静电耗散材料电阻和电阻率的测量

静电耗散材料电阻和电阻率的测量 面电阻/表面电阻率, 体积电阻/体积电阻率, 点对点电阻, 接地电阻的测量 l 表面电阻, 体积电阻, 点对点电阻, 接地电阻单位: Ω l 表面电阻率单位: Ω/□ l 体积电阻率单位: Ω•cm l 静电耗散材料: n 表面电阻: 104-1011Ω; 表面电阻率: 105-1012Ω/□ n 体积电阻: 104-1011Ω; 体积电阻率: 104-1011Ω•cm n 点对点电阻：104-1011Ω n 工作台面接地电阻：< 109 Ω n 防静电地板接地电阻：< 109Ω n 导静电地板接地电阻：< 106Ω l 测试仪器：重锤式静电电阻测试仪（测试方法：直流法） 表面电阻和表面电阻率测试 采用 TOM600ME或 TOM374静电电阻仪，配 RME 1同心圆重锤电极（如图 1） 2.5kg同心圆重锤 绝缘屏蔽导线 绝缘体 金属电极 导电电极 (邵氏硬度:70) 图 1 测试支撑板：表面光滑，表面电阻应大于 1013Ω；尺 寸应比实验样品在长度和宽度上多 10mm, 支撑板厚度至 少 1mm 试样：要求为简单几何图形，呈薄板形，最小尺寸为 80 x 120mm. 测量时，表面一般不应进行清洁处理。 将 RME1电极放置在试样上，仪表显示表面电阻值。阻值 小于 104Ω，为静电导体；阻值大于 1011Ω，为静电绝缘体； 在 104Ω-1011Ω之间为静电耗散材料。 表面电阻转换为表面电阻率： Π（d2 + d1） Ρs = d2 – d1 Rs • Rs：表面电阻；Ps：表面电阻率 Ryan.Liu Underline 体积电阻和体积电阻率测试 采用 TOM600ME或 TOM374静电电阻仪，配ME250重锤电极 1对（如图 2） 点对点电阻，接地电阻测试 采用 TOM600ME或 TOM374静电电阻仪，配ME250重锤电极 1对 绝缘屏蔽导线 绝缘体 金属电极 导电电极 (邵氏硬度:60) 2.5kg重锤 测试支撑板：要求表面光滑，表面电阻应大于 1013Ω；尺 寸应比实验样品在长度和宽度上多 10mm, 支撑板厚度至 少 1mm 试样：要求为简单几何图形，尺寸比电极直径大 10mm， 测量时，表面一般不应进行清洁处理。 将 1 对 ME250 电极分别放置在试样上下 2 面，仪表显示 体积电阻值。阻值小于 104Ω，为静电导体；阻值大于 1011Ω，为静电绝缘体； 在 104Ω-1011Ω之间为静电耗散材料。 体积电阻转换为体积电阻率： 图 2 Ρv = 4h Rv • Rv：体积电阻；Pv：体积电阻率；h：试样厚度 Πd2 点对点测试 接地测试