华通电脑制造一课无尘室管理办法 b1 ok

华通电脑制造一课无尘室 b1 ok 華通精密線路板(惠州)有限公司 ,辦法 ?規範 文件名稱,制造一課無塵室管理辦法 編號, 發 行 日 期 年 月 日 2I-0000014-A1 參考規章, 有 效 日 期 年 月 日 A1 B1 版 序 沿 2005.1.17 生 效 日 革 新 增 變 更 , 沿 用 廢 止 總 頁 數 11頁 項 次 頁 次 項 次 頁 次 1 2 一、背景 八、作業系統圖 內 1 2-7 二、理念政策 九、內容說明 容 1 7-11 三、目的 十、附件 摘 要 1 四、適用範圍 說 1 五、權責單位 明 1 六、相關文件 1 七、定義 單 位 簽 章 單 位 簽 章 單 位 簽 章 單 位 簽 章 會 分 A10 A10 審 發 單 單 J00 J00 位 位 (廠區/對應單位) (文件分送目的) CM/ CT/ 文件分送 1.請建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考. 3.其他, CC/ 1.請建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考. 3.其他, (不列入管制) ? 不必分送. (請說明) 制 定 單 位 制程工程部工程一課 制 定 日 期 2005年9月29日 核 製 作 初 審 複 審 經(副)理 廠長/協理 處長/副總 總經理 馬定安 准 傳 閱 制造一 課無塵室管理辦法--I-B1 背景沿革一覽 日期 版序 新增或修訂背景敘述 修訂者 2005/1/17 A1 無塵室之環境對曝光及線路品質影響較大,故需對其進行有效管控,馬定安 建立該規範,以便現場有作業依據。 2005/9/29 B1 因有效保持無塵室清潔度,新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套,使現馬定安 場能照著做,並有依可循. 此SOP原自于CM/CC 移轉, v此SOP為CF廠自行建立 II 修訂一覽表 日期 版序 章節段落 修訂內容敘述 II 制造一 課無塵室管理辦法--III-B1 2005/1/17 A1 ALL 新增 2005/9/29 B1 P3 3-1 新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套 制造一課無塵室管理辦法--1—B1 製造一課無塵室管理辦法 一、背景: 公司目前生產軟板等產品,必須建構更高等級的無塵室(10,000級),以提昇良率,增進 公司整體競爭力。 二、理念政策: 建構及管理能滿足客戶產品需求之無塵室。 三.、目的: 維持無塵室內人員、機台、產品、物料之清潔,以確保生產品質之穩定性。 四、適用範圍: 適用華通精密線路板(惠州)有限公司制造一課無塵室。 五、權責單位: 各無塵室生產單位負責本規定之執行及一階自我查核是否照著規定做. 六、相關文件: 無 七、定義: 1、FM: Foreign Material(外來異物)-指所有可能落在板面上,造成板子報廢的灰塵或異物,皆統 稱為FM。 2、無塵室等級之定義: 無塵室等級是依美國聯邦標準209C,以空氣中每立方英呎內所測得落塵顆粒,粒徑在 0.5,m以上之粒子總數來判斷(如下表)。例如10,000級無塵室其0.5,m以上之粒子總數 須少於10,000顆。 各種大小顆粒所允許的數目上限值 無塵室等級 0.1um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 5 um 1 35.0 7.5 3.0 1.0 2 10 350 75 30 10 100 750 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70 3.制造一課無塵室等級為10000級 八、作業系統流程圖: 無塵室 現場工程師召CFJ將相關規 各式問題 開四功能會議定納入SOP, 討論解決 予以標準化 九、內容說明: (一)、人員進出之管理 1-1、10,000級無塵室人員進出流程圖 穿無塵衣 脫鞋 鞋櫃(無塵室外) 無塵衣鞋櫃 2 制造一課無塵室管理辦法--3—B1 無塵室 穿無塵鞋套/無塵口罩/浴帽 腳踏黏墊 腳踏黏墊 空氣洗塵 ※備註:空氣洗塵時: 1. 吹氣維持15秒以上,吹完氣後須等至少3秒才能開門進入無塵室。 2. 一次最多只能2人進入,出無塵室亦同。 3. 嚴禁空氣浴室兩邊門同時打開。 1-2、人員管制,進入無塵室的人員須經過認證後,才准許進入,包括, A. 該單位之作業人員,技術員,工程師及主管。 B. 負責該單位之保全人員,工務,品管,製程工程師及技術員等。 C.隸屬於華通公司之其他人員。 D.維護設備之外包廠商。,廠商除須經過認證許可外,事先尚須徵求單位主管同意,。 E. 有緊急事故時,警衛及值班主管可進入。 (二)、物品進出之管理 2-1、物品進出相關規定, (1)、無塵室清潔用具於使用時才進無塵室(10K級無塵室空間不足者不在此限),無塵室 不可設置雜物堆置區。 (2)、紙箱包裝之物品須事先拆箱後,再將物品經傳遞箱傳送至無塵室內(除裝底片的紙 箱外其它紙箱不可進無塵室)。 (3)、鉛筆,橡皮擦,紙箱,保麗龍,一般紙類等易掉屑物品,禁止攜入無塵室。 (4)、無塵紙若有破損須立即更換,不可使用裁切後之無塵紙(會起毛邊)。 4 (5)、不掉屑毛筆可在無塵室內使用,但若有掉毛情況應立即更換。 (6)、搬遷設備進出無塵室前須先經工程師以上主管的同意,安排於非生產日搬遷,以 避免因開啟設備門造成潔淨度下降,影響作業品質。無塵室須設Buffer Zone(緩衝 區),先將設備於Buffer Zone清潔後靜置至少30分鐘再送入。 (7)、搬遷設備進出無塵室, 高架地板表面須先鋪設已清潔過之, 避免地板表面刮 傷,或以油壓板車等工具進行設備之移動及定位, 才不會造成地板被損傷。 (8)、更衣室內應有保全人員維修專用之工具箱,且其內的工具不可帶出無塵室。 (9)、任何物品於無塵室內時,應儘量避免有碰撞或敲打的情況發生,以免FM產生,污 染無塵室。 (10)、私人物品不可攜入。 (11)、其余非必要物品,避免帶入無塵室內。 2-2、物品進入無塵室前之清潔規定, 2-2-1、物品清潔順序, (1) 用吸塵器吸,用無塵室專用吸塵器,將物品的各部位吸干淨,一般運用於較大件物品, 例如,各項機台設備。小件物品不在此限。,真空吸塵器於使用前,須確認其吸塵效 果能達到所之清潔水準, (2) 用無塵紙沾酒精擦拭,將物品的各部位仔細擦拭干淨。 2-2-2、物品清潔規定, (1) 有塑膠外袋包裝的物品,例如,無塵佈,手套,…等,需將塑膠外袋清潔干淨,才可進 無塵室。 (2) 保全用工具需逐項用無塵紙沾酒精擦拭干淨後,才可帶進無塵室內。 4 制造一課無塵室管理辦法--5—B1 (3) 白紙墊紙,若發現其上有殘膠或污染,應即刻清除或報廢勿用,若嚴重刮傷則予以報 廢。 (4) 所有設備/儀器/製具/承載盤進無塵室前,需按清潔順序清潔乾淨。 (5) 進無塵室前的各項物品,若有以台車或其他載具運送者,應確認運送的台車與載具為 乾淨的,避免將FM帶進無塵室內。 (三)、無塵衣、鞋之管理 3-1、無塵衣之管理, 3-1-1、無塵衣之穿著及脫除流程: (A)、無塵衣穿著流程, 髮罩,無塵衣,無塵口罩,無塵鞋套,無塵手套,指套 (B)、無塵衣脫除流程, 無塵鞋套?無塵手套?無塵衣?髮罩,無塵口罩 3-1-2、無塵衣之穿著規定: (A) 、無塵衣物,包括無塵衣、無塵褲、無塵鞋套、口罩、髮罩、手套,不得穿出 無塵室外。 (B) 、頭髮不可露出帽外,可用髮罩管理。 (C) 、無塵衣之拉鏈須拉至定位,頸部之扣子須扣上。 (D) 、對於手軸、膝蓋部分,保全人員施工須要時,可穿袖套,護膝套,避免弄髒 無塵衣。 (E) 、無塵衣之袖子及褲管禁止拉高,裡面的衣服不可露出來。 6 3-1-3、無塵衣之清洗及更換: A. 清洗頻率: 每週一次。特別髒者則須先行更換。 B. 清洗方式: 由專人收集,統一送交外包廠商清洗。 C. 修補更換時機: 無塵衣有破損,起毛球,或手腕處鬆緊帶鬆脫者,予以修補或更 換。另外使用時間超過兩年使用期限,一律更換新無塵衣。 D. 作業後,無塵室內之作業人員,在每日下班前要檢查自己所穿的無塵衣,如果 發現有嚴重沾漆或無塵衣有脫線,起毛球, 或手腕處鬆緊帶鬆脫現象時,要立即 向領班反應,對無塵衣進行修補或更換。 3-1-4、無塵衣之保管及分配: A. 無塵室內作業人員,每人配發兩套無塵衣, 以便日常更換及清洗。 B. 無塵衣、鞋專用櫃內,除無塵衣鞋外,禁止放置其他物品。 3-2、無塵鞋套之管理 3-2-1、無塵鞋套之穿著: A. 穿著無塵鞋套,必須完全穿入,不得露出腳後跟。 3-2-2、無塵鞋套之清洗及更換: A.清洗頻率: 每二週一次。 B.更換時機: 無塵鞋套有破損,立即修補或換新無塵鞋套。 6 制造一課無塵室管理辦法--7—B1 3-2-3、無塵鞋套之保管及分配: 無塵室內作業人員,每人配發兩雙無塵鞋套, 以便日常更換及清洗。 3-3、無塵手套之管理 A. 使用不起毛球無塵手套,不可使用易掉纖維、起毛球之棉質手套。 B. 戴手套時不可碰觸到手套的手指及手掌部份,避免手上油脂沾到手套上污染生產 之基板。 C.乳膠手套若破裂,應立即更換新手套。 D.現場作業若有需求,可截去無塵手套之指節部份,外面再套穿一層乳膠手套作業。 E. 保全員進入無塵室仍需戴手套,但在設備維修保養時,若戴手套有礙執行拆卸、 安裝(如拆裝墊片、綁膠帶等),可脫下手套,但僅限於工作範圍1公尺內,離開 工作範圍1公尺即需戴上手套。 F. 保全人員或高溫作業區作業人員,應穿戴不掉屑之耐熱無塵手套。 (四)、無塵室作業與施工規定: 4-1、無塵室禁止事項, (1) 抽煙,吃零食,吃檳榔,喝飲料等。 (2) 傳遞箱及空氣浴室禁止雙向門同時開啟。 (3) 在無塵室內跑步,及做不必要的動作。 (4) 私自將HEPA出入風口封閉。 (5) 沒穿無塵衣或未按無塵衣穿著規定就進入無塵室(如緊急事故則不在此限)。 4-2、裝機、施工之作業規定: (1) 裝機期間,施工負責人須負責維持該區週遭之清潔,並告知施工人員相關注意事項, 8 避免對無塵室環境造成污染。每日需定時檢查。 (2) 機台底部易累積灰塵雜物,須特別注意。 (3) 任何人於無塵室內作業或工作告一段落,離開無塵室前,須將週邊的工作環境、物 品、機械、儀器…等清潔干淨,由領班查核後方可離開。 (4) 零件備品須放置固定位置,紙箱不可攜入,裝機完畢後剩餘之零件備品送回倉庫, 其它規定由『設備裝機施工管理辦法』規定之。 (五)、無塵室環境、設備等級要求: 5-1、設備防塵規定: (1) 所有無塵室內設備,其抽風、排風之出入口處應裝設擋風罩,避免揚塵造成污染度 上升。 (2) 所有無塵室內設備附屬之收、放板機須裝設壓克力材質之防塵門(罩),避免FM掉 落或揚起沾附在板面上,造成板子報廢。 (六)、無塵室環境、設備及物品之清潔與更換頻率規定: 6-1、清潔方法與清潔、更換頻率規定,不使用黏性滾輪之單位可用無塵紙沾酒精清潔,, 項目 清潔方法 頻率 無塵室機台(含閒置設備)A. 以無塵紙沾酒精擦拭(無塵紙邊緣可清潔每班一次 內外部工作台面、承載小的角落) 盤、傳動滾輪、輸送皮帶、 轉板器等(與板子直接接 觸區域) 無塵室治具、防塵罩等(非A. 以無塵紙沾酒精擦拭(無塵紙邊緣可清潔每班一次 與板子直接接觸區域) 小的角落) 腳踏黏墊 進無塵室(空氣浴)前後,腳踏下方之黏塵紙,每班更換一次 將鞋底異物黏除 8 制造一課無塵室管理辦法--9—B1 更衣室之儲櫃(含鞋櫃)清以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭,含櫃子頂部及每班一次 潔 櫃子內格。※不掉屑標準,擦拭紙直接抖動, 無目視可見毛屑掉落 更衣室之掛衣架清潔 以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭 每班一次 更衣室之垃圾筒清潔 清潔垃圾筒之垃圾並更換新的垃圾袋 每班一次 空氣浴室之清潔,包括玻以黏性滾輪清潔(滾輪使用前確認已將異物每班一次 璃及空氣浴室上方清潔, 黏乾淨) 載具輪子黏墊 於無塵室內地面設置一處除塵區(台車必經每班一次 之處),將腳踏黏塵黏在地板上,將以黏除輪子 上的灰塵或異物 無塵室專用吸塵器主濾網 以水清洗並風乾(或以空氣槍吹乾) 每週清潔一次 傳遞窗 以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭 每週一次 無塵室地板 將地板無塵室專用吸塵器&清潔滾輪將地板每月一次 異物清除,地面異物以透明可撕式黏性滾輪 清潔,若無法清除時則以無塵紙沾酒精擦拭 無塵室天花板 以手把或拖把式透明可撕式黏性滾輪清潔每月一次 (黏膠撕換頻率,若黏膠上異物分佈面積超過 50%,則予以撕除更換。) ※注意事項,此黏膠不可用來清潔板面,以 防板面沾膠。 無塵室牆壁 以透明可撕式黏性滾輪清潔 每月一次 無塵室玻璃 以無塵紙沾酒精擦拭 每月一次 6-2、清潔後復工方式, 1 各單位每月清完天花板、地板和牆壁後,需以空氣粒子計數器確認0.5um與5um以上顆粒數符合10,000級無塵室規格後,才可恢復生產。 6-3、現場定期查檢表, 關於無塵室內須定期性作業及物品更換之頻率由check list(查檢)表列出,並附於每日工作報表中,由領班負責檢查。 6-4、注意事項: (1) 無塵擦拭布清潔方式如下:使用無塵擦拭清潔時,清潔方向必須以單一方向為主,不 10 可反覆來回擦拭。 (2) 無塵室內所有物料之存放,須標示位置及擺放整齊。 (3) 無塵室設備若有生銹現象,則以無塵紙沾酒精將生銹部分清除。 (4) 無塵室專用之吸塵器,須使用專用紙袋過濾,其所吸入之空氣先經過主濾網,然後 經過吸塵器內部HEPA(0.3,m,99.97%,9L)過濾後方可排出,而排出之空氣經由導氣 管緩衝,由四面八方排出,可避免揚塵,故須使用其專用之吸塵器。 (5) 收拾垃圾時,禁止將垃圾桶互相傾倒,以免激揚塵埃,須將各垃圾桶內之塑膠袋捆紮後 送出。 (6) 作業中造成之廢棄物應隨時丟入垃圾桶內, 以維護無塵室之整潔。 (7) 垃圾桶須加蓋子,其放置位置須遠離生產設備,防止揚塵造成污染。 (8) 更衣室及無塵室內之垃圾袋不可露出垃圾筒外。 (七)、無塵室溫溼度控制及異常處理方法: 7-1、無塵室溫溼度控制, 溫度: 21?2? 相對濕度: 55?5%。 溫濕度點檢頻率,每班一次 7-2、溫溼度異常處理方法, 1. 當發現溫溼度異常,應進行確認並找出原因。恆溫恆濕控制異常處理方法見附件 二。 2. 當溫溼度異常,於該段時間內所生產之批號應予記錄,並加以追蹤,以確保品質。 3. 對於底片之漲縮須特別注意。依底片供應商資料,當溫度每升高1?,底片尺寸 10 制造一課無塵室管理辦法--11—B1 將漲大萬分之0.18,而濕度每增減百分之一,則底片尺寸也將隨之漲縮萬分之 0.09。 (八)、無塵室環境變動(施工)後確認方式: 8-1、背景, 當無塵室環境有所變動時,為確保產品品質,必須於復工前對環境再做確認,以防 FM問題造成板子報廢率提高。 8-2、確認時機, (A) 機台搬出(入)無塵室後。 (B) 無塵室內機台移位完成後。 (C) 無塵室內例行性環境大打掃(將高架地板掀起)後。 (D) 天花板上方風管破裂or其他因素導致無塵室內FM重大異常後。 8-3、使用工具, 為即時測知環境清潔度,以讓設備於最短時間內恢復生產,故需使用空氣落塵計數 器(Particle counter),測定每平方呎內的FM顆數是否合乎標準。 8-4、確認辦法與異常處理方式, (A) 設備搬遷完成or異常解決後,向品管單位商借空氣粒子計數器(需先請品管單 位人員確認是否已經過校正)。 (B) 於現場設備搬遷所經路線週遭區域,或異常範圍內,選取數點量測,觀察0.5um 與5um以上顆粒數是否符合10,000級無塵室規格(參考七.定義)。 (C) 若合乎標準,在領班與技術士確認之後,進行首片檢查(每個機台),並由領班 12 確認品質OK後才恢復大量生產。 (D) 若不合乎標準,且產能需求甚急時,由領班與技術士反映給課長、工程師決定 後續處理對策,若產能不急,將設備靜置一小時後再測一次,觀察是否有所改 善。 (E) 若廠內空氣粒子記數器損壞,則由需求單位立即協調品管單位處理。 十.附件: 附件一 FM Monitor 異常處理程序(RFC) 附件二 無塵室溫溼度異常Check List 附件三 無塵室管理自我檢查流程圖 . 附件四 10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表 附件五 10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表 表單編號,2I-0014-001 附件六 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每天) 表單編號,2I-0014-002 附件七 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每週) 表單編號,2I-0014-003 附件八 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每月4) 表單編號,2I-0014-004 附件九 惠州廠設備移入申請表 表單編號,2I-0014-005 附件十 課外人員進出無塵室記錄表 表單編號,2I-0014-006 12 制造一課無塵室管理辦法--13—B1 附件一 FM Monitor 異常處理程序(RFC) FM Monitor 異常處理程序(RFC) 14 某量測區域FM異常 (趨勢線異常增高或 單點超出管制範圍) 1.通知工務將設備修復檢查是否為第一次檢查該設備是否異 2.由領班確認後恢復正異常(非連續),常掉屑,是常生產是 否否 1.領班確認後正常生產 2.日班和小夜回報課長、工是否連續2日 程師,大夜待日班時再回否皆為異常, 報此訊息 是 1.檢查機台、製具1.通知工務進行維修是否異常掉屑或生鏽2.回報課長、工程師,2.檢查天花板或地板設備確認後恢復生產是否有異常結晶是3.觀察隔天FM是否仍有3.檢查天花板濾網(HEPA) 異常是否有阻塞 否 1.回報課長、工程師,追查 Root cause並下對策解決 2.該設備暫時停線 1.重複以上步驟,追查觀察隔天FM是否仍Root cause有異常是2.設備停線解決 否 機台恢復生產 14 制造一課無塵室管理辦法--15—B1 附件二無塵室溫溼度異常Check List 無塵室溫溼度異常Check List 項次 測試項目 標準 備考 1 控制系統及元件溫度:21+2 當控制元件設定值及顯示值出現誤差 check 濕度:55+5 大於設計值,須比對無塵室內之溫濕 度,確認是否為控制元件故障。 2 冰水進、回水之溫 度、壓力check 3 進、回風壓差指示1. 當初級濾網+中級濾網進回風量減少會造成溫濕度控制不穩。 器顯示值 之壓差,1 inAq,須先 更換初級濾網 2. ,1 inAq,須再更換中 級濾網 3. HEPA壓差,2 inAq, 應全面更換HEPA 16 附件三無塵室管理自我檢查流程圖 無塵室管理自我檢查流程圖 無塵室管制區域 Check有無人員 No 進出管理 修訂無塵室管理辦法 2-1 Yes Check有無物品 No 進出管理 修訂無塵室管理辦法 2-2 Yes 16 制造一課無塵室管理辦法--17—B1 是否有無塵室作 No 業規定 修訂無塵室管理辦法 3-1 3-2 3-3 Yes Check有無無塵 No 衣、鞋套管理 修訂無塵室管理辦法 4-1 4-2 Yes Check有無無塵 No 室清潔管理(含 修訂無塵室管理辦法5-1 FM) 5-2 5-3 Yes 18 O K 附件四10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表 10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表 可攜入物品 禁止攜入物品 刀片 鉛筆 剪刀 橡皮擦 無塵室膠帶 紙箱 曝光專用筆 複寫紙(含碳) 記錄紙(護貝) 一般紙類,非無塵室專用紙, 流程單(護貝),生產作業報表 立可白及立可帶 作業用 工務維修工具箱 操作手冊(護貝) 電路圖(護貝) 其他用於曝光作業之工具 (無塵室專用工具) 專用垃圾袋 無塵布 抹佈布 清潔黏紙 酒精 底片清潔液 清潔用 黏性滾輪 無塵室專用吸塵器 其他用於清潔作業之工具 (無塵室專用工具) 戒子 右述之個人物品須放置在自己的手帕 個人物品 衣服或褲子的口袋裡面,在無塵室手錶 裡面不可以拿出或使用 鑰匙 衛生紙 18 制造一課無塵室管理辦法--19—B1 附件五 10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表 表單編號,2I-0014 - 001 10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表 課別, ,無塵室等級: 級 ,日期: 年 月 日 ※1.使用工具,落塵量測儀(Particle counter) 20 ※2.量測頻率,每月一次 ※3.每次量測完成後,由領班、工程師、課長依序確認簽名後存檔備查。 ※4.各無塵室等級標準與異常處理程序請參閱本規範內容。 ※5.此表格可依各課實際情況做修改。 項目 位置 微塵量0.5um 微塵量5um 溫度 溼度 落塵量 溫溼度 PS:紅字部分為溫溼度異常。 藍字部分為溫溼度正常 課長: 領班: __ _______ 20 制造一課無塵室管理辦法--21—B1 附件六 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每天) 表單編號,2I– 0014 - 002 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每天) 課別, 日期, / ~ / (若有依規定作業/更換,請在下表內打V) / / 項目 日期 日班 小夜 大夜 日班 小夜 大夜 1.腳踏黏墊每班至少更換一次 2.無塵室機台內外部工作台面、傳動滾輪等(與板子直接接 觸區域)每班清潔 3.無塵室治具、防塵罩等(非與板子直接接觸)每班清潔 4.更衣室之儲櫃、鞋櫃等(含內部)每班清潔 5.更衣室之掛衣架每班清潔 6.更衣室之垃圾袋每班清除或更換 7.空氣浴室(包括玻璃及浴室上方,每班清潔 領班簽核 22 課長審核, 22 制造一課無塵室管理辦法--23—B1 附件七 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每週) 表單編號,2I– 0014 - 003 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每週) 課別, 日期, / ~ / (若有依規定作業/更換,請在下表內打V) / 項目 日期 / 1.傳遞窗每週清潔(以不掉屑擦拭布沾相應清潔劑擦拭) 2.無塵室地板每週清潔(以無塵室專用吸塵器將地板異物吸 除) 3.FM空氣粒子(落塵量測儀)每週量測一次 4溫溼度記錄(同第3項表格記錄) 5. 無塵衣每週清潔一次 6. 無塵鞋套每兩週清潔一次 領班簽核 課長審核, 24 附件八 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每月) 24 制造一課無塵室管理辦法--25—B1 表單編號,2I– 0014 - 004 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每月) 課別, 日期, / ~ / (若有依規定作業/更換,請在下表內打V) 項目 日期 / 1.FM空氣粒子(落塵量測儀)每月量測一次 2.無塵室地板(以透明可撕式黏性滾輪清潔) 3.無塵室天花板(以透明可撕式黏性滾輪清潔) 4.無塵室牆壁(以透明可撕式黏性滾輪清潔) 5.無塵室玻璃每月清潔 6. 無塵室內初級、袋式濾網每月檢查一次 領班簽核 課長審核, 26 附件九 惠州廠設備移入申請表 表單編號,2I– 0014 - 005 惠州廠設備移入申請表 現場單位, 移入設備名稱, 申請日期, 設備移入時,須現場配合事項, 施工負 現場單位課長, 現場領班, 施工負責人, 現場領班 備註 責人 設備移入時,現場要求事項, 1. 將設備移入緩衝區,並且將緩衝區封閉 2. 設備移入前,有用酒精清潔過設備 3. 所有工作人員均穿著無塵衣 4. 設備移出及移入時,現場領班及施工負責人在場 5. 設備移入後,有用酒精再次清潔過設備 6. 設備移入後,量測落塵量是否符合該無塵室標準 7. 移動設備須開啟無塵室外牆時,有將外牆恢復原狀 結案: 現場單位課長, 現場領班, 施工負責人, 26 制造一課無塵室管理辦法--27—B1 附件十 課外人員進出無塵室記錄表 表單編號,2I– 0014 - 006 課外人員進出無塵室記錄表 進出時間 課外人員 日期 姓名 工作項目 核准 課別 廠商 進入時間 離開時間 / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : / : : 28 / : : / : : / : : 28