FBBS的生长时间调整结果分析

nullFBBS的时间调整对外延片各项性能的影响FBBS的时间调整对外延片各项性能的影响FBBS意义及生长时间FBBS意义及生长时间 FBBS：即First Barrier Before SMQW. 这次试验分别取FBBS生长时间为：200S、250S、300S、350S和400S共5个比较值。NP datasNP datas250S和300S条件下，比其他条件Lop高9%以上250S和300S条件下，比其他条件Lop高9%以上FBBS_time=300S时，电压最高；200S时，电压最低。FBBS_time=300S时，电压最高；200S时，电压最低。在FBBS时间为300S时，Vz最大在FBBS时间为300S时，Vz最大FBBS_time=250/300/350时，Ir较好。FBBS_time=250/300/350时，Ir较好。FBBS_time=200S时，ESD很差，其他条件均很好。FBBS_time=200S时，ESD很差，其他条件均很好。小结小结从NP数据可以看出： FBBS_time=200S时Lop很低，ESD很差；而FBBS_time=250S时，Lop和ESD均很好，说明FBBS时间在200S和250S之间有一个临界点。所以，在综合考虑质量和成本的基础上，建议将FBBS生长时间定为300S。