惠州奥普康电子枪维护手册

OPCOOPCOOPCOOPCO OEBGOEBGOEBGOEBG----103A103A103A103A 型电子枪型电子枪型电子枪型电子枪 使用维护手册使用维护手册使用维护手册使用维护手册 惠州奥普康真空科技有限公司惠州奥普康真空科技有限公司惠州奥普康真空科技有限公司惠州奥普康真空科技有限公司 2005200520052005 年第年第年第年第 1111 版版版版 1 目 录 1. 电子枪概述和指标 1-1 电子枪概述 1-2 电子枪指标 2. 安全 2-1 高压 2-2 X 射线辐射 2-3 枪头在维护保养中的安全问题 3. 电子枪安装 3-1 附件检查 3-2 电子枪安装 4. 功能操作 4-1 操作准备和灯丝退火过程说明 4-2 电子枪操作 5. 电子枪维护保养 5-1 电子枪清洁注意事项 5-2 发射部分套件安装 5-3 灯丝安装过程 5-4 分流板的调换 5-5 灯丝两端的连接 6. 问题解答 2 第一章 电子枪概述和指标 1- 1电子枪概述 OEBG-103A 型电子枪是不带坩埚的 270°电子束蒸发偏转枪。电子束垂直打到坩 埚上的蒸发，把材料蒸发。加上电子束扫描，材料能均匀蒸发，这样就能得到厚 度均匀的镀膜。 1-1 OEBG-103A 型枪外形图 这章描述了 OEBG-103A型枪的特征及视图剖析。 ① 最大的 10KV 的加速电压，把从灯丝出来的电子束加速，再通过永磁场偏转 270°，垂直打到蒸发材料上，把蒸发材料以圆心为中心均匀加热。电子束由 X, Y扫描线圈进行高速扫描．因此，电子束能把坩埚中的材料均匀加热。这 样可得到均匀的镀膜，因而得到良好的特征曲线． ② 电子束最大功率为 10KW，因此能很容易地把各种材料蒸发，例如：氧化物， 金属升华材料。 ③ 电子束是 270°偏转，灯丝为内藏式，灯丝不易污染镀膜，也不易被污染，故 电子束电流非常稳定。 ④ 枪头主体由耐高温、导热性好的纯铜构成。冷却水对永磁体的冷却效果非常 好，磁场强度稳定。因此电子束能长时稳定地轰击蒸发材料。 ⑤ OEBG-103A电子枪由枪头、扫描线圈、枪体和永磁体组成，维护保养方便 ⑥ 枪头只要旋掉几个螺丝就很容易往上拿出来。这在枪头维护保养时，把它能 从有限的空间里拿出来是非常方便的． ⑦ 灯丝引脚安装在压块的凹槽内．灯丝的最后位置由灯丝定位块确定。下部的 灯丝定位块能很容易地使灯丝上下调整。 ⑧ 灯丝采用螺旋型。螺旋型灯丝能把灯丝的自身离子喷溅影响减小到最少。 ⑨ 当加速电压变化时，电子束及光斑形状位置亦变化。应及时适当改变磁场强度， 增加导磁板厚度能减小磁场强度，减小导磁板厚度能增大磁场强度。导磁板用 3 纯铁制成，吸力不是很强，拆装方便。 注注注注 意意意意 没配电源的 OEBG-103A型枪头是没有蒸发功能的，配制适合 型号的电源后方可使用。 1-2电子枪指标 OEBG-103A电子枪指标显示如下： ·加速电压： -4 ~-10KV ·最大电流： 1A（此时的加速电压是-l0KV) ·最大加速功率： 10KW ·电子束偏转角： 270° ·电子束位置调节宽度： ±20mm ·电子束扫描宽度： ±20mm ·电子束扫描频率： X=50Hz, Y=500Hz ·工作真空度： 在 6X10-2Pa以下 ·冷却水速率： 最低 10 L／分（水温在 15℃~2 5°C ) ·体积： W148 *H120 *D162 ·重量： 约 9Kg 第二章 安 全 最大为-10KV的高压加到电子枪枪头用来加速电子．在进行维护工作时，如果你 触到高压区域，如电源的连接头、枪头主体．那将是很危险的，因为高压电还没有完 全放完． 为了你的安全，在安装、操作和维护这个系统前，一定要阅读理解这本手册．由 于不认真阅读相关警告和注意事项而引起的事故，我公司概不承担责任。 下述内容是在使用过程中所遇到的警告和注意事项的全部说明，请按要求使用 <危险等级危险等级危险等级危险等级> <符号符号符号符号> <含意含意含意含意>或或或或<如何避免危险如何避免危险如何避免危险如何避免危险> 伤害提醒用关键字：Danger. Warning和 Caution, [DANGER] 马上将发生的伤害，将导致损伤或死亡。 [WARNING] 有伤害，将导致损伤或死亡。 [CAUTION] 有伤害，将导致较小的人身伤害。 4 2-1高压 危危危危 险险险险 在电子枪枪头和连接线头上有潜在的致命电压、电流。 在进行维修和清理枪头前，必须关掉电源总开关，待电容放电完成后，方可进行 作业。 2-2 X射线辐射 危危危危 险险险险 当电子束辐射到蒸发材料上时，在辐射区域会产生 X 射线在 观察窗前应用一块铅玻璃挡板。不要长时间地直接观察加热过程。 当电子束辐射到蒸发材料上时会产生弱 X射线，这种 X射线将损伤眼睛．大多 数 X 射线被真空室内壁吸收，但有部份很容易通过普通玻璃做的观察窗辐射出 来。通过用 X射线辐射计测量，校对辐射值必须低于容许值。 2-3枪头在维护保养中的安全问题 警 告 灯丝固定螺丝的调整和定期清洗枪头等维护，对延长枪 头的使用寿命是很重要的。 由于频繁的加热、冷却，灯丝固定螺丝有时会松掉、失效．灯丝固定螺钉应即 时进行调整。必要时更换灯丝螺钉。沉积在枪头，真空室和挡板面的蒸发材 料易脱落，这些材料会对镀膜产生污染，会使绝缘材料的绝缘性能变差，使电 子束的加速电压变得不稳定，所以应定期清洗枪头、真空室和挡板。 警 告 接触热的表面会使皮肤烫伤 电子束轰击坩埚中的材料，并把它熔化蒸发。枪头是加热源，坩埚四周温度会变 得很高，在进行维护时应避免接触这些区域。 在这本手册里，遇下列符号图时，需谨慎操作 5 第三章 电子枪安装 这章讲述电子枪的易损耗附件和安装过程。 3-1附件检查 当收到电子枪时，检查下列易损耗附件的数量和完好情况。 表 3-1易损件列表 零件名 数量 说明 1.高压电极 2件 1.偏转线圈连接头 1件 2.灯丝 5只 发射安装 3.灯丝安装的螺钉（M4*10机械螺 钉） 2只 灯丝固定 4.发射体安装固定用（M4*25机械 螺钉） 2只 发射体安装固定 5.绝缘块 1块 发射体绝缘用 6 6.绝缘柱 4个 支撑发射体用 6.螺母 2套 冷却水进口 7. φ8X2密封圈 7只 9.分流铁条 1t*34.5*130 2t*34.5*130 3t*34.5*130 4t*34.5*130 每种 一片 放在永磁体之前 3-2电子枪安装 安装过程 ① 在安装电子枪之前，首先要检查确认用磁铁的极性，面向电子枪左边为 S 极、右边为 N极。如果不正确，要及时调整过来；然后把枪头放在真空室 无磁性材料做的平板上，按下图尺寸安装，并用M6螺钉把枪头主体固定。 7 3-1 电子枪外形及其与坩埚相对位置 ② 当安装两个或两个以上枪头时，相互间应保持较大距离，以免相互影响。 警警警警 告告告告 如果在枪头周围有强磁场材料或磁性部件，电子束斑形状和 位置会发生变化。 由于这个原因，电子束不能均匀辐射到上面，膜厚的均匀 性就达不到设定要求。故在枪头附近不要有任何强磁材料，如 确实需要，则必须放在离枪头较远的地方，使磁场影响可忽略 不计。 ③ 高压电极及引线安装：注意一定要用两只夹持工具（如扳手），单个力矩容 易使陶瓷破碎。 ④ 连到真空室有两根高压进线头和一个偏转插头，这些插头应装在真空室下 面，以防电击。 ⑤ 用三根Φ2 带压接焊片的铜线或铜片把这些接头和枪头的灯丝接线端连起 来，这些引线使用在高压环境，相互之间应保持 15mm 距离．用高压电缆 把 EB电源和反馈线连接起来，高压电缆及反馈线连接头应有安全保护。 注注注注 意意意意 当用单根导线把高压和枪头供电端连接时，两根线的端点必 须焊接；最好用铜排。 ⑥ 把偏转线圈电缆接到输入接头上，再把从电源来的偏转电缆接到下边航空 插头上。 8 ⑦ 灯丝电流接头和高压接头因为拉弧或溅射会损坏，所以端口需用不锈钢螺 钉安装，还应有大于 15mm的安全间隔。 ⑧ 连接导管，冷却水进口和出口用螺母固定，然后在冷却水管道内装阀门和 水流开关。 第四章 功能操作 这章讲的是 EB 枪头安装好以后的操作过程可参考 EB 电源操作手册上的有关开 关的名称和功能 4-1操作准备和灯丝退火过程 为安全起见观察和检查枪头是否安装正确完好。 ① 检查一下发射体单元的装配，绝缘板和螺钉位置安装是否正确，螺丝是否紧固， 再检查一下安全保护安装是否正确。 4-1发射体 ② 检查蒸发材料是否放入坩埚，坩埚转动是否灵活，再检查蒸发挡板是否关闭，开 启真空系统进行抽真空。 ③ 然后确定真空度是否在 6X10-2Pa以下。 ④ 打开电源总开关和钥匙开关，检查每个控制箱上的内锁灯和手柄盒上的 OFF 是 否已关，再检查一下保护灯（OL, ACC）是否已复位．当上述条件满足且真空度 在 6X10-2Pa以下时，电子枪可打开． ⑤ 当按下手柄盒上的 ACC开关后，高压加到枪头上．把（METER MODE)开关打 到 ACC 位置，高压值就显示在数字表头上．当高压加上时检查一下是否拉弧放 注注注注 意意意意 压力开关和流量开关串联连接，这根线应接到 EB 电源的 interlock插座上的“WATER”上。 9 电。如无，则按一下 FI L开关。慢慢旋转手柄盒上 EMISSION CUR ADJ旋钮的 内圈，得到 1~2mA的束电流。 观察和检查一下电子束是否打在坩埚中心。 打开 FI L开关前，EMISSION CUR ADJ旋钮的内外圈应向左方旋转到底〔最小 值）。内圈束流调节范围为。0~100mA，外圈束流调节为 0~1A. X-scan、Y -scan 应右旋到底，因为开始时电子束扫描面积大，相对的辐射强度就弱一些． 注注注注 意意意意 先按 ACC开关，后按 FIL开关，如果发生拉弧放电现象则 应检查真空度是否达标。达标后在按 ACC开关，如拉弧放电现 象还未停止，则应清洗枪头。 ⑥ 检查辐射到坩埚上的电子束，辐射区域熔化且变亮，查看一下电子束的位置和扫 描状态 ⑦ 电子束靠永磁场偏转 270°。当加速电压变化时，束流辐射位置也会变化。因此当 高压变化时，适当调整分流板的厚度以改变磁场的强度。 4-2枪头操作 枪头按装好以后，检查系统连接和电子束发射条件的设置。 4-3枪头控制箱和手柄盒 操作过程 小小小小 心心心心 开始蒸发时，当慢慢把 EMISSION CUR ADJ旋钮往右转时， 应调节电子束位置和形状，小心地保持电子束在坩埚里面。 ① 开启真空蒸发系统前，应检查真空度，基板温度和转动是否正常。 ② 检查蒸发系统操作是否正常，档板是否闭合，然后开启电源总开关和电源开关。 ③ 检查 INTER LOCK READY灯是否亮，这表明各内锁功能和报警功能正常。如 果手柄盒上的 OFF灯亮着，枪头可以开启。 ④ 按下手柄盒上的 FIL 开关，如果是新灯丝，必须在发射电子束之前加热灯丝， 放出其内部气体并进行灯丝退火，大约五分钟，然后关闭 FIL 开关。具体操作 如下：首先把 EXT/INT开关打在 INT位置，在 ACC不在 ON位时打开 FIL到 ON位，用 3分钟时间将 EMI从 0调至最大，保持 5分钟，后用 1分钟将 EMI 从最大调到 0，最后关 FIL到 OFF。 注注注注 意意意意 急剧地调节 EMI会使灯丝变形 10 ⑤ 灯丝退火以后，开启手柄盒上的 ACC开关，在 ACC,VOLT表上显示高压值。 ⑥ 开启手柄盒上的 FIL 开关，灯丝开始加热，但电子束还没有发生，慢慢转动 EMISSN CUR ADJ旋钮，束流慢慢增加，电子束开始幅射，检查一下扫描位置 和幅度是否适当，如有必要适当调整。 注注注注 意意意意 当枪头和电源发生故障时，保护灯会亮（OL，ACC）高压 加不上去。检查一下故障原因并消除，再开 FIL开关。 ⑦ 慢慢往右旋转 EMISSION CUR ACC旋钮使镀膜材料放气，一边看一下真空度 当束电流达到希望值时，检查有没有拉弧，真空度是否稳定，然后打开档板开 始镀膜。 注注注注 意意意意 镀膜完成后，灯丝温度很高，不要马上把空气放进去，以 防灯丝氧化，应等到灯丝完全冷却后，再把空气放进真空室。 ⑧ 镀膜结束后，把 EMISSION CUR ADJ的内圈和外圈都左旋到底。 注注注注 意意意意 正常时METER MODE 切换开关放在 ACC VOLT位置，当 需要时，可以把开关打到 X-POS，Y-POS，X-SCAN，Y-SCAN 位置，但注意这些数值的单位是不同的。 第五章 电子枪的维护保养 灯丝是易耗零件，要定期更换。因为灯丝周期性加热，发射体固定螺丝易松动， 为安全起见，要定期把它复紧。 小小小小 心心心心 因为周期性加热，发射体螺钉和枪头接线很容易松动。如 果这些螺钉松动，连接口因为高温会起火。为安全起见，应定 期将这些螺钉复紧。 枪头要定期进行表面清洁和易耗零件的更换，以保证枪头的特性稳定． 11 由于喷溅现象，灯丝和绝缘板会被污染。蒸发材料会沉淀在坩埚附近的枪头表面， 沉淀物使枪头性能变差，表层脱落还会导致离子污染。故应该及时清洗枪头，并用机 械或化学的去掉沉淀物。 5-1电子枪清洗注意事项 1）在下述作业时务必断开电子枪电源 危危危危 险险险险 在电子枪枪头和连接线头上有潜在的致命电压、电流。 a) 在更换灯丝和清扫等触碰电子枪时，务必断开电子枪电源。 b) 在同一真空室装有多个电子枪时，务必断开所有电子枪电源。 2）使用金属刷时的注意事项 a) 使用非磁性的金属刷（如铜刷等）。 b) 在使用金属刷后必须把吸附在磁铁上的丝屑等杂物清除干净。 3）使用喷砂清洗时的注意事项 a) 请勿对扫描线圈进行喷砂。 b) 请勿对密封圈的密封面进行喷砂。 c) 请勿对固定灯丝的 V形槽进行喷砂。 d) 请勿对陶瓷件进行喷砂。 4）使用 240细砂纸打磨，打磨后要用无水酒精擦拭干净。 5）螺丝全部使用非磁性材料螺丝，部分螺丝是经过特殊加工的螺丝，请勿用普通螺 丝替换。 小小小小 心心心心 所有螺钉采用无磁不锈钢。螺纹容易咬死，要定期进行重 新攻丝。 6） 注注注注 意意意意 螺钉紧固勿过紧，否则绝缘板容易破碎。 小小小小 心心心心 灯丝和它周围零件。当灯丝在高温状态易氧化，坩埚附近 的枪头很容易沉积镀膜材料，会使枪头绝缘性变差，要定期对 枪头进行清洗。 12 小小小小 心心心心 发射体的零件是高精度的，如果有污垢夹杂在零件中间， 枪头的几何尺寸精度会受到影响，这会影响到电子束的特性。 注意：枪头重装时不应该有任何沉积物。 小小小小 心心心心 安装永磁体时，应注意磁场的极性，面向枪头，左为 S 极 右为 N 极。当磁体装反时电子束辐射到坩埚的相反区域，使辐 射区域损坏。永磁体是易碎品，请小心处理。 小小小小 心心心心 轻微污染，用酒精浸过的麻布片清洗枪头。如果污染严重， 则要用机械和化学方法清洗。 5-2发射部分套件安装： ① 用M4螺钉把绝缘板、灯丝架固定。然后把灯丝装好后用灯丝固定块固定。 ② 用M3 *5螺钉安装WHENELT极，此极可改变电子束的形状。 安装WHENELT电极不能碰到灯丝单元，在右端四周要有 0.5mm间隙。 ③ 用M3*5螺钉安装钼片 安装时要使钼片两端平行，有 1.5mm间隙。 ④ 用M4 *15螺钉安装绝缘板上的阳极。 ⑤ 把柱形绝缘棒放在高压接线架的圆槽内，用M4*8螺钉固定 ⑥ 把柱形绝缘体放在枪头底座的圆洞内，用M4*8螺钉固定。 ⑦ 最后，把高压接线架与发射体单元用螺钉固定。 5-3灯丝安装过程 注注注注 意意意意 如果灯丝安装不正确，灯丝变形，就得不到所需要的电子 束。 13 ① 把灯丝的二个引脚放到灯丝安装块的槽上，灯丝的 A面必须向前。 ② 首先，用灯丝固定块暂时固定灯丝左边。 ③ 用灯丝定位块推灯丝左端，检查灯丝安装位置，并用螺钉旋紧。 ④ 检查灯左端末尾是否对着灯丝定位块，然后用螺钉旋紧，用同样方法装灯 丝右端。 5-4调换分流板调换分流板调换分流板调换分流板 当加速电压变化时，分流板用来调节磁场的强弱，以改变电子束的位置。 注注注注 意意意意 如分流板厚度与加速电压不匹配，垂直辐射，扫描也不理 想。 分流板安装 分流板由纯铁做，内部磁场可轻易地通过分流板． 握住一端慢慢拉，就能把分流板取下。 注注注注 意意意意 如果分流板厚度选择不当，电子束形状会变形，镀膜均匀 会下降。 注注注注 意意意意 安装几个分流板时，应先装最厚的，然后再依次安装。 14 5-5灯丝引线的连接灯丝引线的连接灯丝引线的连接灯丝引线的连接。。。。 灯丝引线应保证足够的距离，并且引线及高压电极要用保护罩罩住。 注注注注 意意意意 灯丝引线加有高压，如相互接触将是很危险的。灯丝引线 间相互应保持适当距离。 5-6对新装的电子枪或维护后的电子枪的高压对新装的电子枪或维护后的电子枪的高压对新装的电子枪或维护后的电子枪的高压对新装的电子枪或维护后的电子枪的高压、、、、扫描的检测扫描的检测扫描的检测扫描的检测。。。。 注注注注 意意意意 操作者务必在为电子枪供电前对新装的电子枪或维护后的 电子枪的高压、扫描进行检测确认。 1）高压电阻检测：用万用表电阻档，把 1只表笔接真空室地，另 1只表笔接 高压线，阻值应为无穷大。 2）扫描电阻检测：把扫描线从真空室内插座脱开，用万用表电阻档检测 ① 把 1只表笔接真空室地，另 1只表笔分别接扫描线的 4个引脚，阻值应 该均为无穷大。 ② 用 2只表笔分别接扫描线的 4个引脚，阻值如下表 1和 2 0.5～1.5Ω 3和 4 0.5～1.5Ω 1和 3 无穷大 1和 4 无穷大 2和 3 无穷大 2和 4 无穷大 15 第六章 问题解答指南 解决 OEBG-103A电子枪的问题参考下表 故障处理指南 故障现象 可能现象 解决办法 A．灯丝断。 a．更换灯丝 a．检查灯丝安装块或引线是否 松动． b．检查灯丝安装块和高压连接 口是否污染，如有必要清洗 一下。 c．检查灯丝引脚是否断，如果 断把它换掉。 d．检查高压连接端+是否紧固， 如有必要复紧螺钉。 B．灯丝引线松或断 e．检查高压引线是否短路． C．发射单元装配粗糙。 a．根据手册上的相关过程，重装发射单元。 1．灯丝不亮 D．灯丝保护电路保险 丝断。 a．更换保险丝． a．检查灯丝固定块是否污染。 b．检查阳极和WH极的间隔， 确实是这个原因，则调节间 距和清洗。 A．在真空室里有否发 生拉弧。 c．检查绝缘块和绝缘柱是否污 染，如有必要则清洗一下。 B．确认磁铁极性是否 装反 a. 反时就调正 2．灯丝亮但无 束流。 C．镀膜材料沉积在高 压线上。 a．如有必要，清洗高压线。 A．粒子嵌在 WH 电极 和灯丝安装区域之 间或发生短路． a．清洗WH电极和灯丝四周。 3．加速电压不 稳定。 B．同 A. a．清洗灯丝安装区域。 A．相对于高压板分流 板厚度不匹配。 a．换一块合适的分流板 B．枪头周围存在磁场。 a．换成无磁性材料。 C．极片装得不适当。 a．如有必要，复紧极片固定螺丝。 4．电子束不能 聚成一点。 D．分流板装得不适当。 a. 检查分流板与永磁体是否接 16 触良好。 a．检查灯丝引脚是否清洗，如 有必要清洗一下。 b．检查阳极和WH电极的间隔 是否正确。 c.部分特制的固定螺丝被换掉 了，换回即可 5．电子束不稳 定 A．可能发生拉弧 d．检查绝缘板和绝缘柱是否清 洗，如有必要清洗一下。 6.WHENELT 发热 A．阳极和 WH 电极间 隔不正确。 a．根据手册安装阳极和WH电 极。 a．检查灯丝引线是否脏，如有 必要洗一下。 b.检查主板和WH电极的间隔。 A．可能真空室里产生拉弧现象。 c.检查绝缘板和绝缘柱是否清 洁，如有必要清洗一下 B．可能在高压接线端 沉淀了镀膜材料. a．如果脏，刷洗一下高压接线 端。 C．可能特制的固定螺 丝被换掉了 a.换回即可 7 ． 当 按 下 ACC 开 后 ACC 显示值 为 0. D．由于真空度不够高， 有放电现象。 a．检查真空度，是否漏气． A．加速电压偏高。 a．降低加速电压到适当值。 B镀膜材料变成粉末。 a．使用热压制作的圆柱材料。 C．束流太大。 a．降低束流减小蒸发． a．清洁坩埚． b．把镀膜材料除余气。 8.镀膜材料飞 溅。 D.坩埚太脏或镀膜材料 放气不够。 c．用高纯镀膜材料代替。 a．用小束流对镀膜材料进行除 余气处理。 A．镀膜材料余气太多 引起拉弧。 b．用余气指标较低的镀膜材料 代替。 a．检查沉积层，如有必要把它 刷掉。 9．当电子束功 率超过一定值 时经常发生拉 弧。 B．沉积物覆盖灯丝引 线。 b．换灯丝引线。 A．发射体装配尺寸错 误。 a．正确重装发射体。 10．镀膜速率 偏低，高压电 子束形状、真 空都正常。 B灯丝不合格。 a．替换灯丝。 11．镀膜速度 不稳定，但电 子 束 形 状 不 A．镀膜材氧化。 a．替换镀膜材料。 17 变。 A．发射体装配尺寸错 误。 a．正确重装发射体。 12．电子束形 状比较大 B．分流板厚度和加速 成电压不适配 a．用合适的分流板代替． a．检查有没有磁性物质放在枪 头周围。 b．检查产生磁场单元有否漏放 元件。 c．检查极靴装配是否对称。 13．电子束形 状变形。 A.磁场变乱。 d．检查分流板是否移动。 A．灯丝接触不良。 a．检查灯线固定块是否脏，如脏要清洁一下 b．检查灯丝二端是否正确地装 在槽内． c．检查灯线引线是否连接正确。 d．检查高压线是否连接正常。 B．发射体尺寸错误。 a．正确重装发射体。 C．真空度不够。 a．检查真空室漏气。 14．束流饱和。 D．加速电压不适当． a．用适当的分流板替代。 a．换 0型圈。 15.冷却水漏 A．接口密封区域有缺陷。 b．检查接口是否配合好，如有必要更换接口 本手册如有变动恕不另行通知 广东省惠州市博罗县石湾镇广东省惠州市博罗县石湾镇广东省惠州市博罗县石湾镇广东省惠州市博罗县石湾镇 http://www.opco.cn TEL:0752-6913170、、、、6913270 http://www.奥普康奥普康奥普康奥普康.com FAX：：：：0752-6913370 Email:opco@opco.cn