VK-9700_C中文

彩色 3D 激光显微镜 VK-9700 ［ 观察倍率 18000 倍 ＆ 0.001µm 3 维测量］. 轻松实现超高精度的先进解析 彩色 3D 激光显微镜 彩色3D激光显微镜 VK-9700/9710 仅需放置到台架上。 无需前处理。 无需针对对象物体实施蒸镀、切断、加 工等各种前处理操作。保持原来状态便 可实现观察・测量。 这样一台激光显微镜能以光学显微镜式的轻便，完成［S E M ］［粗度计］可以 实现的解析。 请对比各产品的实现功能。 光学显微镜 S E M 粗度计 激光显微镜 VK-9700 无需前处理. 高分辨率. 超深度观察. 彩色观察 3维测量. ※是和一般性的光学显微镜、SEM、粗度计进行的比较。. 彩色 3D 激光显微镜 能够实现以下功能的仅为激光显微镜 与S E M相同的清晰度 高分辨率・超深度. 激光光量超深度图像. HEPA滤镜（×1000） 采用的是短波长紫罗兰激光，在实现了最高 18000倍的高分辨率的同时，还可观察到在整个 观察视野内全部合焦的超深度图像。 以此分辨率进行实时彩色观察 实时彩色观察 HD实时彩色超深度图像. 彩色印刷表面（×1000） 通过并用短波长激光和白色光源，可以观察到高 分辨率和彩色信息兼备的HD实时彩色超深度图 像。 分辨率0.001µｍ的高精度 非接触 3 维测量 光学膜（×1000）. 3D图像＋剖面 通过激光获取到观察视野全区域内的3维数 据。以非接触的状态适用于各种各样的对象物 体，并可实现高精度且多彩的3维解析。 光学显微镜 轻便 S E M 高分辨率・超深度 粗度计 形状测量 可以实现丰富的 3 维计测 剖面计测 针对图像上任意划出的直线、曲线的 剖面，可计测“高度”“宽度”“截 面积”“形状角度”“R”等。 由于可以在图像上确认计测点，因此即使 对于细微的部位也可简单、高精度地获得 计测结果。 电子部件（×3000） 棱镜片（×1000） 粗度计测 可以对于图像上任意划出的直线、曲 线的“线粗度”或任意指定区域的“面 粗度”进行计测。 与以往的接触式粗度计相比，具有“非接 触式实现计测”“可以在放大的观察图像 上选取想要计测的部位”“可以计测面粗 度”等特点。 可以按照1994JIS及2001JIS粗度所定义 的各种参数进行表面粗度解析。 导管（×1000） 金属表面（×1000） 面粗度计测 线粗度计测 高度・宽度・截面积计测 角度・R 计测 3 维计测 可以对于图像上任意指定的区域内的 对象物体的“体积”“表面积”“面 积：表面积率※”进行计测。 ※面积：表面积率＝由指定区域的面积和对象物 体的表面形状所产生的表面积的比率。 可以实现3维计测仪器特有的解析。 补片（×2000） 彩色CCD（×3000） 比较计测 将二个对象物体的剖面重叠显示，并 计测出宽度、高度的差值或截面积的 差值。 可以对试验前后、经过时间变化、制造条 件不同的对象物体等进行比较评价。 表面积计测 体积计测 剖面比较计测 LED衬垫部位（×1000） 业界首创 3D 显示［采用虚拟轨迹球方式］ 通过以3D方式显示观察数据，通过鼠标 操作自由地选择图像的倾斜或朝向、变焦 和Z轴的尺度等。 ［虚拟轨迹球方式］ 是操作3D对象物的中心、直径与球体的 中心、直径相一致的虚拟轨迹球（球体） 的方式。以鼠标单击方式用手指按住球体 的相应部位，再拖动鼠标和移动手指，能 够旋转球体，可以顺利地实现微妙的操 作。 Virtual Trackball 通过鼠标操作自由选择观 察角度 可变更比例尺和放大图像。 可以从360度的任意方向观察。能以最佳角度进行观察。 纹理图像显示 混合了可表现表面状态的“光量图像”和可通过视觉获知高度信息的 “高低图像”。可以将这二种信息同时加以表现。 光量和高低的纹理 3D图像 CMP衬垫（×1000） 光量图像 以高分辨率表现对象物体的表面状态。 高低图像 以可以通过视觉获知对象物体的高度信 息的浓淡法加以表现。 照明显示 针对 3D 显示图像，可以虚拟的照射一定角度和强度的照明。根据对 象物体的形状调节“角度”“照明的强度”等，可以对细微的凹凸施 加阴影以方便观察，或者仅对某个方向的面以更明亮的状态进行观察。 太阳能电池（×1000） 有照明 无照明 2D＋3D 计测 在 2D 图像上和 3D 图像上均可以设定对象物体的3维计测的计测部 位。二种图像均可以实时显示计测部位，因此可以彻底计测到想要计 测的部位。 LED 衬垫（×1000） 在这二种图像上均可以调整计测部位。通 过调整计测部位，可以实时地移动这二种 图像上的计测点。 业界首创 2D 图 像 3D 图 像 彩色 3D激光显微镜的观察・测量原理 测量原理的解说 彩色3D激光显微镜是使用了“短波长激光光源”和“白色光源” 的2路光源方式。通过这二种光源可以得到构建彩色超深度・光 量超深度・高低图像所必需的色彩・光量・高度等信息。 ［通过短波长激光检测出反射光量和高度］ 激光光源属于点光源，因此介由X-Y扫描光学系统在观察视野 内分割成1024×768像素并进行扫描，并通过受光元件检测出 每个像素的反射光。在Z轴方向上驱动对物透镜，并反复扫描， 以获取各个像素在不同Z轴位置时的反射光量。以反射光量最 高的Z轴位置作为焦点，检测出高度信息和反射光量。通过以 上处理，便可以获得整个图像均已对齐焦点的光量超深度图像 和高低图像（信息）。 ［通过 CCD 相机获取色彩信息］ 另一方面，对于白色光源的反射光将彩色 CCD 相机进行检 测。是针对每个像素获取激光光源所检测到的焦点位置处的色 彩信息，因此实现了SEM所无法实现的实时彩色观察。 ▐ 测量原理的模式图 短波长激光 1024×768.像素. 激光从 XY 方向进 行扫描. 在 Z 轴方向上驱动 对物透镜，再次用激 光扫描 仅反复测量范围部 分的操作 测量结束 全焦点图像 测 量 范 围 彩色CCD相机 半透明反射镜 激光光源 集光透镜 针孔 受光元件 （光电倍增管） X-Y扫描光学 系统 照明用白 色光源 半透明 反射镜 半透明 反射镜 对物透镜 观察对象物体 获取后的数据的解说 如下图所示，针对一个平面（1024×768像素）上的 各个像素，获取不同Z轴位置（ Z position ）的反射 光量信息（Intensity），获取反射光量最高的Z轴位置 （＝焦点位置）及此时的反射光量、色彩信息。以这 些信息为基础，构建“彩色超深度”“光量超深度” “高低”这三种图像数据。 基于针孔共焦点光学系统的高精 度测量 使用CCD等作为受光元件的以往的模拟共焦点光学 系统中，由于来自焦点位置以外的反射光线及邻近像 素的外部干扰光线等的影响，较难实现高精度测量、 高分辨率观察。而针孔共焦点光学系统则完全排除了 来自焦点位置以外的反射光线，可以实现高精度测量 和高分辨率观察。 色彩信息 焦点位置. 接收的反射光量 〔Intensity〕 透镜 透镜. 反射镜 反射镜 透镜 透镜 针孔. 激光光 激光. 以往的系统. VK-9700的系统. 针孔共焦点光学系统和以往系统的差异 针孔共焦点光学系和通常的光学系的焦点位置检测 通常的光学系统的Z-I曲线 通常的光学系统由于没有针孔，光 量峰值范围变大 焦点位置以外的外部干扰光线・耀斑 针孔共焦点光学系统的 Z-I曲线 受光的反射光量〔Intensity〕 以往的光学系统会接收到来自焦点位置以外的反射光线，因 此观察图像上会产生模糊。与之相对应，针孔共焦点光学系 统仅接收来自焦点位置的反射光线，因此可以实现高精度的 焦点位置检测，及获取到不模糊的鲜明的图像。 . 光学胶片（×1000） 测量后构建的三种图像 色彩＋光量信息 彩色超深度图像 SEM和光学显微镜所无法观 察到的全部合焦的彩色图像 光量信息 光量超深度图像 和SEM相似的黑白高对比度 图像，表现了对象物体表面 的反射率的差。 高低信息. 高低图像 对于对象物体的凹凸以浓淡 法加以表现的图像 补片（×1000） 一般的光学显微镜图像 无法排除干扰光线和耀斑影响。. VK-9700的共焦点图像 排除干扰光线并仅获取对齐焦 点部分的图像。. 光量信息 高 低 信 息 Z 轴 方 向 的 位 置 . ［ Z position］ Z 轴 方 向 的 位 置 . 焦点 即使没有专业知识也可进行测量。 观察・测量软件 ［VK-Viewer］ 根据所述步骤，３S t e p便完成测量！ 提示出操作步骤的“e指南”和自动调整激光灵敏度的“AAG功能”使激光显微镜的 以往复杂的操作变得更简单。操作仅仅是在执行了作为光学显微镜的基本操作 的“观察位置的调整”和“焦点位置的调整”后，按下“测量开始按钮”便可完成的 3Step。即使初次接触本仪器的人员也可以简单地获得正确的测量结果。 e指南（新手模式） 由图面板、指南面板、操作面板这三个面板构成。仅需根据流程图进行操作。仅3Step便 可完成测量。 流程图面板 对于测量操作的3 S t e p以流程图 加以显示。 指南面板 会显示出各S t e p的操作内容的指 南，显示内容会根据各个Step分别 切换。 操作面板 执行实际的操作，面板显示内容会 根据各个Step分别切换。. TFT图形（×1000） 对于操作熟练的人员最适合 专家模式 是对于各个设定项目按不同内容分组配置的GUI，这个操作 模式适合于熟知各个设定项目和操作步骤的操作人员。 简 单 操 作 1 业界首创 电子部件（×1000） 为了映出对象物体的想要观察的部 位，移动载有对象物体的台架，调整 观察位置和焦点。 在对象物体的顶点部和底面部分别 移动焦点，存储焦点位置信息。 按下测量开始按钮，开始测量。测量 过程中对于以往操作比较麻烦、且左 右数据的正确性的“激光灵敏度的调 整”也是通过全自动方式进行。 ※激光灵敏度调整也可以通过手动操作进行设 定。 自动调整激光 灵敏度 AAG 功能 AAG=Advanced Auto Gain 高速检测所设定的整个高度范围内的激光反 射，并设定最佳的受光灵敏度的功能。以往 手动执行的操作通过自动化方式实现，即使 初次接触仪器操作的人员，也可简单・正确地 进行测量。 观察位置的调整 焦点位置的调整 测量开始 测量结束 仅通过以上操作便完成测量。即使初 次接触仪器操作的人员也能够正确 且迅速地完成测量操作。 世界首创 提高作业效率、简单、方便的功能 新一代解析软件 ［VK-Analyzer］ “标签 window 方式”和“WYSIWYG 环境”实现了顺利解析。 通过方便实现复数的解析结果的管理、显示的“标签 window 方式”和将该标签上 的工作表直接报告输出的“WYSIWYG 环境”，可实现一连串顺利的操作。使作业 的效率得到了飞跃性的提高。WYSIWYG. 标签 window 方式 针对一个采样图像，将复数的解析结果在1个窗口加以管理。 执行解析时，随即添加新的标签，单击后可以切换各个解析 画面。 剖面解析 线粗度解析 HDD部件（×1000） WYSIWYG 环境 图像、数值数据的输出。 可以将解析画面直接作为报告输出。也可以任意地设定和想要插入到报告中的信息及构 成等。 图像文件 可以作为 JPG、BMP、TIFF 等的 图像数据进行输出。 CSV 文件 可以将高度或光量等的信息作为 数值数据进行输出。 何谓WYSIWYG？ What You See Is WhatYou Get的简称。是 指“所见即所得”的意思。 在编辑时在显示画面上所 观察到的图像可以直接输 出至打印件上。 CAD文件 将高度数据以STEP、ASC形式进 行输出。可在CAD软件上打开。 动画文件 可以将3D图像作为连续的文件 （AVI文件）进行记录。 简 单 操 作 2 业界首创 单击标签进行切换 . 业界首创 报告输出 模板功能 将针对图像的所有操作作为模板进行记录。由于可适用至別的样品从而执行完全相同的解析处理， 因此可以简单地实现复数样品的比较评价。 针对样品A实施线粗度计测。 针对样品B适用模板。 在任意的区域实施面粗度计 测。 瞬间完成和样品A完全相同的 计测操作。 输出报告。 瞬间完成和样品A完全相同的计测操 作。 将步骤1～3 作为模板保 存。 新手模式 图像数据的解析操作仅需也和观察・测量软件“VK-VIEWER”相 同的步骤操作便可。由于在各个场景会仅显示出必要的操作，因 此即使初次接触仪器操作的人员也不会不知道如何操作。 图像处理 计测解析 输出・结束 数据解析的前期准备。执行测量数据 的倾斜补偿等的处理。 执行符合所要解析的内容的计测。对 于剖面计测或粗度计测等想以执行 的解析进行选择。 输出解析后得到的结果。选择打印或 保存文件等。 业界首创 实现高精度测量的基本技术 分辨率达0.001μｍ的高分辨率和适用任何对象物体的测量能力 RPD 算法 以测量后的 ZI 曲线为基础，通过独特的算法计算出真正的 Peak 位置。实 现了较高的分辨率和测量时间的缩短。 测量后的ZI曲线 以往方式. 检测到的焦点位置. 无法检测到真正的焦点位置。 RPD 方式. 接收的反射光量〔Intensity〕 RPD方式可以取得Z方向的Step以上的精 度，因此可以在较短的测量时间内获得高精 度的测量结果。 0.053μm基准高度差样品测量结果（和以往方式的比较） 以往方式 RPD方式. 适用可追溯性 0.001μm 线性标尺模块 搭载了新开发的超高精度线性标尺模块。 关于高度计测数据，遵循和国家标准相关 的可追溯性体系，实现了可靠性极高的计 测。可以作为测量仪器安心使用。 超高精度线性标尺模块（和以往产品的比较） 【以往】0.01μｍ 【VK-9700】0.001μｍ 与以往产品相比，实现了 10倍的超高精度。 业界最高 可以检测到真正的焦点位置。 检测到的焦点位置. Z 轴方向的位置 采用了高 N.A. 的 Apo（复消色差透镜）透镜 对物透镜的 N.A. 越高则焦点深度越浅，可实现点尺寸 小的射线点，因此可以实现高精度测量和高分辨率观 察。另外，由于可以检测到来自更为陡峭的倾斜部的反 射光线，因此角度追随特性也高。ＶＫ- 9700产品使用 的是作为光学透镜来讲最高级别的 N.A. 0.95 的 Apo 透镜。 Ａｐｏ透镜（50倍／150倍） 采用 14 bit 光电倍增管 采用了光电倍增管作为受光元件，实现了激光显微镜中 最高级别的动态范围。通过以往的激光显微镜所无法测 量的反射率差异剧烈的对象物体或来自陡峭的形状部 等的反射光线较微弱的对象物体，均可以实现正确的测 量。 以往机型 HDD部件（×1000） 基于水平面接地结构实现的较高的耐振动性能. 显微镜本体由内置了对物透镜等的观察・测量机构的机 头部和包含台架等的台座部构成。VK-9700为了在任何 安装环境中均可以实现高精度测量，机头部实现了轻量 化，且采用了对机头部从台座部以面进行支撑的水平面 安装结构。另外，在显微镜的“脚”部采用了专为K-9700 的耐震凝胶。 MD碟片坑（×12000）. 无耐振结构 有耐振结构（VK-9700） 轻量化的机头部 以面支撑机头部 的水平面安装结 构 耐震凝胶 HD 实时彩色超深度观察系统 融合了以短波长的点光源在对象物体上进行扫描所获得的基于激光光源的高分辨率・高对比度观察图像和带有白色光 源特点的基于广范围波长的反射光所获得的实时彩色信息。不仅是实时彩色图像，而且得到的是高分辨率、高对比度 的观察图像。 来自激光光源的光量图像 来自白色光源的彩色CCD原始图像. 以往方式下 一般的彩色超深度观察是叠加 彩色CCD相机所获得的彩色信 息的方式。此方式下由于未进行 共焦点的焦点位置检测，因此可 能会混入干扰光线或伪色。另 外，对于白色系的对象物体，仅 从彩色CCD相机获取彩色信息， 所观察到的图像的对比度将会 比较低。 HD实时彩色超深度图像 彩色打印（×1000）. 以往方式 实时彩色 高分辨率・高对比度 VK-9700的HD实时彩色超深度观察系统下，是在通过激光共焦点所检测到的真正的焦 点位置通过彩色CCD相机来获取各个像素的彩色信息，因此可以获得没有干扰光线或 伪色的彩色信息。另外，具备分辨率和对比度的激光光量图像将会反映此类彩色信息， 因此，可以实现兼顾了实时彩色和高分辨率・高对比度的HD（＝High Definition）实时 彩色超深度观察图像。 超高精细模式 相对于在观察视野内执行1024×768像素 的激光扫描的通常的模式（高精细模式）， 可以在超高精细模式下执行2048×1536 像素的激光扫描。实现了XY方向的高分辨 率观察和高分辨率测量。 基准表（×400） 高精细模式 超高精细模式. 采用了 408 nm 短波长半导体激光 显微镜的ＸＹ方向的分辨率由以下的算式确定。 常数×λ/N.A. （λ：光源的波长 N.A.：对物透镜的开口数） VK-9700采用的光源是作为可视光限度的 短波长408ｎｍ的半导体激光。与50倍、 150倍的高倍率对物透镜所采用的开口数 0.95 的 Apo 透镜，共同实现了超高分辨 率观察。 碟片坑（×9000）. 光学变焦 在观察视野内的狭小区域内，执行 1024 ×768 像素的激光扫描。与会产生图像质 量恶化的数码变焦不同，可以在保持分辨 率的状态下改变观察倍率。 光学变焦 6 倍 CMOS图形（×1000） 广范围 3 维测量 实现了高速且高精度的图像连接 图像连接软件［VK-Assembler］ 任选件 可以将视野范围容纳不下的区域连接成一张图像 如果显微镜的视野范围容纳不下必要的观察区域时，可以获取复数张的图像数据， 然后将之高精度地连接起来作为一张图像数据进行处理。 太阳能电池（×1000） 想要兼顾倍率达 1000 倍的高分辨率观察和高精度计测，实施 广范围计测时。 通过连接3×3的9张图像，可以实现约800×600μm的广范 围・高分辨率・高精度观察及计测。 （1000倍的观察视野为270×202μm） 可连接的张数共计400张。 高精度地连接了彩色超深度・光量・ 高度等所有的数据，因此兼顾了广 范围的高分辨率观察图像的获取和 广范围的测量这二点。剖面结果也 不会发生高度差。 搭载 FAST 算法 高精度且超高速地实施图像连接处理 FAST 算法下为了提高连接的精度，使各图像带有用于 连接处理用的重复部分，并基于此部分的光量和高度数 据实现高精度的连接处理。另外，连接处理速度与以往 产品相比，实现了约达 30 倍的高速度。通过与测量时 间的缩短相结合，大幅缩短了从采集连接用的数据到完 成连接为止的时间。 在以往方式的图像连接系统中，在图像和图像的接缝处仅会产生高度 数据的连接，而FAST算法处理时，会对图像和图像的接缝部的XYZ 数据进行补偿，是作为高精度3维数据加以处理。 以往的图像连接 VK-9700 的图像连接 高低图像 光量图像 金属部件（×1000・3×3图像连接） 使用电动台架获取多样化的数据。 如果使用作为任选件的电动台架，可以实现广范围图像连接数据的获取或 ｎ数较多的连续测量的自动化。 电动台架［任选件］ 自动连接 使用电动台架自动执行图像连接。仅设定好想要测量的范围，并执行测量 开始操作，便可全自动地完成从测量数据的收集到测量后的数据的连接操 作。 电线压焊部（×1000）. 教学 可以使电动台架自动移动至设定在其可移动范围内的最多100个部位的 任意的座标位置并进行测量。想要以ｎ数较多的测量数据为基础进行解析 时较为有效。 LED衬垫部（×400）. 即使没有电动台架也可实现图像连接。 手动连接 即使未购买任选件的电动台架也可以实现图像连接。虽说是“手 动”其实操作也非常简单。仅从画面上对于复数的测量数据进行 拖放便可自动执行连接处理，同样属于很简单的操作。 透明体的厚度测量 对于以往使用非共焦点显微镜较难检测焦点位置的透明・半透明的对象物体，通过激光共焦点 也可正确检测到焦点位置。能以非破坏方式测量厚度。 对象物体为透明体时，透过光 也会越过表面的焦点位置，检 测出反面焦点位置，从而能够 检测出二者焦点位置的差（＝ 透明体厚度）。 图形的自动宽度测量 可以根据不同的设定条件，对于半导体、显示器、光学部件等的具备规则图形的对象物体的 宽度、高度进行自动测量。由于是自动测量，因此不会因测量人员的不同产生误差，并在短 时间内完成测量。 保护层图形（×6000）. 适用可追溯性 VK 系列机型的计测结果，遵循和国家标准相关的可追溯性体系，实现了可靠性极高的计测。 可以作为测量仪器安心使用。 可追溯性体系图. 国家标准 国家标准 独立行政法人产业技术综合研究所 美国国立标准技术研究所（NIST） JCSS认证机关 高度差计测器 座标测量仪器 校准图表 校准块 彩色3D激光显微镜（VK系列） 直方图 2 值化功能 针对所计测到的图像数据的“彩色”“光量”“高低”等各项数据，可以进行直方图显示，并可以计测对应任意设 定的阈值的数据的“面积”或“面积率”等。另外，通过任意设定的阈值执行图像的 2值化处理的同时，还可以进 行各种各样的计测。 彩色CCD（×3000） 直方图显示 基于二值化处理的计测结果. 粒子解析功能 针对视野范围内的多数个不同粒子（圆形）形状的对象物体，自动执行“圆形分离”或“膨胀”“收缩”处理，并 在执行相邻圆形形状的自动分离等计测前处理后，进行“个数”“粒径”“长径、短径”等的计测。 金属粒子（×1000） DLL 功能 也可从外部实施远程操作。可以在线使用ＶＫ，或是和电动台架相连动，对于对象物体的任意的点实施连续测量。 任选件 ・半导体 电子部件 硅片反面粗度计测（×1000） 电子设备图形高度・宽度・截面积计测（×1000） 显示器 解析 彩色滤镜粗度计测（×1000） 光学膜形状角度计测（×1000） ・输送 金属 转向部件粗度计测（×400・2张图像连接） 工具刃尖形状・粗度计测（×1000） ・精密 化学 微透镜 R计测（×1000） 包装带高度、宽度计测（×400・2张图像连接） 使激光显微镜的通用性进化的充实的任选件 将机头部和台座部分离，也可以适 用于高度 100mm 的对象物体。 VK 用底座 显微镜背面部安装有高刚性的专用底座，可以将机头部调节在任意的高度。通过 在机头部和台座部之间插入垫片，提高了稳定性，可以实现高精度测量。 备有广范围的产品阵营 ■ 各种对物透镜. 以高NA的 Apo 透镜为首，备有从长距离透镜到低倍率透镜等各种不同规格的 产品，可以确保您根据不同对象物体加以选用。 自动连接・教学 ■ 电动台架 图像的自动连接或教学所需的电动台架。可直接安装至测量部。 适用于大型晶片 ■ 300mm 晶片台架. 300mm 晶片上的整个区域均可以实现无死角的观察、解析。可直接 安装至测量部。 对大型对象物体以非破坏方式进行观察 ■ 大型样品台架 对于大型液晶基板、PDP基板等的大型对象物体，可以以非破坏方式， 对任意的点进行观察、解析。 VK用底座 旋转旋钮便可自 由调节高度。 通过使用垫片提 高了稳定性 相关商品 具备彩色激光显微镜的基本性能的标准型号 彩色 3D 激光显微镜 采用红色半导体激光（658ｎｍ） 观察倍率200～12000倍 测量分辨率0.01μｍ 与VK- 9700 同样，搭载有实现“简单、方便”操作的功能。 采用了新开发的 VK-Viewer 根据所示步骤，仅需 3 Step 便完成测量！ 提示出操作步骤的“e指南”和自动调整激光灵敏度 的“AAG 功能”使激光显微镜的以往复杂的操作变 得更简单。操作仅仅是在执行了作为光学显微镜的 基本操作的“观察位置的调整”和“焦点位置的调整” 后，按下“测量开始按钮”便可完成的3Step。即使 初次接触本仪器的人员也可以简单地获得正确的 测量结果。 观察位置的调 整 焦点位置的调 整 测量开始 新一代解析软件 VK-Analyzer “标签 window 方式”和 “WYSIWYG 环境”实现了 顺利解析。 将解析画面直接输出报告 通过方便实现复数个解析结果的管理、显示的“标签window 方式” 和将该标签上的工作表直接报告输出的“WYSIWYG 环境”,可实 现一连串顺利的操作。使作业的效率得到了飞跃性的提高。 外形尺寸图 测量部VK-9710 控制器部VK-9700 4—Ｍ6 深度10 机头部 2—φ6.6贯通 测量部 VK-8710 控制器部VK-8700 机头部 2—Ｍ６ 螺纹衬套１.5D （深度8） 2—Ｍ６ 螺纹衬套１.5D （深度8） 2—φ6.6贯通 4—Ｍ6 深度10 规格 显微镜部 VK-9710 VK-8710. 型号 显微镜部 VK-9700 VK-8700 15英寸监视器上倍率 200 400 1000 3000 200 400 1000 1000 对物透镜倍率 10× 20× 50× 150× 10× 20× 50× 100× 横（H）：µｍ 1350 675 270 90 1350 675 270 135 观察测量范围 1※ 纵（V）：µｍ 1012 506 202 67 1012 506 202 101 动作距离：mm 16.5 3.1 0.35 0.2 16.5 3.1 0.54 0.3 开口数（N.A.） 0.3 0.46 0.95 0.95 0.3 0.46 0.8 0.95 观察・测量用光学系 基于针孔的共焦点光学系统 基于针孔的共焦点光学系统 测量范围 7mm 7mm 显示分辨率 0.001µm. 0.01µm. 高度测量 反复精度σ 0.012µm 2※ 0.03µm※3 显示分辨率 0.001µm 0.01µm 宽度测量 反复精度3σ 0.02µm 4※ 0.03µm※5 像素数 2048×1536、1024×768 2048×1536、1024×768 影像用（黑白） 14bit 14bit 影像用（彩色） RGB 各8bit RGB 各8bit 帧存储器 高度测量用 24bit 20bit 光学变焦 1x ～ 6x 1x ～ 6x 自动功能 AAG（自动增益）／自动变焦／RPD AAG（自动增益）／自动变焦／RPD 波长 紫罗兰激光408nm 红色激光658nm 最大输出 0.9mW 0.9mW 测量用激光光源 级别 级别2（JIS C6802） 级别2（JIS C6802） 受光元件 PMT（光电子増倍管） PMT（光电子増倍管） 光学观察用光源 灯泡 100W卤素灯 100W卤素灯 拍摄元件 彩色CCD影像传感器 彩色CCD影像传感器 光学观察用彩色相机 自动调整 增益、快门速度 增益、快门速度 数据处理部 本公司指定专用PC （操作系统：WindowsXP Professional Edition） 6※ 本公司指定专用PC （操作系统：WindowsXP Professional Edition） 6※ 显微镜部 约26Kg（分离时、测量部单体：约10Kg） 约25Kg（分离时、测量部单体：约0.85Kg） 重量 控制器部 约11kg 约11kg ※1 观察测量范围为最小视野范围。 ※２ 按照对物透镜50倍、标准高度差2μｍ进行测量时。 ※３ 按照对物透镜100倍、标准高度差2μｍ进行测量时。 ※４ 按照对物透镜150倍、对本公司基准表的线宽1μｍ部分的线峰值（图像平均８次）进行测量时。 ※５ 按照对物透镜100倍、对本公司基准表的线宽1μｍ部分的线峰值（图像平均８次）进行测量时。 ※６ WindowsXP是美国微软公司的注册商标。 系统构成图 z 图像连接用电动XY台架（任选件） z 适用300mm晶片的台架（任选件） ※图像连接用电动XY台架是VK-9700专用任选件。 ※关于大型采样台架，可另行与本公司商谈。 z 观察应用软件 z 解析应用软件 ※图像连接应用软件是VK-9700专用任选件。 ● 图像连接应用软件（任选件） ● 粒子解析应用软件（任选件） VK 用底座（任选件） 测量部.VK-9710/8710 显示器（任选件） 各种外部媒 介 控制器部 VK-9700/8700 控制用PC 探寻数字显微镜的最新解决。 安全注意事项 为确保安全使用本商品，在您使用之前务必 仔细阅读“使用说明书”。 基恩士株式会社 技术商谈、问询 离客户近的技术营业部门直接 提供支持。 MECT 事业部 仙台营业所 〒980-0811 仙台市青叶区一番町2-8-10 NISSAY同和损失保险仙台大厦. Tel 022-723-5211 Fax 022-723-4366 浦和营业所 〒330-0063 SAITAMA市浦和区高砂2- 2- 3 SAITAMA浦和大厦. Tel 048-831-4211 Fax 048-831-4555 东京营业所 〒140-0002 东京都品川区东品川2-2-24 天王洲CENTRAL TOWER. Tel 03-5769-2281 Fax 03-5769-2233 横滨营业所 〒222-0033 横滨市港北区新横滨3-19- 5 新横滨第二中央大厦. 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