【2017年整理】单晶炉拆装炉具体操作步骤

【2017年整理】单晶炉拆装炉具体操作步骤 各环节操作要求 一、开炉 拆炉前要先关闭氩气开度，关闭氩气开关V3，将炉内抽到极限压力。查看单晶位臵，将单晶升到副室内。取开炉用品,石墨件车，单晶车，石棉手套，坩埚盆等,。炉内真空达到极限后,正常应该抽到5Pa以下,，进行热检，关闭主泵开度归零后关闭主泵电源。等炉压稳定后进行检漏，压差为3min，1pa。即为合格，进行开炉。打开V1氩气，将炉内充到常压。当炉内达到常压后，关闭翻板阀，将副室升起，打开单晶托盘，缓慢将副室旋至炉旁，将单晶扶稳，挪开托盘，将单晶降到单晶车上后打开翻板阀。 ※注意事项,“降单晶时注意要保持单晶平稳，防止单晶在未降到底部时卡到单晶车的横称上。当单晶降稳后，一人扶住单晶，一人剪断籽晶，同时用力攥住重锤上方钢丝绳，缓慢释放扭力，防止钢丝绳散花打结出现硬弯。将单晶车放稳，将籽晶降下，检查籽晶、石墨夹头、白钢重锤连接件和钢丝绳变色情况。检查完毕后，将籽晶升回副室。升起炉盖，取出石墨件。取炉内石墨件时注意佩戴好劳工工具，避免造成烫伤。石墨件必须轻拿轻放，石墨件车上必须放臵好洁净的隔热布。将石墨件取出后，连同单晶、锅底料一同放到库房内，进行冷却。 二、淸炉 打开主泵开度，,主泵关闭状态下,，将过滤罐内充到常压。取料车，进行备料及取坩埚，取料后将工艺卡和原料进行仔细核对确认无 误后拿进拉晶室。料锅备完后，放到炉旁，下楼进行清罐。清罐时注意看清炉号，将过滤芯夹缝中的氧化物清理干净，如有缝隙较小难以清理的必须用工具将缝隙内氧化物全部挂下并清理干净，将过滤罐的胶圈清理干净，检查放气阀是否拧紧，检查好过滤罐各个胶圈，然后扣盖。 清理炉盖及副室。炉盖内要将隔热玻璃取下进行清理，用擦炉纸蘸酒精，将炉盖及方箱内各处擦拭干净，并将杂物取出。检查炉盖胶圈及翻板阀胶圈是否完好，并进行清理。清理副室时用干净的擦炉纸蘸酒精绑到擦拭工具上进行清理。在清理过程中注意避免碰撞籽晶。 然后清理防爆阀、热场及石墨件。清理防爆阀时注意避免胶圈掉落炉下，用吸尘器将防爆阀内氧化物清理干净，并用擦炉纸擦拭干净，将胶圈放臵好。 清理热场及石墨件。清理热场首先检查加热器螺丝是否断裂，加热器是否平稳，抽气口是否堵塞，连杆是否平稳，连杆波纹管内是否有杂物。然后用吸尘器对炉内进行清理，清除掉加热器附着的氧化物、炉内因开炉掉落的石英片及锅底料，及两侧管道内存留的大量氧化物。清理石墨件时，首先查看埚帮是否有断裂，老化程度是否严重，,如有问题及时请班长或段长确认,，将石墨件清理干净后放回热场内准备装料。将导流罩内外清理干净，石英内罩用擦炉纸轻轻擦拭，切勿用力，避免擦炉纸在导流罩上残留。检查导流罩下沿有无粘料、及裂痕，要及时处理。清理干净后将导流罩放到干净的擦炉纸上，避免再次污染。 四、装料 装料前，先将所需用品备齐(一次性手套，口罩，帽子，白大褂等)，并进行更换。洁净用品佩戴齐全后取出坩埚进行检查，确认没有问题后放入炉内，轻拿轻放，避免磕碰。将原料开口，再开袋时尽量一次剌开，避免反复剌袋造成碎袋掉入原料中。 开始装料。装料时，注意大小块的搭配，小料不能放到石英坩埚R角以下的部位，那样拉出的单晶容易产生针孔。装料期间注意洁净度，一次性手套脏了，漏了就要及时更换，避免将料掉到热场内及地上，不要磕碰坩埚。料装到最后时，如需要码边时，一定注意码边的原料要2/3在坩埚内，才能保证安全。装完料后，将锅转打为5转，同时降锅，同时清理热场上的料沫。将坩埚降到平口位臵,石墨锅帮与加热器一平,清理加热器上的料沫。清理干净后将锅位降到最低，清理盖板A、B，检查是否有断裂。确认无误后放入热场。导流罩放入热场内，放入大环，清理炉盖胶圈，准备扣盖。如导流罩内需要放料，应注意不要将大块料留到罩内，避免化料时砸到坩埚，在码放罩子料时应注意面积的大小，不能超过罩子下沿的最大直径，避免化料时照成搭桥。料及石墨件放好后，将炉盖、副室的胶圈检查好，清理干净后，扣盖抽空。 五、抽空 扣盖后打开主泵电源，开主泵电源时，首先要确认炉下主泵电机上的电源空开是否推合，然后确认主泵开度是否已经归零，检查炉后防爆阀是否扣严。都检查确认后，点动开启主泵电源,点动2、3次,， 确认主泵已经打开后，将主泵球阀开度打开为30%，待真空压力表抽到底后将开度打开到50%，当炉压显示值开始下降后将再将开度完全打开。然后清理装料后留下的垃圾，及周围卫生。将料袋做好分类进行处理,大料袋回收,，将料车上的料沫进行有效的回收，并放到指定的回收料处。将石墨件车、料车处理干净后，放到指定的地点。卫生处理后，填写装料记录。记录填写后将单晶、锅底料进行称重，并做好记录。做记录时，要认真仔细，注意字迹清楚准确。如有特殊原料需要在记录本上标记清楚，并与工艺卡进行仔细核对。 六、检漏 查看炉子抽空状态。当真空抽到极限时,5pa以下不再跳动,关闭主泵开度，待显示压力值不在跳动后进行检漏,3min，1pa,即可升温。如未抽到极限，要查看原因，可反复充氩气，进行冲赶。如还抽不下去，要打开炉子，确认各个胶圈是否擦拭干净，主泵是否正常，泵油是否缺少，全部检查完毕后再进行抽空，如还不见好，要及时报告班长或联系维修进行处理，避免延误生产时间。待抽空检漏合格后，准备进行升温。 七、化料 升温时，首先要打开主泵开度,检漏时，开度是关闭的，可以直接打到100%,，打开V2氩气开关电源，打开氩气开度，将炉压调整到1200pa左右。打开加热电源，将功率调整到45kw，打开参数设定里的各项报警。低温化料30分钟，然后将功率调整到95KW进行化料，大约需要5个小时。化料期间要经常查看炉压及热功率的变化，及时 调整，及时处理。当料塌下去的时候要及时升锅位，并给锅转2转，使坩埚及原来均匀受热。 八、稳定化 当料全部融化后，进行记录，查看温度界面内SV的数值，并记录为实际温度。同时查看上炉的引颈温度，并根据实际情况进行锁温，找温度。并将锅转打为10转，适当将锅位进行提升，当稳定30分钟后，将锅位提升到引晶的位臵,用石英尖角确认埚位,并将氩气调整到1200pa进行稳定并将籽晶降到导流罩中部，半小时后将籽晶降到液面上方进行烤晶。 九、引晶 当稳定1.5-2小时后，将籽晶降到液面内，进行试温。当籽晶降到液面内后，如果放片长大，说明温度低，要进行升温，如果与液面接触后，籽晶变细熔断，说明温度高，要及时降温。只要当籽晶与液面接触后，即不长大，也不变细熔断，很清晰的看到4个棱线鼓包，说明此时的温度很适合引颈，可以将籽晶降到液面内进行吃透熔接。吃透熔接时，不要将籽晶融的过短，要将锅转给为2转，观察光圈的变化，当光圈变圆变亮后，说明已经吃透熔接完成，快速将锅转打回10转。等待温度平稳后，打开晶升电源准备进行引颈。当看到籽晶与液面有4个棱线包明显长大时，缓慢提升拉速，进行引颈。将拉速控制到4~5/1min。拉速上下浮动不要过大。一般引颈的长度要控制在200mm左右，但如果引颈粗的长度较长，就要适当的加长点引颈的长度。自动引颈时要注意观察CCD的取值图像是否清晰准确，如 有问题及时进行调整。 十、放大 引颈结束后，将拉速调整到0.5~0.7之间，温效速率调整到-13~-16之间进行放肩。在放肩期间要及时注意放肩的形状及生长的快慢，通过调整拉速及温效进行调节。 十一、转肩 当放肩达到我们要求的直径范围内后，开始通过提升拉速锅升温效来进行转肩。转肩时要注意单晶生长的快慢，来掌控其大小的生长，从而达到我们制定的目标直径。 十二、等径 转肩下来后，不要着急投入自动，应手控一段时间后，当实际拉速与设定拉速相对一致，比较平稳后再投入到自动等径中。投自动等径时要先确认等径工艺，及各项参数是否正确，各项报警是否打开，当全部确认后，计算好起始长度，及要收尾的长度，然后将等径投入到自动状态。等径期间更要注意锅缝的大小变化，单晶生长的状态，快慢，及断包等各种现象。必要的时候要退出自动，进行手控。当拉制到我们所要求的长度后，就要准备进行收尾。 十三、收尾 收尾时要注意拉速和温效的变化。因为跳转到收尾状态后，由于工艺的设定，会自动关闭锅跟，这就相当于提升拉速，如果不及时降低拉速，进行调整，很容易进行收提。照成断苞影响产量。收尾一般的拉速控制在0.5~0.6之间，太高容易收提，太低容易收不下去，照成 无料收提。再有，收尾时更要注意结晶，因为快到收尾期间，炉内料较少，所需要的温度相对要高，如果温度补给的不及时就很容易出现结晶现象，将单晶粘连，发生 事故。收尾一般长度在170~200左右便可收完，保证单晶完整无位错。 十四、停炉 收尾结束后，退出自动，将晶转锅转降为3:0,后，将单晶与液面脱离开，提升单晶进入导流罩内，并同时降锅位。单晶脱离后，将加热功率归零，关闭加热开关，适量将氩气开大，并给8的拉速缓慢提升单晶2小时。 十五、退火 以8的拉速提升两个小时后，关闭直到6小时后开炉。