FEI Quanta 250
环境扫描电子显微镜
中国矿业大学
甲、乙 双 方 就 甲 方 向 乙 方 购 置 环境 扫 描 电 镜 一 事 进 行 了 技 术 交 流 和 商 务 洽 谈 ,乙 方 愿 为 甲 方 提 供 高 质 量 的 产 品 和 优 良 的 售 后 服 务 ,并 以 特 殊 的 优 惠 价 格 、按 期 交 货 进 行 该 项 目 的 合 作 ,双 方 达 成 如 下 协 议 :
1、 技术协议
由以下部分组成:
第一部分 供货范围
第二部分 技术规格
第三部分 开箱检查
第四部分 仪器验收
第五部分 安装条件
第六部分 售后服务
第七部分 附加说明
二、本协议壹式两份,甲乙双方签字生效,并作为商务
不可分割的部分,具有与商务合同同等法律效力。
2、 本协议未尽事宜,由双方友好协商解决。
甲方:中国矿业大学
乙方:FEI香港有限公司
1、 供货范围
名称
项号
型号规格
数量
电子显微镜
FP 2012/14
Quanta 250
· 50x50 mm 4axis motor stage
(50x50mm 4轴全对中马达台)
· Microscope controller (电镜控制器,含19” LCD显示器)
· Everhardt Thornley SED for High Vacuum mode (高真空模式下E-T二次电子探头)
· Large Field Gaseous SED for Low Vacuum mode (低真空模式下LF GSED二次电子探头)
· Gaseous SED for ESEMTM mode (ESEM模式下GSED二次电子探头)
· IR-CCD (红外CCD探测器)
· Through-the-lens differential pumping vacuum system (压差真空系统)
· Windows XP operating system(Windows XP操作系统)
-Table Top with Support (操作台)
-含能谱反控电镜软件和接口
1
FP 2304/17
Low-kV SSBSED
高灵敏度低电压背散射探头
1
FP 6843/40
2-Channel Detector Amplifier
2通道放大器
1
FP 2304/11
GAD Low-kV SSBSED
型背散射探头
1
FP 2300/12
Peltier Stage
电制冷冷台(-20℃--60℃)
1
FP 2300/06
1500 Deg.C Heating Stage
1500度加热台
1
FP 2300/42
Peltier/Heating Stage Control Kit
冷台控制附件(含水控)
1
FP 2415/00
Remote Control / Imaging
远程控制系统
1
FP 5250/00
Set of 10 Tungsten Filaments
灯丝
5
FP 6107/00
Set of 3 apertures 200 um, 3 mm diameter
(末级光阑, 每套3个)
3
FP 6888/00
Additional Wehnelt Assembly
(韦氏帽)
1
4022 298 00711
MgO坩埚(加热台专用)
standard crucible(10pcs/set)
1
标配
常规保养所需专用工具:1套;
1
FP 2490/07
China On-site Training and Support (1 day)
高级应用培训
1
4022-40-LM
Additional Year(s) Warranty Labor & Material
延长保修
2
能谱仪
Quantax400-10
德国 布鲁克Quantax400-10
1
离子溅射仪
10418
Q150R ES Combined Sputtering and Carbon Coating System;Q150R ES 离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
1
EK3175
Edwards RV3 Two-Stage Rotary Pump
Approximately 50L/min 4m3/Hr, with vacuum hose, coupling kit and basic oil mist filter.
机械泵
1
10068
Additional Standard Glass Cylinder Assembly
Includes standard glass chamber, implosion guard and gaskets玻璃腔室
1
C5421-10
Carbon Fibre Cord - standard grade (10m) 碳绳
1
C5461-10
Carbon Fibre - fine strands (10m) 碳丝
1
国内采购
LOCAL
UPS系统(6kv 山特)
1
LOCAL
真空干燥皿(TS250-Ⅲ)
2
LOCAL
隔离真空泵(DAP-6D)
1
LOCAL
超声波清洗器(YJ5120-3DT)
1
LOCAL
双目体视显微镜(ZOOM645)
1
LOCAL
计算机(品牌、IBM/HP/DELL)(酷睿2 双核E8400 DDRⅡ 4G内存 500GHD DVD刻录光驱 大于20英寸飞利浦LCD显示器 100M以太网卡 )HP P2055d 打印机
1
其他
LOCAL
10mm样品台500个;;
1
LOCAL
放大标样和分辨率标样各1套;
1
LOCAL
双面导电胶带3卷;
1
LOCAL
机械泵油:3升;
1
LOCAL
工作手套:10付;
1
LOCAL
加热台保护气体-氮气钢瓶1个
1
LOCAL
离子溅射仪保护气体-减压阀1个和氩气钢瓶1个
1
2、 技术规格: Quanta250主要技术参数
电子光学
高分辨肖特基场发射扫描电子镜筒,优化的大束流/高亮度设计
45度大锥角物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑
加速电压: 200 V - 30 kV
束流: 最大2μA并连续可调
放大倍数: 6x – 1,000,000 x
分辨率
二次电子(SE)成像:高真空模式:30kV时 3.0nm;3kV时 8.0nm
低真空模式:30kV时3.0nm;3kV时 10.0nm
ESEM(环境真空模式: 30kV时 3.0nm
背散射电子(BSE)成像:30kV时 4 nm
样品室真空
< 6(10-4 - 4000Pa;三种真空模式: 高真空、低真空和ESEM环境真空
真空系统
1个250 l/s涡轮分子泵
1个旋转机械泵
专利的“穿过透镜”的压差真空系统,3级抽气区域
电子束在气体区域的行程: 10mm 或 2mm
探测器
高真空模式E-T二次电子探头
低真空模式LF GSED二次电子探头
ESEM环境真空模式GSED二次电子探头
样品室红外CCD相机
固体背散射电子探头*
样品室
内径 284 mm
分析工作距离 10 mm
8个探测器 / 附件接口
EDS采集角: 35°
四轴马达驱动样品台
计算机辅助全对中样品台
X = Y = 50 mm
Z = 50 mm
倾斜 –15° - +75°(与工作距离有关,手动)
连续旋转 360°
重复精度:2μm
图像处理
最大4096 x3536像素
图像文件格式: TIFF(8位或16位), BMP或JPEG
单幅或四幅图像显示
四幅图像动态显示
实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
256 帧平均或积分
数字动画记录 (.avi格式)
直方图及图像测量软件
系统控制
32位图形用户界面,WINDOWS XP操作系统,键盘,鼠标
19” LCD显示器, 分辨率1280 x 1024
支持软件
SmartSCAN™ 智能扫描技术
蒙太奇图像导航
软件温度控制
FEI动画生成工具
支持文档
在线帮助
Quanta FEG入门培训光盘
RAPID™ (远程诊断软件)
免费连接到FEI用户群在线资源库
3、 开箱检查
1、开箱后外观检查全新,无破损。
2、备品配件按供货范围和货物技术要求逐个确认,检查所有设备
正确无误。
3、仪器和设备开箱必须有乙方工程师在场(甲方提前三日书面
乙方),如发现短缺件,乙方确认并负责在三十天内空运补全缺件。
四、FEI公司售后服务说明
1、FEI香港有限公司(FEI Hong Kong Company Limited)、飞雅贸易(上海)有限公司是FEI公司在中国(包括香港和澳门)的分支机构, 全面负责其产品在国内的销售和售后服务。目前设有北京、上海、香港、广州、武汉五个维修站, 有售后服务工程师32人;有应用工程师9人。在北京和上海设有零备件仓库。另外, FEI公司在亚太地区的新加坡、日本、韩国、台湾等地设有数量更大的零备件仓库, 通过计算机网络系统在区域内快速调配。
2、预安装: 合同正式签字生效后, 卖方负责对买方的电镜实验室进行预安装确认(主要包括磁场、振动测试), 同时提供电镜的安装要求,列明用户需要准备的安装条件和物资要求。如果需要, 卖方将提出实验室的整改措施建议。卖方工程师费用由卖方承担。
3、安装调试: 电镜到货后, 根据买方的时间安排, 卖方尽快安排仪器的安装调试和验收。双方按照仪器的验收指标进行验收。扫描电镜系统的安装调试时间大约为1~2周。
4、操作培训:
--现场培训:仪器安装调试后, 卖方工程师对用户进行2人为期3天的的现场培训。
--培训内容包括:系统原理介绍;仪器的结构以及功能介绍;系统硬件、软件的操作运用;设备保养和故障排除。
--国内集中培训2人1次;
--高级应用培训:仪器安装验收后一年内,应用户要求,进行为期1天的现场免费高级应用培训和技术指导,根据用户的要求到用户现场,由FEI专业的应用工程师,根据用户样品的特点做培训。
5、保修期:
--卖方对电镜主机系统提供叁年保修服务
--保修期从仪器验收合格、双方签署验收报告之日算起。保修期内,提供原厂的仪器零配件;其零配件费用、人工费用、差旅费用(耗材除外) 均由卖方承担,因使用环境及人为因素造成设备损坏不在保修范围之内。
--卖方承诺对买方的服务申请即使响应, 正常情况下卖方应在12小时内对用户的服务要求做出响应,一般问
应在48小时内解决,重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案;保修期内如果15天问题不能解决,质保期将顺延。
--保修期过后,卖方承诺对仪器提供终身维修服务,能提供广泛、即时、优惠的技术服务,并提供优质的各种配件。
--在不涉及到硬件的情况下,软件终身免费升级。
五、仪器主要安装要求和布置图
(1) 搬运通道: 最小宽度1.1m;
(2) 实验室门宽度: 最小0.9m;
(3) 实验室面积: 最小3.0 x 3.5m;
(4) 工作温度: 工作温度15~25(C; 最佳温度20(C ( 3(C; 温度波动<2(C/小时;
(5) 相对湿度: <80%
(6) 杂散磁场: 50/60Hz频率: <300nT(峰-峰值); 其它频率: <100nT(峰-峰值); (由FEI公司负责测试)
(7) 振动: 见下图(由FEI公司负责测试)
振动要求: 左右方向
振动要求: 前后方向
振动要求: 垂直方向
(8) 氮气: 压力1.2 x 105 Pa;(作为放气保护有特别要求或者加热实验时需要)
(9) 电源: 230V +6% / -10%; 频率50/60Hz ( 1%; 容量: 最大3.0 kVA;
(10) 接地电阻:国内要求<4(;
(11) 安装尺寸(最小尺寸):
六、验收文件
1. 安装条件:
电源: 单相230V(+6%/-10%), 50/60Hz((1%), 3kVA
接地电阻: <4(
氮气(可选)
室温: 15~25(C, 最佳温度20(C ( 3(C 波动<2(C/小时
相对湿度: <80%
外部磁场: 50/60Hz同步频率<300nT(p-p), 非同步频率<100 nT(p-p)。由FEI公司测试。
外部振动: 参考预安装手册。由FEI公司测试。
2. 验收状态:
所有实验室条件合格并根据设备要求调整至满足设备预安装手册;
对设备所有功能进行测试;
验收设备须完全安装, 包括软件、盖板和附件。
3. 真空系统:
抽真空时间: 高真空模式 <3分钟
低真空模式(到70Pa) <3分钟
环境真空模式(到130Pa) < 4.5分钟
极限真空(24小时后) < 6 x 10-4 Pa (高真空模式)
4. 电子光学:
电镜像散 30kV ( 30(m
5kV ( 60(m
1kV ( 100(m
5. 放大倍数:
X、Y方向 <3% (采用放大倍数校验标样2160lines/mm。20000倍,20kV, 工作距离10mm下,扫描旋转0(和90()
6. 分辨率:
高真空模式:3.0nm @30kV(SE);4.0nm@30kV(BSE);8nm@3kV(SE)
低真空模式:3.0nm @30kV(SE);4.0nm@30kV(BSE);10.0nm@3kV(SE)
环境真空模式:3.5nm @30kV(SE)
7. 功能测试:
低真空模式功能、高真空模式功能 ,环境扫描模式功能;
设备技术参数的硬件、软件功能;
冷、热台测试:可以正常控制温度,可以利用程序控制温度,并做功能演示。
七、附加说明
本技术协议与合同不可分割,与合同具有同等法律效力。
其它未尽事宜,双方友好合作、协商解决。
甲方:
乙方:
中国矿业大学
FEI香港有限公司
代表:
代表:
技术协议书