膜厚比色表

57 附录 5 二氧化硅 氮化硅薄膜比色[4] 级别 颜色 SiO 2厚度范围 埃 Si3N4厚度范围 埃 硅本色 0~270 0~200 棕色 270~530 200~400 金褐色 530~730 400~550 红色 730~970 550~730 深蓝色 970~1000 730~770 第一周期 蓝色 1000~1200 770~930 灰蓝色 1200~1300 930~1000 深灰蓝色 1300~1500 1000~1100 硅本色 1500~1600 1100~1200 浅黄色 1600~1700 1200~1300 黄色 1700~2000 1300~1500 桔红色 2000~2400 1500~1800 第一周期 红色 2400~2500 1800~1900 暗红色 2500~2800 1900~2100 第二周期 蓝色 2800~3100 2100~2300 蓝绿色 3100~3300 2300~2500 浅绿色 3300~3700 2500~2800 桔黄色 3700~4000 2800~3000 第二周期 红色 4000~4400 3000~3300