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微电子习答案第3单元-无忧文档 无忧文档 无忧文档可免积分在线阅读和下载文档 包括资格考试、应用文书等大量word文档免费下载 微电子习题答案(第3单元)搜索文档 , 无忧文档 , 高等教育 , 高中教育 , 初中教育 , 小学教育 , 外语考试 , 资格考试 , 工作范文 , 求职职场 , 党团工作 表格模板 , , 总结汇报 , 经管营销 , 教学研究 您的位置: 无忧文档所有分类高等教育工学 微电子习题答案(第3单元) 微电子习题答案(第3单元) 上海电子信息职业技术学院微电子工艺复习题目 第三单元 习题 1. 比较APCVD、LPCVD和PECVD三种方法的主要异同,主要优缺点, 答: 从三种方法的工艺原理上看，APCVD、LPCVD是热激活并维持化学反应发生，而PECVD是采用电能将反应气体等离子化从而热激活并维持化学反应发生的。 APCVD工艺温度一般控制在气相质量输运限制区，采用冷壁式反应器，在薄膜淀积过程中应精确控制反应剂成分、计量和气相质量输运过程。主要缺点是有气相反应形成的颗粒物。 LPCVD工艺温度一般控制在表面反应限制区，对反应剂浓度的均匀性要求不是非常严格，对温度要求严格。因此多采用热壁式反应器，衬底垂直放置，装载量大，更适合大批量生产，气体用量少，功耗低，降低了生产成本。颗粒污染现象也好于APCVD。 PECVD工艺是典型的表面反应速率控制淀积方法，需要精确控制衬底温度。最大特点是工艺温度较低，所淀积薄膜的台阶覆盖性、附着性也好于APCVD和PECVD。但薄膜一般含有氢等气体副产物，质地较疏松，密度低。 2. 有一特定LPCVD工艺，在700?下受表面反应速率限制，激活能为2eV，在此温度下 淀积速率为100nm/min。试问800?时的淀积速率是多少?如果实测800?的淀积速率值远低于所预期的计算值，可以得出什么结论,可以用什么方法证明, 已知，薄膜淀积速率由表面反应控制时，有:G 1/k=5040K/eV ksCsksCTY E/kT，ks k0ea, NN G1e Ea/kT1 Ea/kT2 eEa(kT2 kT1)，Ea,2eV, 1/kT1=5.18 eV-1, 1/kT2=4.70 eV-1 由此可得:G2e 得800?时的淀积速率是: G2 100 e2(5.18 4.70) 262(nm/min) 如果实测值远低于所预期的计算值，表明该工艺在此温度范围不是受表面反应速率限制，而是气相质量输运速率限制，或在700~800?范围内出现淀积速率由表面反应速率限制向气相质量输运速率限制的转变。而在气相质量输运速率限制温区，温度升高淀积速率只有小幅增加。可通过实测淀积速率反推温度，在所得温度之上进行LPCVD淀积，再测淀积速率，如果和800?时的淀积速率接近，就表明上述分析是正确的。 3. 薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率非常慢，因此常作为硅片定域KOH各向异性腐蚀的 掩蔽膜，而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率快。怎样才能用已淀积的PECVD氮化硅薄膜作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜, 答: PECVD氮化硅薄膜含H、质地疏松，抗KOH水溶液中的腐蚀性能差。可通过高温退火，使H逸出，薄膜致密化，从而提高抗腐蚀性，就能作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜。退火温度约800?，20min，即LPCVD氮化硅工艺温度。如效果不理想，可升温延长时间。 4. 的卧式LPCVD的反应器是热壁式的炉管，衬底硅片被竖立装在炉管的石英舟上， 反应气体从炉管前端进入后端抽出，从炉管前端到后端各硅片淀积薄膜的生长 速率会降低，那么每个硅片边缘到中心淀积薄膜的生长速率将怎样?如何改善硅 片之间和硅片 第1页下一页 Word文档免费下载:微电子习题答案(第3单元) (共4页，当前第1页) 你可能喜欢 , 制造技术 , 毛概课后习题答案 , 滑轮习题答案 , 数据结构习题答案 , 塑性力学习题答案 , 补充习题答案 , 应用光学习题答案 , 基础化学习题答案 , 先进制造技术7页 , 机械制造技术基础题库7页 先进制造技术答案3页 , , 先进制造技术复习3页 , 先进制造技术问题和答案32页 更多与“制造技术”相关的内容>> , 毛概课后习题答案56页 , 毛概课后习题答案5页 , 毛概课后习题答案26页 , 大学毛概课后习题及其答案32页 , 毛概课后习题答案13页 更多与“毛概课后习题答案”相关的内容>> , 滑轮组习题及答案9页 , 滑轮组习题含答案ppt15页 , 滑轮组习题及答案3页 , 滑轮 习题及答案3页 , 杠杆 滑轮 习题及答案10页 更多与“滑轮习题答案”相关的内容>> , 严蔚敏《数据结构(c语言版)习题集》答案第六章 树和二叉树文库9页 , 数据结构(C语言版)习题及答案第四章9页 , 数据结构(C语言版)习题及答案第九章7页 , 数据结构(C语言版)习题及答案第二章10页 , 数据结构(C语言版)第一二章习题答案9页 更多与“数据结构习题答案”相关的内容>> , 弹性力学及塑性力学习题及答案 河海 张国荣18页 , 弹塑性力学习题题库及答案24页 , 材料力学第四版 II课后习题答案——配套孙训方(II-第2章 考虑 材料塑性的极限分析)5页 , 弹塑性力学习题题库加答案24页 , 弹塑性力学习题题库加答案24页 更多与“塑性力学习题答案”相关的内容>> , 苏教版二年级下册补充习题识字7答案2页 , 三下补充习题答案13页 , 苏教版五年级下册语文《补充习题》答案7页 , 第三章_向量与线性方程组补充习题答案8页 , 第二章 矩阵补充习题(含答案)6页 更多与“补充习题答案”相关的内容>> , 光学信息技术原理及应用课后重点习题答案28页 , 物理光学与应用光学第二版课件及课后习题答案61页 , 应用光学习题及答案6页 , 物理光学与应用光学第二版课件及课后习题答案2页 , 光学信息技术原理及应用课后重点习题答案28页 更多与“应用光学习题答案”相关的内容>> , 结构化学基础习题答案_周公度_第4版161页 , 结构化学基础习题答案_周公度_第4版161页 , 化学工程基础习题答案(武汉大学__第二版)30页 , 界面化学基础习题参考答案22页 , 基础生物化学习题有答案8页 更多与“基础化学习题答案”相关的内容>> 微电子习题答案(第3单元)的相关文档搜索 , 微电子器件习题答案 , 有限单元法习题答案 , 单元音练习题及答案 , 微电子概论习题 , 微电子器件习题 , 微电子器件可靠性习题 , 物理3 2课后习题答案 , 数学必修2习题3.3答案 微电子习题答案(第3单元)相关文档 , 微电子习题答案(第1单元) 1/2 同系列文档 朝鲜历届领导人资料 朝鲜现状 为什么南北朝鲜会分裂 朝鲜的近代史 微电子习题答案(第2单元) 微电子习题答案(第3单 1/2 相关文档推荐... 元) , 微电子习题答案(第2单元) 1/2 同系列文档 朝鲜历届领导人资料 朝鲜现状 为什么南北朝鲜会分裂 朝鲜的近代史 微电子习题答案(第1单元) 微电子习题答案(第3单 1/2 相关文档推荐... 元) , 微电子学概论复习题及答案(详细版) 学一二三章复 暂无评价 2页 2下载券 数据库系统概论第四微电子习题 版期......由此可形成用户自己的单元库; 单元库:一组单元电路的集合; 经过优化设计、并... , 第3单元 习题答案 第3单元 习题答案_理学_高等教育_教育专区。《第 3 单元 供热与燃 气设备设施及智能化管理》习题答案一、填空题 1.供暖系统按使用热媒 不同,主要有 热水供暖 2.... , 《微电子器件与IC设计》第三章习题解答 《微电子器件与IC设计》第三章习题及习题解答《微电子器件与IC设 计》第三章习题及习题解答隐藏>> 分享到: X 分享到: 使用一键分享, 轻松赚取财富值, 了解详情... , 《微电子器件》第三版习题讲解 《微电子器件》第三版习题讲...部分习题解答部分物理常数: 部分物理 常数: q = 1.6 × 10 ?19 C, E G (... , 集成电路习题答案(第3单元) 第三单元 习题 1. 比较 APCVD、LPCVD 和 PECVD 三种方法的主要异同? 主要优...电子、光子以及原子、原子团、分子和它们的激发 态所组成 的,被称为等离子体。 ... , 微电子学概论复习题及答案(详细版) 学概论复及详细版)_教育学_高等教育...3. 集成电路微电子习题答案( 设计流程,三个设计步骤 ? 系统功能设计...标准单元: (设计流程) 一 种库单元设计方法,属基于... , 微电子学概论复习题及答案(详细版)_图文 微电子学概论复习题及答案(详细版)_工学_高等教育...第三章 大规模 集成电路基础 芯片(Chip, Die) :没...模拟单元库 逻辑和电路设计的 输出:网表(元件及其... , 第3章习题 免费 第3章习题与解答 暂无评价 3页 免费喜欢此文档的还喜欢 第2 章习题 11页 2下载券 第5章习题 10页 免费 第6章习题 11页 2下 器件与IC设计... 载券 微电子 最新文档 , 第一次潜水 , 案例分析:SMT错件因果图 , 2010年二级建造师考试《建筑工程》考试专家指导及题型解析(1-10)题 word下载答案 , 新型石膏防水剂的研制 , 如何正确开展顾客满意度调查[1] , 机械术语 , 石材图例 , 经典影视片解读期末测试试题(参考)答案 , 可爱的幼儿卡通涂画WORD直接打印 , word绘制流程图图解PPT , 大工14秋《工程抗震》大作业答案 , 山东轻工业学院:制浆造纸工艺学(教学大纲) , 幼儿学习汉字基本笔画田字格练习写字答案 , 个人博客系统项目毕业设计论文 , 走向生活成功的金钥匙——自信PPT , 毒性化学物质运作纪录表 , 麻黄的提取分离与鉴定 , PPT模板构图简易教程 , 因他活着PPT , 初中英语过去进行时专项语法讲解1 , 最新电视采编工作人员辞职报告 , 《识字六》课件 上课用PPT , 投资合作书范本(201401251759) , SMT测温板制作方法与实验PPT , 大学,青春,理想 ?2012 无忧文档,www.51wendang.com | 站点地图 手机版 本站资源均为网友上传分享，本站仅负责收集和整理，有任何疑问请联系我们