二次配工程规范

中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程CONTENTSPAGESTOC\o"1-1"1.目的PAGEREF_Toc\h32.范围PAGEREF_Toc\h33.文件送审PAGEREF_Toc\h44.施工说明PAGEREF_Toc\h45.其他说明PAGEREF_Toc\h96.验收PAGEREF_Toc\h107.保固期限PAGEREF_Toc\h12目的为使设备机台按照顺利装机、运转，且亦能维护HookUp二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。范围制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶柜出口接至机台(含VMB)，其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211)；各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请参照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。承包商需根据该表资料，设计至机台管线之路径。前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。其中施工图及ISO图面，需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制，并配合材料明细表供业主确认。本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。所有管路标示，管路标示依照”二次配工程说明”办理。所有管路防震固定支撑架之安装定位。高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主指示规划气体管线路径，并负责安装所需管夹等固定装置。文件送审文件名称投标阶段(3份)设计阶段(5份)竣工阶段(5份)AUTONUMOUT报价表(Quotationform)XAUTONUMOUT专案组织表(Projectorganization)XXAUTONUMOUT专案执行时程表(Projectschedule)XXAUTONUMOUT工程界面清单及位置图(List&locationoftie-inpoint)XXXAUTONUMOUT系统管仪图(P&IDs)XXXAUTONUMOUT焊接设备清单(Equipmentlist)XXXAUTONUMOUT设备及材料型录及资料(Vendor’scatalogsandinformationtosupporthisquotation，includingelectricalsystem&I/Csystem)XXXAUTONUMOUT仪表安装详图(Instrumentinstallationdrawing)XXAUTONUMOUT送审文件清单及时程(Transmittallistandschedule)XAUTONUMOUT品质管制程序书(Qualitycontrolprocedure)XAUTONUMOUT工地办公室及物料暂存区需求(Siteofficeandwarehouserequirements)XAUTONUMOUT验收及测试计划/报告(Inspection&testplan/reports)XXAUTONUMOUT制造商测试报告(Manufacture’sinspection&testreports/records)XXAUTONUMOUT计算书(Contractor’scalculations)XXAUTONUMOUT管线配置图(Piperoutingplan)XXXAUTONUMOUT管线支撑详图(Pipesupportdrawing)XXAUTONUMOUT管材规格(Pipingmaterialspecification)XXAUTONUMOUT管线施工程序书(Pipingconstructionspecification)XX注：1.承包商需於得标後一周内提出文件送审清单，并於施工前2周提送设计文件及相关管件及标示实体供审核；送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送审。2.所有送审文件必须以中文或英文书写；英文送审文件需附中文说明。3.所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档施工说明一般说明承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书，经审核通过後，方可据以施工。承揽商需於工作场所设置工程负责人，需有相关工程经历三年以上，其为：施工进度控制。施工人员管理及安排。材料数量管制。现场会勘放样。参与承揽商沟通协调会议承揽商需於工作场所设置品管负责人，需有相关工作经历三年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：施工品质控制。施工完工品质验收。施工验收报告汇总。原料进厂自主检查。承揽商需於工作场所设置物管负责人，需有相关工作经历一年以上，其工作职责为：材料数量管理。进厂料件验收。承揽商需於工作场所设置工安卫负责人，需有相关工作经历一年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：现场安全卫生工作监督。参与承揽商安全卫生协调会议。承揽商施工人员安全卫生训练。施工人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留三组，每组人员最少三人，每组至少有一人有焊接执照，并由一资深组长带领，所有进厂施工之人员必须经过认可且通过工安检定之人员。品管人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保留一组，每组人员最少二人，由一资深组长带领，但不可由品管负责人担任。承揽商有任何人员调动需经过认可，且业主相关之人员有权提出异议要求更换，承揽商不得有异议。材料说明气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。气体种类材质一般大宗气体GN2CDACDA(forburnbox)SUS316LBA/5SSUS316LAP/5SSUS304/5S自燃性气体SiH4,SiH4/N2,PH3/N2内管SUS316LEP/外管SUS304其他气体PN2,PO2,SiH2Cl2,NH3,PH2,B2H6/N2,Cl2,HBr,NF3,BCl3,HF,CHF3,CF4,C2F6,SF6,PAr,PHe,N2O,He/O2SS316LEP/5S；另BCl3、SiH2Cl2之管线需提供加热带以确保供气量。各类管线、管件及仪表厂牌，请依下表规定办理，承包商应以一次配选用厂牌为优先考量，如欲选用非下表规定之厂牌，需经过业主审核同意後使得选用。项目规格厂牌SUS316LBApipeRmax<μmSumikin/KuzeSUS316LBAtubeRmax<μmSumikin/KuzeSUS316LBAfitting(forpipe)Rmax<μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LBAfitting(fortube)Rmax<μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LEPpipeRmax<μmSumikin/KuzeSUS316LEPtube(注1)Rmax<μmSumikin/KuzeSUS316LEPfitting(注1)Rmax<μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LBAvalve(≧15A)Bellowvalve,Rmax<μmKitz/Ohno/MotoyamaSUS316LBAvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<μmKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaSUS316LEPvalve(≧15A)Bellowvalve,Rmax<μmKitz/Ohno/MotoyamaSUS316LEPvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<μmKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaRegulatorSUS316LEP,VCRtype,Rmax<μmAP-tech/Veriflo/Tescom/CrownFilterinVMB/VMPSUS316LEP,VCRtype,poresize：μmPall/MilliporeGasketfilterSUS316LEP,poresize：μmPall/Millipore注：1.Cl2、NF3等气体需选用VIM+VAR钢材。VMB/VMP设备承包商需负责设计及提供特殊气体供应所需VMB及VMP，其安装数量及位置请参照”附件二SpecialtyGasVMBlist”及相关图面指示办理；经过VMB/VMP後管线则直接接至使用点。VMB及VMP所需安装各项阀件及仪表请参照”VMB/VMP示意图”(图号SP-230)指示办理。承包商於每种气体之VMB/VMP，均需於进气主管路预留3/8”隔膜阀(氢气为1/2”)以供未来扩充用。VMB需具备差压计以检视排气之正常与否。VMB须具备紧急关断功能，且紧急关断需能於现场及远端控制。所有仪电设备之组装与测试需根据NFPA70，NationalElectricalCode。得标商应於现场进行VMB/VMP之功能测试，现场测试其氦测漏率应≦1×10-9atm-cc/sec。各VMB所需气体侦测器由业主提供，承包商需负责安装及连结各项控制线路。VMB内所有阀件与管件均需以VCR形式衔接。承包商於每批材料进厂时，需检附原厂检验及测试报告，若为国外进口品则需附进出口文件；所有材料须经业主对於外观、洁净度进行检验，合格後方能进厂；如有需要也要将所有材料样品交由公证单位检验，费用由承包商负担，如检验未达标准造成延误之後果，由承包商负责。所有二次配工程所需材料，备料时间需於机台Move-in前一个月完成，且须有足够的安全库存量。无共用管架处之独立配管管路support由承包商负责，support/clamps/screws/nuts材质应为SUS304之材质，承包商需经过计算後，提送标准图送审。施工规范预制作业於机台movein前三十天进行现场会勘，承包商依会勘结果绘制电脑施工图。movein前二十五天进行套图会议，确认各管线之高程及路径。高纯度管件需在Class1,000或更佳的环境内进行焊接，承包商需在现场提供临时之无尘作业环境，所有管线或管件之预制作业应在该无尘环境中进行。承包商需提供QC仪器厂商最近三个月内之校正报告，测试报告及校正资料需负责工程师核可方可使用。安装作业GN2、PN2、PO2、CDA等管线接至机台前，需装设隔膜阀、调压器、压力表及过滤器，详细安装数量及位置请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)指示办理。所有焊接机具须能提供给十组以上人员同时使用；QC机具须能提供给三组以上人员同时使用，QC机具应至少包括氦测漏机、Particlecounter及露点侦测机。承包商进行管线支撑设计，应至少每m即设计一组支撑，并於施作前，提送相关设计资料、图面，供业主审阅核准；如遇现场需求，承包商得视实际状况增加支撑数量。切管作业：管径15A以下，可以用手动切断器；管径15A以上，需使用电动管车刀切断，不能使用一般锯弓。切管完後，管壁内外皆有毛边，须用刮刀铲除毛边。管件预作处理前(切管或组管)，须持续以GN2吹净。弯管作业：1/2”以下配管采弯管配管，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工；弯管需使用合适之弯管器，不可使用手弯。焊接作业：承包商需於每日工程开始前於现场制作二份各种不同管径之标准焊道样品，以供未来现场TestPiece目视检察比对之标准。承包商需於下列时机，当场施作TestPiece，不可先行施作，并须纪录焊接参数，经QA/QC人员检验确认合格後，施工承商才能开始施工。每日焊接开始前及结束後。改变管径大小、钨棒更换、焊接程式变更後。焊接工作中断超过一小时或变更电源後。任何有缺陷之焊接情况发生後。本次气体管线二次配工程均采用自动轨道氩焊(auto-orbitalTIG)技术施工。其他说明依业主之厂务单位提出之需求作为施工依据。配合业主系统运转之需求施工，若发生赶工情形，须配合加班或增派人力，以如期完工。管线冲净所需任何装备及各项安全必须之设施装备，均由承包商自行负责提供。Hookup时，机台已有定位位置但尚未定位时，气体配管承商需先配置高架地板下方，待Movein机台定位後即马上配管连上机台。需购买一台2瓶式的气瓶架供应He。该气瓶柜须具有auto-switch和auto-purge功能，依据气体压力、钢瓶重量及气体性质自动切换钢瓶，其采用两段式，第一段警告，第二段自动切换。控制盘面显示讯号包含气体供应状况、气瓶重量、压力显示、allalarm及runningstatus等功能；控制系统采用可程式化逻辑控制(PLC)，能自动及手动控制并能与气体侦测系统(GasDetectionSystem)相容；所有管线衔接应为自动焊接及VCRgasketCompressionSeals；气瓶架歧管阀件上应有GasketFilter及AfterFilter；得标商应於现场进行气瓶架之功能测试，现场测试其氦测漏率应≦1X10-9atm-cc/sec。承包商需提供气体站内SiH4房之防爆照明灯具、室内空调设施(房间尺寸m，温度控制范围15~25℃，气瓶柜排气量需与系统承包商确认)，及该房间之排气系统。厂商须於收到PO後一周内派人至SinoMOS(或陪同ToolsRefurbish人员)清查Tools实际数量及Tiein点数量及尺寸，以利实际备料。验收标准外观检查：所有管路是否依照图面施工，并依照规范清楚贴上管路标示。目视检查焊道宽度及高度，焊道宽度应不得超过5倍管壁厚度。目视检查应不得有任何气孔、夹渣或龟裂。管线试压：承包商应协调厂务工程师，利用最接近之PN2接点，配接临时性管线作为试压所需气源。试验压力应以设计压力之倍或业主指定之压力试验之，试验时间需至少4小时。压力试验应使用圆盘式或电子式压力纪录器作成详细，同时现场应安装4”表面之压力指示计作为参考。纪录项目并应包括管线之识及压力下降的情形，试压使用的流压，试验之日期，时间及双方试验人员，并送业主存查。试验前後之压力差，在经过温度校正後，误差应不得大於1%。试压後排放管内压力，并应保持吹净状态，或使管内保持kg/cm2以上压力，同时须注意安全，防止缺氧。氦测漏检验：承包商需针对所有VMB、VMP、PH2及specialtygas管线进行氦测漏试验。氦测漏率应≦1x10-9atm-cc/sec。水分含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，并连续纪录水分含量变化，以观察其下降趋势及作为是否合格之依据。各类气体测试点及含量要求应依下表办理：气体种类应测试位置水分含量要求GN2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦100ppbCDA每段支管末端。所有机台Tie-in点前。DP≦-70℃PN2、PO2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦10ppb其他制程气体有机台Tie-in点前≦10ppbParticle含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，测试前应先以PN2执行cyclepurge至少30次。测试时间需至少10分钟，测试压力为60~90psig，测试流速为7m/s。各类气体测试点及含量要求应依下表办理：气体种类应测试位置Particle含量要求GN2、CDA每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦10pcs/scf(>μm)PN2、PO2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦1pcs/scf(>μm)其他制程气体机台Tie-in点前≦1pcs/scf(>μm)氧气含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，并连续纪录氧气含量变化，以观察其下降趋势及作为是否合格之依据。各类气体测试点及含量要求应依下表办理：气体种类应测试位置氧气含量要求GN2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦100ppbPN2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。≦10ppb其他制程气体机台Tie-in点前≦10ppb验收时需检附各项测试报告及竣工ISO图面。保固期限自验收合格後保固期限一年。附件一BulkGasTake-offListTAKE-OFFTAKE-OFFTool机台流量机台接机台接NOTENO.尺寸　LPM头尺寸头型式　GN55011/2"CV-etcher/QCLab　　　　　CV-etcher553/8"　　　DECAP(QC)-1/8"　　　ETCHER(QC)-1/4"　　GN55021/2"9F1　　　　　9F1251/4"　　　9F11203/8"　　　9F11203/8"　　GN55031/2"9F2　　　　　9F21203/8"　　　9F21203/8"　　GN55041/2"8F　　　　　8F553/8"　　　8F503/8"　　　8F503/8"　　GN55051/2"WJ-999(1)/(2)　　　　　WJ-999(1)553/8"　　　WJ-999(2)553/8"　　GN55061/2"SPARE　　　　GN55071/2"ND-6200　　　　　ND-6200201/4"　　　ND-6200201/4"　　GN55081/2"NOVELLUS　　　　　NOVELLUS201/4"　　　NOVELLUS201/4"　　GN55091/2"SPARE　　　　GN55101/2"SPARE　　　　GN55111/2"SPARE　　　　GN55121/2"SPARE　　　　GN55131/2"AMI8330C　　　　　AMI8330C31/4"　　　AMI8330C31/4"　　　AMI8330C31/4"　　　AMI8330C31/4"　　GN55141/2"SPARE　　　　GN55151/2"AMI8330D　　　　　AMI8330D31/4"　　　AMI8330D31/4"　　　AMI8330D31/4"　　　AMI8330D31/4"　　GN55161/2"AMI8330B　　　　　AMI8330B31/4"　　　AMI8330B31/4"　　　AMI8330B31/4"　　　AMI8330B31/4"　　GN55171/2"SPARE　　　　GN55181/2"LAM590A/PSC-4　　　　　LAM590A101/2"　　　LAM590A31/2"　　　LAM590A31/4"　　　LAM590A11/2"　　　PSC-431/4"　　　PSC-431/4"　　GN55191/2"LAM590C/B　　　　　LAM590C101/2"　　　LAM590C31/2"　　　LAM590C31/4"　　　LAM590C11/2"　　　LAM590B101/2"　　　LAM590B31/2"　　　LAM590B31/4"　　　LAM590B11/2"　　GN55201/2"LAM4420A/B/S6000　　　　　LAM4420A103/8"　　　LAM4420A103/8"　　　LAM4420A31/4"　　　LAM4420A31/4"　　　LAM4420B103/8"　　　LAM4420B103/8"　　　LAM4420B31/4"　　　LAM4420B31/4"　　　S6000-1/4"　　GN55211/2"SPARE　　　　GN55221/2"LAM490C/B　　　　　LAM490C101/2"　　　LAM490C31/2"　　　LAM490C31/4"　　　LAM490C11/2"　　　LAM490B101/2"　　　LAM490B31/2"　　　LAM490B31/4"　　　LAM490B11/2"　　GN55231/2"LAM490A　　　　　LAM490A101/2"　　　LAM490A31/2"　　　LAM490A31/4"　　　LAM490A11/2"　　GN55241/2"Tegal900A/B　　　(位置未定)　Tegal900A31/4"　　　Tegal900A31/4"　　　Tegal900B31/4"　　　Tegal900B31/4"　　GN55251/2"SPARE　　　　GN55261/2"SPARE　　　　GN55271/2"H2　　　　　H2-3/8"　　　H2-3/8"　　GN55281/2"HF1703/8"　　GN55291/2"SPARE　　　　GN55301/2"H1　　　　　H1-3/8"　　　H1-3/8"　　GN55311/2"H31703/8"　　GN55321/2"SPARE　　　　GN65011/2"7F　　　　　7F553/8"　　　7F1503/8"　　GN65021/2"7F　　　　　7F1503/8"　　　7F1503/8"　　GN65031/2"6F553/8"　　GN65041/2"SPARE　　　　GN65051/2"SPARE　　　　GN65061/2"SOG-273/8"　　GN65071/2"SPARE　　　　GN65081/2"SPARE　　　　GN65091/2"SPARE　　　　GN65101/2"AMI8310B/A　　　　　AMI8310A31/4"　　　AMI8310A31/4"　　　AMI8310A31/4"　　　AMI8310A31/4"　　　AMI8310B31/4"　　　AMI8310B31/4"　　　AMI8310B31/4"　　　AMI8310B31/4"　　GN65111/2"SPARE　　　　GN65121/2"MATRIX(1)/(2)　　　　　MATRIX(1)31/2"　　　MATRIX(2)31/2"　　GN65131/2"LAM4520　　　　　LAM4520103/8"　　　LAM4520103/8"　　　LAM452031/4"　　　LAM452031/4"　　GN65141/2"SPARE　　　　GN65151/2"SPARE　　　　GN65161/2"PSC-5　　　　　PSC-531/4"　　　PSC-531/4"　　GN65171/2"SPARE　　　　GN65181/2"PSC-3/1　　　　　PSC-331/4"　　　PSC-331/4"　　　PSC-131/4"　　　PSC-131/4"　　GN65191/2"SPARE　　　　GN65201/2"SPARE　　　　GN65211/2"SPARE　　　　GN65221/2"SPARE　　　　GN65231/2"SPARE　　　　GN65241/2"CDO1/2/3　　　(位置未定)　CDO1-1/4"　　　CDO2-1/4"　　　CDO3-1/4"　　GN65251/2"SPARE　　　　GN75011/2"SPARE　　　　GN75021/2"5F/4F　　　　　5F553/8"　　　4F553/8"　　GN75031/2"3F553/8"　　GN75041/2"SPARE　　　　GN75051/2"CR-19911/2"　　GN75061/2"CR-19911/2"　　GN75071/2"STEPPER14/COATER7/8　　　　　STEPPER14201/4"　　　COATER7/8-3/8"　　GN75081/2"CR-39911/2"　　GN75091/2"STEPPER13/8　　　　　STEPPER13201/4"　　　STEPPER8201/4"　　　STEPPER7201/4"　　　STEPPER3201/4"　　GN75101/2"SPARE　　　　GN75111/2"CR-39911/2"　　GN75121/2"STEPPER12/6/2　　　　　STEPPER12201/4"　　　STEPPER6201/4"　　　STEPPER2201/4"　　GN75131/2"SPARE　　　　GN75141/2"STEPPER11/5/1　　　　　STEPPER11201/4"　　　STEPPER5201/4"　　　STEPPER1201/4"　　GN75151/2"SPARE　　　　GN75161/2"OBM/M3　　　　　OBM301/4"　　　M31701/4"　　　M31701/4"　　GN75171/2"UL-2/AN1　　　　　UL-2-3/8"　　　AN1453/8"　　GN75181/2"M2　　　　　M21701/4"　　　M21701/4"　　GN75191/2"AN2453/8"　　GN75201/2"M1　　　　　M11701/4"　　　M11701/4"　　GN85011/2"2F　　　　　2F553/8"　　　2F1503/8"　　　2F1503/8"　　GN85021/2"1F　　　　　1F553/8"　　　1F1503/8"　　　1F1503/8"　　GN85031/2"SPARE　　　　GN85041/2"SPARE　　　　GN85051/2"SPARE　　　　GN85061/2"SPARE　　　　GN85071/2"COATER4/5/10　　　　　COATER4/5-3/8"　　　COATER1011/4"　　GN85081/2"SPARE　　　　GN85091/2"COATER1/DEV12　　　　　COATER1/2/3-3/8"　　　DEVELOPER1211/4"　　　STEPPER4201/4"　　GN85101/2"DEVLOPER7/1　　　　　DEVELOPER7/8/9-3/8"　　　DEVELOPER1/2/3-3/8"　　　S8820-1/4"　(位置未定)PN55011/2"CWCROOM　　　　　CWC-OXIDE2831/4"　　　CWC-POLY2831/4"　　　CWC-METAL2831/4"　　PN55021/2"TUBECLEAN/SORTER　　　　　OVEN203/8"　　　OVEN203/8"　　　CV-etcher553/8"　　　SORTER8501/4"　　　chemicalhood(QC)5661/4"　　　SEM(S-4700,QC)-1/4"　　　SEM(JSM-6700F,QC)-1/4"　　PN55031/2"9F-1/2/AG4100　　　　　AG4100151/4"　　　9F-1701/4"　　　9F-2553/8"　　PN55041/2"8F/QS300　　　　　8F553/8"　　　QS3008501/4"　　PN55051/2"WJ-1/2　　　　　WJ-1553/8"　　　WJ-2553/8"　　PN55061/2"Localscrubber　　　(位置未定)　Localscrubber501/4"　　　Localscrubber501/4"　　　Localscrubber501/4"　　　Localscrubber501/4"　　　Localscrubber501/4"　　　Localscrubber501/4"　　PN55071/2"SPARE　　　　PN55081/2"ND-6200(2)/NOVELLUS　　　　　ND-6200(2)151/4"　　　NOVELLUS151/4"　　PN55091/2"5F5　　　　　5F5553/8"　　　5F5553/8"　　PN55101/2"SPARE　　　　PN55111/2"SPARE　　　　PN55121/2"SRD/EKC-N/OVEN　　　　　OVEN31/4"　　　SRD1703/8"　　　SRD1703/8"　　　EKC-N2851/4"　　PN55131/2"SRD/EKC-C/OVEN　　　　　OVEN31/4"　　　SRD1703/8"　　　SRD1703/8"　　　EKC-C2851/4"　　PN55141/2"AMI8330C　　　　　AMI8330C101/4"　　　AMI8330C2003/8"　　　AMI8330C31/4"　　　AMI8330C11/4"　　　AMI8330C1/4"　　PN55151/2"AMI8330D　　　　　AMI8330D101/4"　　　AMI8330D2003/8"　　　AMI8330D31/4"　　　AMI8330D11/4"　　　AMI8330D1/4"　　PN55161/2"AMI8330B　　　　　AMI8330B101/4"　　　AMI8330B2003/8"　　　AMI8330B31/4"　　　AMI8330B11/4"　　　AMI8330B1/4"　　PN55171/2"SPARE　　　　PN55181/2"LAM590A/PSC-4　　　　　LAM590A1/2"　　　PSC-431/4"　　　PSC-431/4"　　PN55191/2"LAM590C/B　　　　　LAM590C1/2"　　　LAM590B1/2"　　PN55201/2"LAM4420A/B　　　　　LAM4420A101/4"　　　LAM4420A11/4"　　　LAM4420A11/4"　　　LAM4420A11/4"　　　LAM4420A11/4"　　　LAM4420A11/4"　　　LAM4420B101/4"　　　LAM4420B11/4"　　　LAM4420B11/4"　　　LAM4420B11/4"　　　LAM4420B11/4"　　　LAM4420B11/2"　　PN55211/2"SPARE　　　　PN55221/2"LAM490C/OVEN　　　　　LAM490C1/2"　　　OVEN31/4"　　PN55231/2"LAM490A/B　　　　　LAM490A1/2"　　　LAM490B1/2"　　PN55241/2"SPARE　　　　PN55251/2"BOE50:1/H2O2/SRD/OVEN　　　　　BOE50:15671/4"　　　H2O25671/4"　　　SRD5671/4"　　　OVEN31/4"　　PN55261/2"SPARE　　　　PN55271/2"SPARE　　　　PN55281/2"SPARE　　　　PN55291/2"SPARE　　　　PN65011/2"SPARE　　　　PN65021/2"6F/7F　　　　　6F553/8"　　　7F553/8"　　　5F553/8"　　PN65031/2"SPARE　　　　PN65041/2"SPARE　　　　PN65053/4"FSI-63123/4"　　PN65063/4"FSI-53123/4"　　PN65071/2"SPARE　　　　PN65081/2"SRD-CR1　　　　　SRD-CR11703/8"　　　SRD-CR11703/8"　　PN65091/2"LAM8310B　　　　　LAM8310B101/4"　　　LAM8310B2003/8"　　　LAM8310B31/4"　　　LAM8310B11/4"　　PN65101/2"SPARE　　　　PN65111/2"LAM8310A　　　　　LAM8310A101/4"　　　LAM8310A2003/8"　　　LAM8310A31/4"　　　LAM8310A11/4"　　PN65121/2"MATRIX1/2/OVEN　　　　　MATRIX131/2"　　　MATRIX231/2"　　　OVEN31/4"　　PN65131/2"SPARE　　　　PN65141/2"LAM4520　　　　　LAM4520101/4"　　　LAM45201/4"　　　LAM4520101/4"　　　LAM45201/4"　　PN65151/2"SRD-CR3　　　　　SRD-CR31703/8"　　　SRD-CR31703/8"　　PN65161/2"SRD-CR2/CR2　　　　　SRD-CR21703/8"　　　SRD-CR21703/8"　　　CR-22831/4"　　PN65171/2"B17/18/PSC-1/3/5　　　　　B17/182831/4"　　　PSC-131/4"　　　PSC-131/4"　　　PSC-331/4"　　　PSC-331/4"　　　PSC-531/4"　　　PSC-531/4"　　PN65181/2"SRD-B17/18　　　　　SRD-B17/181703/8"　　　SRD-B17/181703/8"　　PN65191/2"SRD-BOE2　　　　　SRD-BOE21703/8"　　　SRD-BOE21703/8"　　PN65201/2"BOE-22853/8"　　PN65211/2"BOE-12853/8"　　PN65221/2"SRD-BOE1　　　　　SRD-BOE11703/8"　　　SRD-BOE11703/8"　　PN65231/2"GAMAsubsystem　　　(位置未定)　Preheat2851/4"　　　Preheat2851/4"　　　H/DI2851/4"　　PN65241/2"SPARE　　　　PN65251/2"SPARE　　　　PN75011/2"SPARE　　　　PN75021/2"4F/3F　　　　　4F553/8"　　　3F553/8"　　PN75031/2"SPARE　　　　PN75043/4"FSI-43123/4"　　PN75053/4"FSI-33123/4"　　PN75061/2"SCRUBBER5661/4"　　PN75071/2"SPARE　　　　PN75081/2"CR-1　　　　　CR-1301/4"　　　CR-1301/4"　　　CR-1301/4"　　　CR-1301/4"　　PN75091/2"CR-3　　　　　CR-3301/4"　　　CR-3301/4"　　　CR-3301/4"　　　CR-3301/4"　　PN75101/2"SPARE　　　　PN85011/2"SPARE　　　　PN85021/2"1F/2F　　　　　1F553/8"　　　2F553/8"　　PN85031/2"HF50:1/SRD　　　　　HF50:12831/4"　　　SRD2831/4"　　PN85043/4"FSI-13123/4"　　PN85053/4"RCA5003/4"　　PN85061/2"Megasonic/SRD　　　(位置未定)　Megasonic5671/4"　　　SRD5671/4"　　PN85071/2"coater7/8,4/5,10　　　　　coater7/8-3/8"　　coater4/5-3/8"　　coater10-3/8"　　PN85081/2"SPARE　　　　PN85091/2"developer12,7/8/9　　　　developer12-3/8"　　developer7/8/9-3/8"　PN85101/2"Developer1/2/3-3/8”　　　PO55011/2"9F-2/8F/AG4100　　　　　AG4100201/4"　　　8F201/4"　　　9F-211/4"　　PO55021/2"SPARE　　　　PO55031/2"WJ-1/2　　　　　WJ-1201/4"　　　WJ-2201/4"　　PO55041/2"ND-6200(2)/NOVELLUS　　　　　ND-6200(2)201/4"　　　NOVELLUS201/4"　　PO55051/2"SPARE　　　　PO55061/2"5F5　　　　　5F5221/4"　　　5F5221/4"　　PO55071/2"AMI8330B/C/D　　　　　AMI8330B1/4"　　　AMI8330C1/4"　　　AMI8330D1/4"　　PO55091/2"SPARE　　　　PO55091/2"SPARE　　　　PO55101/2"LAM590A/PSC-4　　　　　LAM590A1/2"　　　PSC-421/4"　　　PSC-421/4"　　PO55111/2"LAM590B/C/PSC-3/5　　　　　LAM590B1/2"　　　LAM590C1/2"　　　PSC-321/4"　　　PSC-321/4"　　　PSC-521/4"　　　PSC-521/4"　　PO55121/2"LAM4420A/B　　　　　LAM4420A1/4"　　　LAM4420A1/4"　　　LAM4420B1/4"　　　LAM4420B1/4"　　PO55131/2"LAM490A/B/C/PSC-1　　　　　LAM490B1/2"　　　LAM490C1/2"　　　LAM490A1/2"　　　PSC-121/4"　　　PSC-121/4"　　PO55141/2"Tegal900A/B　　　(位置未定)　Tegal900A1/4"　　　Tegal900B1/4"　　PO55151/2"SPARE　　　　PO55161/2"SPARE　　　　PO65011/2"6F/7F　　　　　6F221/4"　　　7F221/4"　　　5F221/4"　　PO65021/2"SPARE　　　　PO65031/2"SPARE　　　　PO65041/2"AMI8310A/B　　　　　AMI8310A1/4"　　　AMI8310A1/4"　　　AMI8310B1/4"