二氧化碳激光器(北理工)nullnull四 二氧化碳激光器null4.1 C02激光器的工作原理
C02分子内能包括: 电子内能+分子中原子间的振动能级+
分子的整体转动能级
1 二氧化碳分子振转能级结构
振动能级:
对称振动 V1
弯曲振动 V2 (角量子数 l)
反对称振动 V3
转动能级:
转动量子数 J : J=l,l+1,l+2…….. null2 二氧化碳激光器的激发机理
能级...
nullnull四 二氧化碳激光器null4.1 C02激光器的工作原理
C02分子内能包括: 电子内能+分子中原子间的振动能级+
分子的整体转动能级
1 二氧化碳分子振转能级结构
振动能级:
对称振动 V1
弯曲振动 V2 (角量子数 l)
反对称振动 V3
转动能级:
转动量子数 J : J=l,l+1,l+2…….. null2 二氧化碳激光器的激发机理
能级跃迁图:上能级的激发
下能级的激发
弛豫过程
辅助气体
N2 CO He Xe H2 H2O
转动能级的竞争效应null2.1 激光上能级的激发
1)电子直接碰撞激发:
CO2(0000)+e′ CO2(0001)+e
2)串级激发:
CO2(0000)+e′ CO2(000v3)+e
CO2(000v3)+ CO2(0000) CO2(000v3-1)+ CO2(0001)
3)共振转移激发
N2*(v=1,2,3。。。)+ CO2( 0000) N2(v=0)+ CO2*(000v3=1,2,3。。。)+△E
CO*(v=1)+ CO2( 0000) CO(v=0)+ CO2*(0001)+△E
4)复合激发
CO+O CO2(0001)+△E
null2.2 激光下能级的激发
1)电子碰撞激发
直接激发
CO2(0000)+e′ CO2(1000)+e
逐级激发
CO2(0000)+e′ CO2(0110)+e
CO2(0110)+e′ CO2(1000)+e
2)串级激发
高能级的粒子辐射跃迁或驰豫碰撞到1000或0200能级
3)分子碰撞激发
CO2(0110)+ CO2(0110) CO2(1000)+ CO2(0000)- △E
4)费米共振激发
CO2(0200) CO2(1000)- △Enull3 二氧化碳激光器驰豫过程
1)激光上能级的驰豫
分 体积驰豫 和 管壁驰豫,驰豫速率与气压有关,体积驰豫还与辅助气体种类及其气压有关
2)激光下能级的驰豫
第一步 1000和0200能级的分子与基态分子碰撞,二者都会驰豫到0110振动能级
CO2(1000)+ CO2( 0000) 2CO2 (0110)+ 52cm-1
CO2(0200)+ CO2( 0000) 2CO2 (0110)-50cm-1
其他气体与CO2分子的碰撞也能使CO2(1000)驰豫到CO2 (0110)。这个过程进行的速度很快。
第二步 驰豫到0110能级的CO2分子与基态CO2分子及其他气体分子碰撞驰豫到基态。
CO2(0110)+ CO2( 0000) 2CO2 (0000)+ 667cm-1
CO2(0110)+ M CO2 (0000)+ M+△Enull 此驰豫存在瓶颈效应:
当CO2激光器中不加其他气体,只靠CO2分子之间的碰撞时,1000驰豫到0110的速率比从0110驰豫到0000的速率高得多,因此0110能级上的粒子将被堆积起来,而第一步过程是可逆的,这会使得1000和0200能级上的粒子数增加,造成反转粒子数下降。 null4 辅助气体
N2: 增大CO2分子0001能级的激发速率,还能增加0110能级的驰豫速率
CO:增大CO2分子0001能级的激发速率,还能增加0110能级的驰豫速率,但太高时会使0001能级消激发
He:1 降低工作气体的温度,增加输出功率
2 He对激光下能级的驰豫作用比对激光能级的驰豫作用影响大得多,这有利于粒子数反转,即有利于提高输出功率
3 缓冲CO2向管壁扩散,减少0001态CO2分子与管壁的碰撞消激发作用
nullXe:增加放电气体中的电离度,使得电子平均能量降低,从而提高激光器的效率
H2: H2O:提高器件的输出功率,并且延长器件寿命
Ar:降低管内电子温度,有利于上能级激发,但导热率不如Henull4.2 普通CO2激光器的工作特性和输出特性
1 电子温度
E/N范围:10-16~ 10-15 Vcm2
E/N小,电子转换效率高,但放电管难以着火
E/N大,能量大多转换给电子的激发态,电子转换效率低
2 增益
1)放电电流的影响:存在最佳值
2)管壁温度的影响:封离型增益随管壁温度上升而下降
流动型增益与管壁温度无关
3)气压
存在最佳气压值null4) 管径的影响
封离型增益随管径D增大略有下降
流动型增益随D增大很快减小
5) 增益的径向分布
按零阶贝赛尔函数分布
3 输出功率
影响输出功率的因素:
a)注入功率的影响
是量子效率
是管内允许气体温度增加的最大值
nullb)放电管尺寸的影响
放电管长度:PW=KL
功率随放电管长度增加而增加
放电管径:
谱线为非均匀增宽时,总输出功率与放电管直径无关
谱线为均匀增宽时,总输出功率随管径增大而增大
C)放电参数的影响
存在最佳放电电流
总气压也存在最佳值
D)气体温度的影响
PW=AT-3/2
温度影响的原因:
1. 温度升高使下能级粒子数增多,上能级消激发增大,反转粒子数减少,输出功率下降
null 2.随气压的增高,线宽加大,输出功率下降
3.温度升高增加了CO2分子的分解,输出功率下降
降低温度采用冷却
:扩散冷却 对流冷却
4 输出谱线
转动能级的竞争效应null4.3 普通CO2激光器的结构与设计
1 结构
电极
放电管
储气管
回气管
冷却水管
谐振腔镜
2 小型CO2激光器的设计
针对小型封离型CO2激光器null 1)确定谐振腔的主要尺寸
放电管长度: l=PW/W0
总长度 L=l+2△l △l 为总长的5-15%
一般采用大曲率平凹腔,凹面镜的曲率半径为
R=2 ~3L
放电管直径D: 针对基横模运行,D=3ω凹
多模输出,D≥4ω凹
2) 确定谐振腔的参数
总损耗 α=α m+αmnnull 由经验表达式算出G0和Is
再由 计算最佳耦合时输出镜的透过率
4.4 高功率CO2激光器
1 高功率CO2激光器特点
工作气体快速冷却
大体积放电的均匀性与稳定性
放电激励技术多样化
提高工作气体压力以提高激光功率
设计最佳放电E/N值
优良的光束质量
优良的红外光学元件
能连续输出又能脉冲输出
null2 轴快流CO2激光器
气流方向与激光束输出方向一致
结构:风机的选择:罗茨风机 涡轮风机
热交换器 湍流发生器
工作特性:
3 横流高功率CO2激光器
放电方向 气流方向 激光束输出方向互相垂直null4.5 横向激励高气压CO2激光器(TEA)
1 特点
工作气压高
采用横向激励方式
电极面积大
施用预电离技术
2 常用的TEA CO2激光器结构
1) 针板TEA CO2激光器
结构比较简单,易实现均匀激励,效率不高,光束质量不太好
2) 双放电TEA CO2激光器
阴阳极之间加了一个预电离电极
3)紫外光预电离TEA CO2激光器
4)电子束预电离TEA CO2激光器
null3 TEA CO2激光器的工作特性
1)增益开关效应
激光器的光脉冲输出是由于腔内高增益的迅速建立而形成的
2)激光脉冲的瞬时特性
两个峰值: 一个由电子直接碰撞激发形成
一个由N2分子激发形成
3)输出能量与激励能量的关系
呈线性关系,注入能量过大会出现弧光放电等不稳定现象
4)输出能量,脉冲功率与气压的关系
输出能量随气压增高而增高
脉冲宽度随气压增高而减小
5)光束质量
由于存在各种不均匀性,光束质量不如CO2普通激光器好null4.6 高功率CO2激光器的结构设计
1 谐振腔的设计
光桥
镜子支承座
光桥托
2 放电系统的结构设计
2.1 横流电激励:
1)针-板式放电结构
阴极:铼钨针 串接镇流电阻r与R
阳极:紫铜板 边缘倒圆
放电区气流风道:与振荡模体积和风机能力有关
喉道的设计
阴阳极间距离null 提高工作气压的好处:
1 输出功率随气压增大而增大
2 不纯气体比相应减小,有利于长时间运行
3 气压增加,碰撞引起谱线加宽,减小纵模平移的影响
4 气体质量流量随气压增大而增大,有利于风机的正常工作,同时气体温度不易上升
2)管-板式放电结构
阴极:
放置位置: 气流上游前沿与阳极前沿对齐
与导流板之间必须留有足够的空隙
应置于喉道渐缩段内
寿命:与管径大小有关,管径小寿命长
材料:无氧铜 水冷镍阴极null 阳极: 条形,两端圆弧过渡,紫铜制造
辅助阳极
阳极长度不匹配:
电极缩短,抑制瞬间飞弧的进一步扩展,在工作气质变劣时也能稳定放电
电极过短,特别气质变劣情况下,异常辉光放电区变大
阳极的绝缘处理
气流风道极间距离的确定: null4.7 CO2波导激光器
1、结构
放电管、贮气管、回气管、水冷系统、谐振腔、电极等
放电管由波导管组成
2、工作特点
放电管内径小、工作气压高、谱线加宽、输出功率密度可提高
3、耦合损耗
外部反射镜与波导管的耦合
针对波导管中传输的EH11模,存在三个低损耗区
反射镜与EH11模相匹配时,三种低损耗区
反射镜与EH11模不匹配时,三种实用的低损耗配置
nullnullnull
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