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真空抽气速率计算表

2019-11-27 1页 xls 326KB 6阅读

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真空抽气速率计算表Sheet1 机械泵抽气速率计算 62.2955659204 h 抽气速率= 2.3*Kq*(V/S)lg(pi/p) 17.3043238668 s t-抽气时间(s) 300 s V-真空设备容积 4000 l p-经t时间抽气后的压力 30000 Pa p0-真空设备的根限压力 Pa pi-设备开始抽气时的压力 110000 Pa kq-修正系数,与设备抽 1 气终止时的压强有关 见下表 Sheet2 Sheet3 ...
真空抽气速率计算表
Sheet1 机械泵抽气速率计算 62.2955659204 h 抽气速率= 2.3*Kq*(V/S)lg(pi/p) 17.3043238668 s t-抽气时间(s) 300 s V-真空设备容积 4000 l p-经t时间抽气后的压力 30000 Pa p0-真空设备的根限压力 Pa pi-设备开始抽气时的压力 110000 Pa kq-修正系数,与设备抽 1 气终止时的压强有关 见下 Sheet2 Sheet3
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