国半导体工业用纯水指标项目Ⅰ级Ⅱ级Ⅲ级Ⅳ级残渣，mg/L0.10.30.30.5TOC，mg/L0.020.050.100.40颗粒，粒/L500100025005000细菌数，个100mL061050活性硅SiO2，μg/L351040电阻率MΩ·cm18.317.917.517.0阳离子，μg/L0.22.05.0*铝Al30.22.05.0*铵NH40.30.30.5*铬Cr60.020.10.5*铁Fe30.020.10.2*铜Cu20.020.10.5*锰Mn20.050.51.0*钾K0.10.31.04.0钠Na0.050.21.05.0锌Zn20.030.10.5*阴离子，μg/L0.10.10.3*溴Br-0.10.10.3*氯Cl-0.050.20.8*亚硝酸根NO2-0.050.10.3*硝酸根NO3-0.10.10.5*磷酸根PO43-0.20.20.3*硫酸根SO42-0.050.31.0*化学指标单位：μg/L*此值未定。