膜厚和沉积速率的

null膜厚和沉积速率的测量与监控膜厚和沉积速率的测量与监控null膜厚的分类膜厚的分类nullnullnullnullnullnull称重法称重法微量天平法 nullnullnullnull2石英晶体振荡法 nullnullnullnullnull主要特性 1. 最大到6个传感探头的探测来控制镀膜的一致性 2. 自动晶控,在晶控失灵时能终止电源 3. 可选择的20000点的有时间和日期的标志的运行数据储存 4. 具有99种程式、999种步骤和32种材料的数据储存 5. 具有16位的可编程的输入和输出 6. 支持从2.5-10MHz的晶振片 7. 遇到中途异常断掉或者停电能够继续重新开始null 项 目 描         述 材料 304CRES、陶瓷、铍镍、Viton 外表 不锈钢镀金的MAXTEK新一代CoolDrawer设计 冷却 采用1/8”管经能达到2GPM流量 温度 在有水冷却时可在300℃、没水冷时160℃的环境下工作 电源连接 2个标准的BNC插座连接器 晶振片 适用0.55”的石英晶控片 大气要求 45-50 PSI标准 可选长度 15-16cm(6-26”)相对于DSH5P1-SO和DSH5P1-SB型号10-66cm(4-6”)相对于DSH5P1-TO和DSH5P1-TB型号 安装孔径 直径1.015”+/-0.010” 电学方法电学方法电阻法 nullnullnullnullnull电容法nullnullnull电离式监控计法 nullnullnullnull光学方法光学方法光吸收法 nullnullnull光干涉法 nullnullnullnullnull等厚干涉条纹 nullnull探针法探针法null差动变压器法 阻抗放大法 阻抗放大法 压电元件法压电元件法nullnullThat’s all for today A cat may look at a king. 猫也可以打量国王，意为人人平等